一种蒸镀坩埚及蒸镀系统技术方案

一种蒸镀坩埚和蒸镀系统。所述蒸镀坩埚包括：坩埚本体，包括底壁和所述侧壁围成的具有开口的容纳腔；设置在所述容纳腔内的网板组件，所述网板组件包括第一网板和第二网板，二者之间具有避让间隙，所述第一网板设置有至少一个第一网孔；所述第二网板包括开口部，所述开口部设置有至少一个第二网孔，在垂直于所述底壁的平面上，所述开口部的截面包括至少一个开口朝向所述底壁或者背离所述底壁的开口单元，所述开口单元为V形或者梯形；喷嘴，设置在所述容纳腔的开口处，所述喷嘴开设有喷气孔。本公开实施例中，通过增加梯形或V形开口的网板，使得气流通过两层网板之间的气孔通道产生类似涡流效应，从而减少喷溅，避免暗点不良和损坏掩膜版等。损坏掩膜版等。损坏掩膜版等。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚及蒸镀系统


[0001]本公开实施例涉及但不限于显示技术，尤指一种蒸镀坩埚和蒸镀系统。

技术介绍

[0002]有机发光二极体(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)是近年来逐渐发展起来的显示照明技术，尤其在显示行业，OLED显示由于具有高响应、高对比度、可柔性化等优点，被视为拥有广泛的应用前景。
[0003]在基板上形成OLED器件可以采用蒸镀工艺，蒸镀是指在一定的真空条件下加热坩埚，使坩埚内的蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，通过喷嘴最终沉积在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

技术实现思路

[0004]以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
[0005]本公开实施例提供了一种蒸镀坩埚和蒸镀系统，减少喷溅。
[0006]一方面，本公开实施例提供了一种蒸镀坩埚，包括：
[0007]坩埚本体，所述坩埚本体包括底壁和环绕所述底壁设置的侧壁，所述底壁和所述侧壁围成具有开口的用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体，所述坩埚本体包括底壁和环绕所述底壁设置的侧壁，所述底壁和所述侧壁围成具有开口的用于容纳蒸镀材料的容纳腔；设置在所述容纳腔内的网板组件，所述网板组件包括第一网板和设置在所述第一网板远离所述底壁一侧的第二网板，且所述第一网板和所述第二网板之间具有避让间隙，所述第一网板设置有至少一个供所述蒸镀材料通过的第一网孔；所述第二网板包括开口部，所述开口部设置有至少一个供所述蒸镀材料通过的第二网孔，在垂直于所述底壁的平面上，所述开口部的截面包括至少一个开口单元，且所述开口单元的开口朝向所述底壁或者背离所述底壁，所述开口单元为V形或者梯形；喷嘴，设置在所述容纳腔的开口处，所述喷嘴开设有喷气孔。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，在垂直于所述底壁的平面上，所述开口部的截面包括两个开口方向相同的所述开口单元，所述两个开口单元分别位于所述喷气孔的中轴线的两侧。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，在垂直于所述底壁的平面上，所述开口单元包括第一折线部和第二折线部，或者，包括依次连接的第一折线部、连接部和第二折线部，所述第一折线部、所述第二折线部与所述底壁的夹角为45度至60度。4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，在垂直于所述底壁的平面上，所述开口部的截面包括一个所述开口单元，所述开口单元包括第一折线部和...

【专利技术属性】
技术研发人员：星光，杨增乾，黄正峰，孙福坤，彭俊林，李震芳，宋星星，冯耀耀，金童燮，张志华，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：