一种用于放置薄硅片的花篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于放置薄硅片的花篮，包括安装架，所述安装架的一侧内壁固定连接有多个导向杆，导向杆的圆周外侧活动连接有两个推动板，推动板的一侧固定连接有多个弹簧，且弹簧与安装架相固定，所述安装架的底部内壁固定连接有固定板，且固定板与导向杆相固定，所述固定板位于两个推动板之间，所述固定板与推动板之间均匀分布多个滑板，且滑板与导向杆滑动连接。本实用新型专利技术不仅能够通过移动板与推动板的配合使用，使硅片得到夹持，提高了装置的夹持效果，而且能够通过缓冲垫对硅片进行保护，提高了装置的防护效果，还能够通过固定柱方便工作人员通过机器设备移动安装架，提高了装置的便捷性。高了装置的便捷性。高了装置的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于放置薄硅片的花篮


[0001]本技术涉及硅片加工
，尤其涉及一种用于放置薄硅片的花篮。

技术介绍

[0002]硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片，主要用来生产集成电路，硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展。
[0003]硅片加工时便需要用到硅片花篮，硅片花篮在使用时通常把加工后的硅片放置在硅片花篮内的卡槽中，因硅片较薄，导致硅片在卡槽中容易产生晃动，进而对硅片造成一定的损伤，因此，提出一种用于放置薄硅片的花篮显得非常必要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于放置薄硅片的花篮。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种用于放置薄硅片的花篮，包括安装架，所述安装架的一侧内壁固定连接有多个导向杆，导向杆的圆周外侧活动连接有两个推动板，推动板的一侧固定连接有多个弹簧，且弹簧与安装架相固定，所述安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于放置薄硅片的花篮，包括安装架(2)，其特征在于，所述安装架(2)的一侧内壁固定连接有多个导向杆(5)，导向杆(5)的圆周外侧活动连接有两个推动板(12)，推动板(12)的一侧固定连接有多个弹簧(4)，且弹簧(4)与安装架(2)相固定，所述安装架(2)的底部内壁固定连接有固定板(8)，且固定板(8)与导向杆(5)相固定，所述固定板(8)位于两个推动板(12)之间，所述固定板(8)与推动板(12)之间均匀分布多个滑板(11)，且滑板(11)与导向杆(5)滑动连接，所述安装架(2)的两侧内壁均固定连接有固定座(10)，固定座(10)的一侧开设有滑槽(16)，两个滑槽(16)之间活动连接有移动板(6)，移动板(6)的一侧开设有多个卡槽(14)，且卡槽(14)与滑板(11)接触，所述移动板(6)的一侧固定连接有两个拉簧(17)，且拉簧(17)与安装架(2)相固定。2.根据权利要求1所述的一种用于放置...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯震坤，王伟，
申请(专利权)人：无锡京运通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：