一种石英舟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英舟，包括由端板、固定部、支撑部、加强部和手持部，其中支撑部和固定部成了两列容置空间，可提升石英舟对硅片的装载数量；由于加强部的加强作用，因此可提升石英舟的装载重量；由于各部件结构的设计，还可简化石英舟的制备过程。还可简化石英舟的制备过程。还可简化石英舟的制备过程。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟


[0001]本技术属于太阳能电池制备
，具体涉及一种石英舟。

技术介绍

[0002]石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业，其中应用较为广泛的器具包括石英舟。在硅片太阳能电池的制备过程中，石英舟是装载、转移硅片的用具，具体是把硅片直立密排插片在石英舟卡槽内，使硅片在反应室内进行工艺作业；其主要用途有：在太阳能电池的扩散、退火过程中装载硅片，使其相互间不接触，同时降低裂片率；此外在各工序之间的转移，也需用到石英舟。
[0003]传统的石英舟的尺寸是固定的，仅能装载特定尺寸的硅片(整片硅片)，随着光伏产业的不断发展，增加硅片电池发电量和降低内部功率损耗要求不断提高，出现半片电池，半片电池的电流只有原来的一半，因此功率损耗较低。原有的石英舟已不适用于现有的半片电池的生产过程；此外，由于传统石英舟本身强度有限，当其装载硅片的量较高时，容易发生石英舟的变形、破裂，进而带来巨大经济损失；最重要的是，现有的石英舟的结构，导致其制备工序复杂。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，其特征在于，包括：端板，所述端板包括平行设置的第一端板(110)和第二端板(120)；固定部，所述固定部垂直连接所述第一端板(110)和第二端板(120)，所述固定部包括隔离棒(220)，和设于所述隔离棒(220)两侧的固定棒(210)；支撑部，所述支撑部垂直连接所述第一端板(110)和第二端板(120)，所述支撑部包括至少两条平行设置的支撑棒(310)；所述固定部位于所述支撑棒(310)所在平面的同一侧；加强部，所述加强部包括隔板(410)；所述隔板(410)设于所述第一端板(110)和第二端板(120)之间，所述支撑部和加强部垂直并贯穿所述隔板(410)；所述隔板(410)为一体成型。2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述隔离棒(220)、固定棒(210)和支撑棒(310)上设有限位槽。3.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述第一端板(110)上设有舟脚A(111)，所述第二端板(120)上设有舟脚B(121)，所述隔板(410)上设有舟脚C(412)。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，杨宝立，林金雨，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：