一种坩埚盖、蒸镀坩埚及蒸镀设备制造技术

本申请公开了一种坩埚盖、蒸镀坩埚及蒸镀设备，用以提高蒸镀稳定性、提升蒸镀品质。本申请实施例提供的一种坩埚盖，坩埚盖包括：盖片，具有第一开口；喷嘴，在盖片的一侧与第一开口的边缘连接；螺旋结构，在第一开口之外的区域且在盖片背离喷嘴一侧与盖片连接；螺旋结构在盖片的正投影与第一开口具有交叠。盖片的正投影与第一开口具有交叠。盖片的正投影与第一开口具有交叠。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚盖、蒸镀坩埚及蒸镀设备


[0001]本申请涉及蒸镀
，尤其涉及一种坩埚盖、蒸镀坩埚及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)显示作为下一代显示技术，是现当今各项技术研究的热门领域。
[0003]OLED制备工艺中，蒸镀机通过蒸镀设备将材料蒸发到玻璃基板上，完成蒸镀工艺，其中金属腔室中的点源便是蒸镀设备的一种。蒸镀设备包括加热器、坩埚，坩埚内装有金属材料，通常的蒸镀工艺温度为500℃～1200℃。在生产工艺过程中，为了保持材料蒸发到玻璃基板上的材料厚度均匀性，对蒸镀工艺温度的波动性、蒸发速率的稳定性要求极高；坩埚内的金属材料可能会由于材料特性、环境温度的原因而产生不稳定状态，造成各种产品不良。例如，在高温的生产工艺过程中，金属材料在蒸发过程中由于不稳定，从坩埚喷嘴处的开口喷出形成无规律运动的金属飞溅液体，造成蒸镀设备电路短路的风险；金属材料在坩埚喷嘴附近以液态形式存在凝露现象，积累过多的材料会以液滴状态直接掉落至坩埚内产生“水花本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚盖，其特征在于，所述坩埚盖包括：盖片，具有第一开口；喷嘴，在所述盖片的一侧与所述第一开口的边缘连接；螺旋结构，在所述第一开口之外的区域且在所述盖片背离所述喷嘴一侧与所述盖片连接；所述螺旋结构在所述盖片的正投影与所述第一开口具有交叠。2.根据权利要求1所述的坩埚盖，其特征在于，所述螺旋结构包括：至少一组螺旋叶片。3.根据权利要求2所述的坩埚盖，其特征在于，所述至少一组螺旋叶片在所述盖片的正投影覆盖所述第一开口。4.根据权利要求3所述的坩埚盖，其特征在于，所述螺旋叶片的螺旋轴线在所述盖片的正投影与所述第一开口的中心重合。5.根据权利要求2～4任一项所述的坩埚盖，其特征在于，在所述螺旋叶片的螺旋轴线延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：晋亚杰，肖昂，罗楠，加新星，刘金彪，胡斌，李靖，刘文豪，姬磊，李元星，周杰，兰代江，李端瑞，党博谭，刘飞，祁泽宙，刘雅楼，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：