一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮制造技术

一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮，在埚帮内侧配设有与其内径壁面相匹配的内筒，所述内筒靠近所述埚帮直壁部顶端设置，能够在拉晶时与所述埚帮内径壁面紧密贴合，并可在拉晶结束后从所述埚帮顶部取出以使石英坩埚从所述埚帮中无卡顿取出。本实用新型专利技术在原埚帮内侧加设可拆卸的内筒，进而在取出石英坩埚的过程中，上部不受阻力，可整体方便取出，可有效减少操作时间和后期处理时间；同时在内筒上设置排气孔，使得在石英坩埚和埚帮之间产生的气体得到及时排除，从而避免了石英坩埚鼓包的问题，维持正常拉晶，避免安全风险和成本损失；该内筒可定期更换，可有效提高埚帮的寿命，降低生产成本。产成本。产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮


[0001]本技术属于直拉单晶生长辅助装置
，尤其是涉及一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮。

技术介绍

[0002]目前用于太阳能级硅单晶生长的热场系统主要分为三部分，一是保温系统，由上保温桶、侧保温桶和下保温桶构成；二是加热器部分，由低加热器、侧加热器及相关支撑部分构成，其中包括石英坩埚和包裹于石英坩埚外的碳碳复合材料埚帮，二者均为直壁结构，结构如图1所示；三是坩埚及相应的承载冷却系统，包括与碳碳埚帮相连的石墨埚托。
[0003]上述石英坩埚与碳碳埚帮的直壁结构会产生两方面的问题。
[0004]第一，随着碳碳埚的使用，由于其下部承受压力比上部大，导致其下部与石英坩埚的反应速度比上部要快，进而下部腐蚀损耗速度较快；另外，埚帮在使用后需要打磨清理，由于其下部与石英坩埚的反应量比较大，每次打磨清理的程度也相应较大。因此，碳碳埚帮在经过几次使用后，会逐渐形成上窄下宽的形状，而石英坩埚在晶体高温生长过程中，受其内部所装硅溶液的压力作用而发生变形，导致石英坩埚紧贴埚帮内壁变形后的结构如图2所示。在晶体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮，其特征在于，在埚帮内侧配设有与其内径壁面相匹配的内筒，所述内筒靠近所述埚帮直壁部顶端设置，能够在拉晶时与所述埚帮内径壁面紧密贴合，并可在拉晶结束后从所述埚帮顶部取出以使石英坩埚从所述埚帮中无卡顿取出。2.根据权利要求1所述的一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮，其特征在于，所述内筒与所述埚帮可拆卸设置。3.根据权利要求1或2所述的一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮，其特征在于，所述内筒中可取出段的高度不小于所述埚帮直壁部高度的1/3且不大于所述埚帮直壁部高度的3/4。4.根据权利要求3所述的一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮，其特征在于，所述内筒为直筒型结构，被设于所述埚帮内径壁的阶梯台面上并与所述埚帮一体配合。5.根据权利要求3所述的一种硅晶体生长用碳碳复合材料埚帮，其特征在于，所述内筒为埚体型结构并内置于所述埚帮内侧；所述内筒包括直筒段和弧面段，所述直筒段和所述弧面段叠放设置。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李鹏飞，许建，王建龙，王永兴，安磊，李晓东，王建平，王林，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：