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本实用新型提供了一种石英舟,包括由端板、固定部、支撑部、加强部和手持部,其中支撑部和固定部成了两列容置空间,可提升石英舟对硅片的装载数量;由于加强部的加强作用,因此可提升石英舟的装载重量;由于各部件结构的设计,还可简化石英舟的制备过程。还可...该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种石英舟,包括由端板、固定部、支撑部、加强部和手持部,其中支撑部和固定部成了两列容置空间,可提升石英舟对硅片的装载数量;由于加强部的加强作用,因此可提升石英舟的装载重量;由于各部件结构的设计,还可简化石英舟的制备过程。还可...