本实用新型专利技术公开了一种芯片生产用清洗装置，包括机体、芯片及底座，其特征在于，机体的底端与底座的顶端固定连接，底座的底端四周分别与垫块的顶端固定连接，机体的两侧分别与抽风机的一端固定连接，抽风机的另一端分别与过滤网卡扣连接，机体的另外两侧分别安装有螺杆，机体的内壁两侧分别与夹持移动板的一侧活动连接，夹持移动板的另一侧等距安装有第一凹槽，第一凹槽的分别与芯片的两端嵌合连接，机体的内壁两侧分别与超声波清洗装置的一端固定连接，机体的内部底端装填有清洗液，夹持移动板的另一侧两端分别设有第二凹槽，机体的顶端与机盖的底端卡扣连接，抽风机的底端分别安装有玻璃窗。本实用新型专利技术结构简单，操作方便。操作方便。操作方便。
【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产用清洗装置
[0001]本技术涉及芯片生产
，具体来说，涉及一种芯片生产用清洗装置。
技术介绍
[0002]芯片是集成电路的简称，或称微电路、微芯片、晶片等，芯片在电子学中是一种把电路小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，芯片在生产加工过程中需要通过超声波清洗机等进行表面清洗，超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。现有的芯片生产用清洁装置如超声波清洗机在清洗芯片晶圆时，芯片晶圆上的残留水不易快速清除，且芯片晶圆在清洗机内不易分类限位放置，而芯片晶圆与放置装置之间的接触面积较大，也会影响对芯片晶圆的清洗效率。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种芯片生产用清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片生产用清洗装置，包括机体、芯片及底座，其特征在于，所述机体的底端与所述底座的顶端固定连接，所述底座的底端四周分别与垫块的顶端固定连接，所述机体的两侧分别与抽风机的一端固定连接，所述抽风机的另一端分别与过滤网卡扣连接，所述机体的另外两侧分别安装有螺杆，所述机体的内壁两侧分别与夹持移动板的一侧活动连接，所述夹持移动板的另一侧等距安装有第一凹槽，所述第一凹槽的分别与所述芯片的两端嵌合连接，所述机体的内壁两侧分别与超声波清洗装置的一端固定连接，所述机体的内部底端装填有清洗液，所述夹持移动板的另一侧两端分别设有第二凹槽，所述机体的顶端与机盖的底端卡扣连接，所述机盖的顶端两侧分别安装有出风口，所述抽风机的底端分别安装有玻璃窗，所述底座的一侧与开关固定连接，所述开关的底端安装有电源接口，所述底座的两侧分别安装有散热孔。
[0005]进一步的，所述第二凹槽设有螺纹，且螺纹与所述螺杆的一侧螺纹连接。
[0006]进一步的，所述玻璃窗上等距安装有刻度线。
[0007]进一步的，所述底座的内部四周分别安装有驱动电机，且驱动电机与螺杆的底端固定连接。
[0008]进一步的，所述电源接口与外界电源线固定连接。
[0009]进一步的，所述出风口的顶端分别安装有防尘过滤网。
[0010]进一步的，所述超声波清洗装置与电源电性连接。
[0011]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0012]本技术通过超声波清洗装置及清洗液对芯片进行清洗处理，同时夹持移动板固定芯片的两端，用螺杆来带动夹持移动板的上下移动。当清洗完毕后，夹持移动板上升到机体的内部上方时，抽风机引动气流对芯片进行干燥处理，过滤网过滤空气中的灰尘，防止
灰尘进入造成二次污染。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是一种芯片生产用清洗装置的截面俯视示意图；
[0015]图2是一种芯片生产用清洗装置的整体侧面示意图。
[0016]附图标记：
[0017]1、机体；2、芯片；3、第一凹槽；4、螺杆；5、夹持移动板；6、清洗液；7、超声波清洗装置；8、抽风机；9、过滤网；10、第二凹槽；11、出风口；12、机盖；13、玻璃窗；14、开关；15、电源接口；16、散热孔；17、垫块；18、底座。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“顶部”、“底部”、“一侧”、“另一侧”、“前面”、“后面”、“中间部位”、“内部”、“顶端”、“底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0020]请参阅图1
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2，根据本技术实施例的一种芯片生产用清洗装置，包括机体1、芯片2及底座18，其特征在于，所述机体1的底端与所述底座18的顶端固定连接，所述底座18的底端四周分别与垫块17的顶端固定连接，所述机体1的两侧分别与抽风机8的一端固定连接，所述抽风机8的另一端分别与过滤网9卡扣连接，所述机体1的另外两侧分别安装有螺杆4，所述机体1的内壁两侧分别与夹持移动板5的一侧活动连接，所述夹持移动板5的另一侧等距安装有第一凹槽3，所述第一凹槽3的分别与所述芯片2的两端嵌合连接，所述机体1的内壁两侧分别与超声波清洗装置7的一端固定连接，所述机体1的内部底端装填有清洗液6，所述夹持移动板5的另一侧两端分别设有第二凹槽10，所述机体1的顶端与机盖12的底端卡扣连接，所述机盖12的顶端两侧分别安装有出风口11，所述抽风机8的底端分别安装有玻璃窗13，所述底座18的一侧与开关14固定连接，所述开关14的底端安装有电源接口15，所述底座18的两侧分别安装有散热孔16。
[0021]通过本技术的上述方案，所述第二凹槽10设有螺纹，且螺纹与所述螺杆4的一侧螺纹连接，所述玻璃窗13上等距安装有刻度线，所述底座18的内部四周分别安装有驱动电机，且驱动电机与螺杆4的底端固定连接，所述电源接口15与外界电源线固定连接，所述出风口11的顶端分别安装有防尘过滤网，所述超声波清洗装置7与电源电性连接。
[0022]工作原理：打开机盖12，把芯片2分别插入夹持移动板5的第一凹槽3处，关上机盖12后启动开关14，螺杆4转动带动夹持移动板5向机体1的内部底端移动，直到芯片2浸没在清洗液6中，之后超声波清洗装置7启动，对芯片2进行清洗作业。待气息完毕后，螺杆4带着夹持移动板5向上移动升到抽风机8两侧的位置，抽风机8启动，加快芯片2的干燥。
[0023]综上所述：本技术通过超声波清洗装置及清洗液对芯片进行清洗处理，同时夹持移动板固定芯片的两端，用螺杆来带动夹持移动板的上下移动。当清洗完毕后，夹持移动板上升到机体的内部上方时，抽风机引动气本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用清洗装置，包括机体(1)、芯片(2)及底座(18)，其特征在于，所述机体(1)的底端与所述底座(18)的顶端固定连接，所述底座(18)的底端四周分别与垫块(17)的顶端固定连接，所述机体(1)的两侧分别与抽风机(8)的一端固定连接，所述抽风机(8)的另一端分别与过滤网(9)卡扣连接，所述机体(1)的另外两侧分别安装有螺杆(4)，所述机体(1)的内壁两侧分别与夹持移动板(5)的一侧活动连接，所述夹持移动板(5)的另一侧等距安装有第一凹槽(3)，所述第一凹槽(3)的分别与所述芯片(2)的两端嵌合连接，所述机体(1)的内壁两侧分别与超声波清洗装置(7)的一端固定连接，所述机体(1)的内部底端装填有清洗液(6)，所述夹持移动板(5)的另一侧两端分别设有第二凹槽(10)，所述机体(1)的顶端与机盖(12)的底端卡扣连接，所述机盖(12)的顶端两侧分别安装有出风口(11)，所述抽风机(8)的底端分别安装有玻璃窗(13...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡华文，
申请(专利权)人：湖北科瑞半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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