物品搬送系统中用于控制搬送车辆的驱动的装置及方法制造方法及图纸

物品搬送系统中用于控制搬送车辆的驱动的装置包括：处理部，提供与搬送车辆的移动路径有关的信息；动作控制部，生成包括前轮扭矩信号以及后轮扭矩信号的驱动信号；前轮扭矩控制器，基于前轮扭矩信号控制前轮的旋转扭矩；以及后轮扭矩控制器，基于后轮扭矩信号控制后轮的旋转扭矩。在此，动作控制部可以包括：位置控制器，生成根据移动路径决定搬送车辆的位置的位置信号；速度控制器，生成基于位置信号决定搬送车辆的速度的速度信号；以及扭矩分配器，基于移动路径以及速度信号不同地分配前轮扭矩和后轮扭矩，从而生成前轮扭矩信号以及后轮扭矩信号，将前轮扭矩信号提供给前轮扭矩控制器，并将后轮扭矩信号提供给后轮扭矩控制器。器。器。

【技术实现步骤摘要】
物品搬送系统中用于控制搬送车辆的驱动的装置及方法


[0001]本专利技术涉及物品搬送系统中用于控制搬送车辆的驱动的装置以及方法，更具体地根据搬送车辆的移动路径以及速度信号将前轮和后轮的扭矩设定成不同，从而提供用于提高前轮和后轮的接地力的装置以及方法。

技术介绍

[0002]半导体(或者显示器)制造工艺作为用于在基板(例如：晶圆)上制造半导体元件的工艺，例如包括曝光、蒸镀、蚀刻、离子注入、清洗、封装等。用于制造半导体元件的制造工厂由一个或者其以上层的洁净室构成，用于执行半导体制造工艺的制造设备配置于各层。
[0003]为了最大化半导体制造工艺的效率，不仅是改善各半导体制造工艺的方法，还导入用于在各制造设备之间迅速且有效地搬送物品(例如：基板)的手段。代表性地，适用有沿着设置于半导体制造工厂的顶棚的路径搬送物品的OHT(overhead hoist transport；空中走行式无人搬送车)系统。通常，OHT系统包括构成行驶路径的轨道、沿着轨道行驶并搬送物品的搬送车辆。另外，当在半导体制造设备之间的搬送中需要保管物品时，可以设置用于存储相应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物品搬送系统中用于控制搬送车辆的驱动的装置，其特征在于，所述装置包括：处理部，提供与所述搬送车辆的移动路径有关的信息；动作控制部，生成包括用于为了根据所述移动路径行驶而驱动所述搬送车辆的前轮以及后轮的前轮扭矩信号以及后轮扭矩信号的驱动信号；前轮扭矩控制器，基于所述前轮扭矩信号控制所述前轮的旋转扭矩；以及后轮扭矩控制器，基于所述后轮扭矩信号控制所述后轮的旋转扭矩，所述动作控制部包括：位置控制器，生成根据所述移动路径决定所述搬送车辆的位置的位置信号；速度控制器，生成基于所述位置信号决定所述搬送车辆的速度的速度信号；以及扭矩分配器，基于所述移动路径以及所述速度信号不同地分配前轮扭矩和后轮扭矩，从而生成所述前轮扭矩信号以及所述后轮扭矩信号，将所述前轮扭矩信号提供给所述前轮扭矩控制器，并将所述后轮扭矩信号提供给所述后轮扭矩控制器。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述扭矩分配器基于所述移动路径的倾斜方向分配所述前轮扭矩以及所述后轮扭矩。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，当所述移动路径的倾斜方向为上坡时，所述扭矩分配器设定成使得所述前轮扭矩更大于所述后轮扭矩。4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，当所述移动路径的倾斜方向为下坡时，所述扭矩分配器设定成使得所述后轮扭矩更大于所述前轮扭矩。5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，基于所述速度信号的偏移，所述扭矩分配器分配所述前轮扭矩以及所述后轮扭矩。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，当所述搬送车辆加速时，所述扭矩分配器设定成使得所述前轮扭矩更大于所述后轮扭矩。7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，当所述搬送车辆减速时，所述扭矩分配器设定成使得所述后轮扭矩更大于所述前轮扭矩。8.一种物品搬送系统中用于控制搬送车辆的驱动的方法，其特征在于，所述方法包括：获取与所述搬送车辆的移动路径有关的信息的步骤；生成根据所述移动路径决定所述搬送车辆的位置的位置信号的步骤；生成基于所述位置信号决定所述搬送车辆的速度的速度信号的步骤；基于所述移动路径以及所述速度信号不同地分配前轮扭矩和后轮扭矩，从而生成前轮扭矩信号以及后轮扭矩信号的步骤；以及基于所述前轮扭矩信号以及所述后轮扭矩信号控制所述搬送车辆的前轮以及后轮的旋转扭矩，从而使所述搬送车辆行驶的步骤。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，生成所述前轮扭矩信号以及后轮扭矩信号的步骤包括基于所述移动路径的倾斜方向分配所述前轮扭矩以及后轮扭矩的步骤。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，生成所述前轮扭矩信号以及后轮扭矩信号的步骤包括当所述移动路径的倾斜方向为上坡时，设定成使得所述前轮扭矩更大于所述后轮扭矩的步骤。11.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊范，梁东勋，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：