激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法技术方案

本申请公开了一种激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法，系统包括：液滴发生器用于生成扁平状的目标液滴；激光源用于生成激光脉冲，以使激光脉冲冲击所述目标液滴生成等离子体；采集器用于收集等离子体辐射出的EUV光线，并将收集的EUV光线聚焦定向到扫描器中。通过液滴发生器直接产生扁平状的目标液滴，从而仅使用一种激光脉冲撞击目标液滴即可生成等离子体，由于减少了激光脉冲撞击液滴的次数，因此可以减少污染物的产生，进而降低了采集器受污染的严重程度，延长了采集器的使用寿命。另外，由于激光源只需要生成一种激光脉冲，无需生成两种激光脉冲，因此本申请还可以简化激光源的结构，以及减少激光源的光束对准程序。准程序。准程序。

【技术实现步骤摘要】
激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法


[0001]本申请涉及半导体
，具体涉及一种激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法。

技术介绍

[0002]目前，常用的极紫外(EUV)光源主要有激光等离子体(LPP)光源、气体放电等离子体(DPP)光源和同步辐射光源等三类。
[0003]其中，激光等离子体(LPP)光源的工作原理是从液滴发生器流出的圆形液滴，先被前脉冲激光撞击成扁平状的液滴，然后再被主脉冲激光撞击，生成等离子体辐射EUV光，EUV光经EUV采集器反射和聚焦被定向到中间的焦点单元，进入EUV扫描器。
[0004]然而，液滴经过两次激光脉冲的撞击生成等离子体过程中，由于颗粒、离子、辐射的碰撞和碎片沉积，致使EUV采集器受污染严重，反射率快速下降。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是针对上述现有技术的不足提出的一种激光等离子体极紫外光源系统及其生成极紫外光的方法，该目的是通过以下技术方案实现的。
[0006]本申请的第一方面提出了一种激光等离子体极紫外光源系统，所述系统包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光等离子体极紫外光源系统，其特征在于，所述系统包括：液滴发生器，用于生成扁平状的目标液滴；激光源，用于生成激光脉冲，以使所述激光脉冲冲击所述目标液滴生成等离子体；采集器，用于收集所述等离子体辐射出的极紫外EUV光线，并将收集的所述EUV光线聚焦定向到扫描器中。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述液滴发生器包括容器、喷嘴和调制器，所述喷嘴设置在所述容器的底部，所述调制器与所述喷嘴连接；所述调制器，用于控制所述喷嘴的开放时长，以使得所述喷嘴每开放一次生成一个扁平状的目标液滴。3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述喷嘴的孔径尺寸为10微米。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述目标液滴呈扁平状的椭圆形和/或扁平状的四角形。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述激光源为二氧化碳激光源。6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述目标液滴包括锡。7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括摄像头；所述摄像头，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：金成昱，金帅炯，梁贤石，贺晓彬，杨涛，丁明正，刘强，
申请(专利权)人：真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：