一种用于真空设备上的升降旋转结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空设备上的升降旋转结构，包括旋转机构和双轴直线滑台，升降机构包括焊接波纹管组件，焊接波纹管组件上端与法兰底部固定连接，焊接波纹管组件下端固定连接有磁流体组件，磁流体组件和减速机固定在连接板上，减速机上端固定连接有伺服电机，磁流体组件和减速机下端各设有一个同步轮，同步轮与同步带啮合连接，磁流体组件上端通过联轴器与连接杆下端过盈连接，连接杆外部设有导向套，连接杆上端通过螺钉连接有旋转座，旋转座上端固定连接有多层工件盘。本实用新型专利技术通过升降旋转结构的整合设计，具有了结构简单、加工制作方便、经济实用、可靠性高等特点，适用于大部分真空蒸发镀膜机，进而提高了多层工件镀膜的均匀性。多层工件镀膜的均匀性。多层工件镀膜的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空设备上的升降旋转结构


[0001]本技术涉及升降旋转结构
，具体来说，涉及一种用于真空设备上的升降旋转结构。

技术介绍

[0002]真空蒸发镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程
的重要组成部分。随着全球制造业高速发展，真空蒸发镀膜技术应用越来越广泛。从半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看，对真空蒸发镀膜设备、技术、材料需求都在不断增加，传统真空蒸发镀膜机主要包含真空系统、蒸发系统、工件旋转系统、偏压清洗系统等部件，传统真空蒸发镀膜机偏压清洗系统的高压电源与工件旋转系统中的轴承连接，在工件基板旋转的同时实现偏压清洗功能，但由于不具备工件升降功能，导致在多层工件镀膜时会出现沉积不均匀现象。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

[0003]针对相关技术中的上述技术问题，本技术提出一种用于真空设备上的升降旋转结构，能够克服现有技术的上述不足。
[0004]为实现上述技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空设备上的升降旋转结构，包括旋转机构和升降机构，其特征在于，所述旋转机构包括伺服电机（10）、减速机（9）、磁流体组件（5）及旋转座连接杆（11），所述磁流体组件（5）与伺服电机（10）和减速机（9）通过同步带（8）和同步轮（7）固定连接在连接板（6）上，所述减速机（9）上端固定连接有伺服电机（10），所述同步轮（7）与同步带（8）啮合连接，所述磁流体组件（5）上端通过联轴器（4）与连接杆（11）下端过盈连接，所述连接杆（11）上部设有导向套（2），所述连接杆（11）上端固定连接有旋转座（12），所述旋转座（12）上固定连接有多层工件盘（13）；所述升降机构包括焊接波纹管组件（3）、双轴直线滑台（14）和法兰（1），所述焊接波纹管组件（3）上端与所述法兰（1）固定连接，所述焊接波纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：王萌，
申请(专利权)人：北京中科科美科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：