石墨舟自动清洗用舟架制造技术

技术编号:33489875 阅读:34 留言:0更新日期:2022-05-19 01:02
本申请涉及一种石墨舟自动清洗用舟架,其包括端板、承载部和连接杆,端板并排且间隔设置有两块,且两块端板相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部,承载部设在两块端板之间且与两块端板均保持间隙,连接杆与承载部以及两块端板均固定连接,连接杆、承载部以及两块端板围合形成用于石墨舟放置的放置空间,承载部用于对石墨舟形成支撑。本申请具有以下效果:机械手可以通过抓取部对舟架进行抓取,将石墨舟放置在舟架内后,即可由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放,以实现石墨舟的自动清洗,从而有效减少石墨舟清洗过程中的人为干预,提升石墨舟清洗品质和清洗产能,并同时避免人为操作带来的不安全因素。免人为操作带来的不安全因素。免人为操作带来的不安全因素。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟自动清洗用舟架


[0001]本申请涉及石墨舟清洗
,尤其是涉及一种石墨舟自动清洗用舟架。

技术介绍

[0002]在晶体硅电池片生产过程中,镀膜工序是最重要的工序之一,该工序需要对硅片进行镀膜处理。
[0003]镀膜工序通常借助于管式镀膜设备。管式镀膜设备在运行过程中需要石墨舟作硅片的载体,以便于镀膜工序的展开。石墨舟承载硅片并连续镀膜一定次数后,其表面附着氮化硅过多,会致使硅片出现镀膜色差等异常情况,因此石墨舟在使用一定次数后需要对其进行清洗。
[0004]相关技术中,石墨舟清洗过程通常为人工将石墨舟放置在清洗槽内,并加入酸液对其表面附着的氮化硅进行清洗,清洗后再通过人工将石墨舟搬出清洗槽外。清洗过程存在人为干预,清洗品质易受到影响;并且操作难度高,危险系数大。

技术实现思路

[0005]为了减小石墨舟清洗过程中的人为干预,降低操作难度和危险系数,本申请提供一种石墨舟自动清洗用舟架。
[0006]本申请提供的一种石墨舟自动清洗用舟架采用如下的技术方案:
[0007]一种石墨舟自动清洗用舟架本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟自动清洗用舟架,其特征在于:包括端板(1)、承载部(2)和连接杆(3),所述端板(1)并排且间隔设置有两块,且两块所述端板(1)相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部(4),所述承载部(2)设在两块所述端板(1)之间且与两块所述端板(1)均保持间隙,所述连接杆(3)与所述承载部(2)以及两块所述端板(1)均固定连接,所述连接杆(3)、所述承载部(2)以及两块所述端板(1)围合形成用于石墨舟放置的放置空间,所述承载部(2)用于对石墨舟形成支撑。2.根据权利要求1所述的石墨舟自动清洗用舟架,其特征在于:所述连接杆(3)包括下层杆(31)和上层杆(32),所述下层杆(31)设在所述上层杆(32)的下方,所述承载部(2)包括设在所述下层杆(31)上的承载底杆(21),所述放置空间由所述上层杆(32)、所述下层杆(31)、所述承载底杆(21)以及两块所述端板(1)围合形成。3.根据权利要求2所述的石墨舟自动清洗用舟架,其特征在于:所述连接杆(3)还包括中层杆(33),所述中层杆(33)设在所述上层杆(32)和所述下层杆(31)之间,所述承载部(2)还包括可拆卸设置在所述中层杆(33)上的承载顶板(23),所述放置空间包括上层空间和下层空间,所述上层空间由所述中层杆(33)、所述上层杆(32)、所述承载顶板(23)以及两块所述端板(1)围合形成,所述下层空间由所述上层杆(32)、所述下层杆(31)、所述承载底杆(21)、所述承载顶板(23)以及两块所述端板(1)围合形成。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:张福庆王贵梅张永
申请(专利权)人:晶澳太阳能有限公司
类型:新型
国别省市:

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