【技术实现步骤摘要】
承载组件及检测设备
[0001]本申请涉及检测
,更具体而言,涉及一种承载组件及检测设备。
技术介绍
[0002]现有的半导体检测设备的支撑台只能适用于一种尺寸的半导体待检测件,如果检测另外尺寸的半导体待检测件,要么需要更换半导体检测设备,要么更换半导体检测设备中的支撑台,这样就会导致生产效率的降低,不满足工业化生产需要。
技术实现思路
[0003]本申请实施方式提供一种承载组件及检测设备。
[0004]本申请实施方式的承载组件包括盖板、第一支架、多个第一支撑件、第二支架及多个第二支撑件。第一支架设置在盖板的第一侧。所述第一支撑件设置在所述第一支架,多个所述第一支撑件共同限定第一限位空间,所述第一限位空间用于放置并限定具有第一尺寸的第一待检测件。所述第二支架设置在所述第一支架远离所述盖板的一侧。所述第二支撑件设置在所述第二支架,多个所述第二支撑件共同限定第二限位空间,所述第二限位空间用于放置并限定具有第二尺寸的第二待检测件,所述第二尺寸大于所述第一尺寸。
[0005]在一些实施例中,所述 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种承载组件,其特征在于,所述承载组件包括:盖板;第一支架,所述第一支架设置在所述盖板的第一侧;多个第一支撑件,所述第一支撑件设置在所述第一支架,多个所述第一支撑件共同限定第一限位空间,所述第一限位空间用于放置并限定具有第一尺寸的第一待检测件;第二支架,所述第二支架设置在所述第一支架远离所述盖板的一侧;及多个第二支撑件,所述第二支撑件设置在所述第二支架,多个所述第二支撑件共同限定第二限位空间,所述第二限位空间用于放置并限定具有第二尺寸的第二待检测件,所述第二尺寸大于所述第一尺寸。2.根据权利要求1所述的承载组件,其特征在于,所述第一支架与所述盖板为一体成型结构;或所述第一支架与所述盖板为分体成型结构,所述第一支架能够拆卸地安装在所述盖板的第一侧;或所述第一支架与所述盖板为分体成型结构,所述第一支架能固定安装在所述盖板的第一侧。3.根据权利要求1所述的承载组件,其特征在于,所述第一支架与所述第二支架为一体成型结构;或所述第一支架与所述第二支架为分体成型结构,所述第一支架能够拆卸地安装在所述第二支架的第一侧;或所述第一支架与所述第二支架为分体成型结构,所述第一支架能固定安装在所述第二支架的第一侧。4.根据权利要求1所述的承载组件,其特征在于,所述第一支架包括:第一本体,所述第一本体设置有第一腔;及位于所述第一腔内的延伸臂,所述延伸臂自所述第一本体的内侧面朝所述第一腔的中心延伸,所述延伸臂位于所述第一本体的远离所述盖板的一侧并与所述第一本体形成阶梯,若干所述第一支撑件设置在所述第一本体,若干所述第一支撑件设置在所述延伸臂。5.根据权利要求4所述的承载组件,其特征在于,所述第一本体设置有第二腔,所述第一腔与所述第二腔连通,所述第二腔相较于所述第一腔更靠近所述盖板。6.根据权利要求1所述的承载组件,其特征在于,所述第一支撑件包括第一安装部及第一延伸部,所述第一安装部安装在所述第一支架,所述第一延伸部自所述第一安装部向所述第一限位空间的中心延伸,所述第一延伸部用于承载所述第一待检测件并限定所述第一待检测件于所述第一限位空间内;和/或所述第二支撑件包括第二安装部及第二延伸部,所述第二安装部安装在所述第二支架,所述第二延伸部自所述第二安装部向所述第二限位空间的中心延伸,所述第二延伸部用于承载所述第二待检测件并限定所述第二待检测件于所述第二限位空间内。7.根据权利要求6所述的承载件,其特征在于,所述第一延伸部包括第一限位面,所述第一限位面为弧面或斜面;和/或所述第二延伸部包括第二限位面,所述第二限位面为弧面或斜面。8.根据权利要求6所述的承载件,其特征在于,所述第一支撑件的第一安装部安装在所
述第一支架的远离所述盖板的一侧;和/或所述第二支撑件的第二安装部安装在所述第二支架的靠近所述盖板的一侧。9.根据权利要求8所述的承载件,其特征在于,所述第一支撑件还包括第一凸起部,所述第一凸起部自所述第一安装部朝所述盖板延伸以与所述第一安装部形成第一定位空间,所述第一支架伸入所述第一定...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈鲁,范铎,刘健鹏,张鹏斌,张嵩,
申请(专利权)人:深圳中科飞测科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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