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一种蒸镀坩埚和蒸镀系统。所述蒸镀坩埚包括:坩埚本体,包括底壁和所述侧壁围成的具有开口的容纳腔;设置在所述容纳腔内的网板组件,所述网板组件包括第一网板和第二网板,二者之间具有避让间隙,所述第一网板设置有至少一个第一网孔;所述第二网板包括开口部...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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一种蒸镀坩埚和蒸镀系统。所述蒸镀坩埚包括:坩埚本体,包括底壁和所述侧壁围成的具有开口的容纳腔;设置在所述容纳腔内的网板组件,所述网板组件包括第一网板和第二网板,二者之间具有避让间隙,所述第一网板设置有至少一个第一网孔;所述第二网板包括开口部...