单晶炉大套小水冷热屏制造技术

本实用新型专利技术公开了单晶炉大套小水冷热屏，涉及单晶硅生产设备领域，包括：大锥桶，所述大锥桶的顶端连接有第二进水管、第一出水管。本实用新型专利技术通过设置大锥桶、小锥桶、第一进水管、第一出水管、第二进水管、第二出水管，通过第一进水管从外部接入水进来，在水泵的作用下，使冷却水进入小锥桶内部的水路循环槽，冷却水再从第二出水管进入与大锥桶连接的第二进水管，从而进入大锥桶内部的水路循环槽，最后从第一出水管流出到外部水路，不断的如此循环带走热量使得结晶的生产速度更高，能兼容单晶炉拉多种规格的晶棒，当需要拉大规格晶棒时，可把小锥桶拆掉，从而避免拉不同规格的晶棒，就得需配相应水冷热屏的困扰，大大降低了成本。大大降低了成本。大大降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉大套小水冷热屏


[0001]本技术涉及单晶硅生产设备领域，具体是单晶炉大套小水冷热屏。

技术介绍

[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质，硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。
[0003]单晶硅在生产时，需要使用单晶炉，在生产的过程后，生产的晶棒不便于快速冷却，导致拉速较慢，因此本技术提出了一种单晶炉大套小水冷热屏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：为了解决单晶炉生产的晶棒不便于快速冷却的问题，提供单晶炉大套小水冷热屏。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：单晶炉大套小水冷热屏，包括：
[0006]大锥桶，所述大锥桶的内部呈中空状态：
[0007]小锥桶，套接在所述大锥桶的内部，所述小锥桶的内部设置有水路循环槽，所述小锥桶与所述大锥桶可根据所拉晶棒的大小和不同规格的热场调整尺寸。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述大锥桶的顶端连接有第二进水管、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，包括：大锥桶(1)，所述大锥桶(1)的内部呈中空状态：小锥桶(5)，套接在所述大锥桶(1)的内部，所述小锥桶(5)的内部设置有水路循环槽，所述小锥桶(5)与所述大锥桶(1)可根据所拉晶棒的大小和不同规格的热场调整尺寸。2.根据权利要求1所述的单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，所述大锥桶(1)的顶端连接有第二进水管(4)、第一出水管(2)，所述第二进水管(4)与所述第一出水管(2)对称分布在所述大锥桶(1)的顶端外部。3.根据权利要求2所述的单晶炉大套小水冷热屏，其特征在于，所述小锥桶(5)的顶端连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯景成，
申请(专利权)人：广州柏创机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：