一种用于光刻曝光机的灯光系统技术方案

本发明专利技术涉及光刻曝光机技术领域，尤其涉及了一种用于光刻曝光机的灯光系统，包括高压泵灯和灯光模块，所述灯光模块设置于高压泵灯的输入端，所述灯光模块的输入端连接有多组控制器，所述多组控制器的输入端通过信号连接有控制客户端，所述曝光机的光源输入面板安装有光放大部，灯光模块包括灯光控制器、电源控制器、变压器和继电器。该用于光刻曝光机的灯光系统，通过在控制客户端控制多组控制器启动，多组控制器向电源控制器发出信号，电源控制器启动变压器，变压器将输入的电源通过继电器传输给泵灯，泵灯启动发出紫外线光源，在单个高压泵灯发生故障时，可以使用其余的高压泵灯，避免损坏后就进行维修，减少维修成本。减少维修成本。减少维修成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻曝光机的灯光系统


[0001]本专利技术涉及光刻曝光机
，具体为一种用于光刻曝光机的灯光系统。

技术介绍

[0002]光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
[0003]曝光机是生产大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，照明系统是平行光刻曝光机的的关键部件之一，在曝光能量源的选择上，现有的曝光机采用单灯光源。单灯价格较昂贵，一旦发生故障，维修费用较高，因此单灯系统有效寿命短，使用成本较高。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种用于光刻曝光机的灯光系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于光刻曝光机的灯光系统，包括高压泵灯和灯光模块，所述灯光模块设置于高压泵灯的输入端，所述灯光模块的输入端连接有多组控制器，所述多组控制器的输入端通过信号连接有控制客户端，所述曝光机的光源输入面板安装有光放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻曝光机的灯光系统，包括高压泵灯和灯光模块，所述灯光模块设置于高压泵灯的输入端，其特征在于：所述灯光模块的输入端连接有多组控制器，所述多组控制器的输入端通过信号连接有控制客户端，所述曝光机的光源输入面板安装有光放大部。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻曝光机的灯光系统，其特征在于：所述灯光模块包括灯光控制器、电源控制器、变压器和继电器，所述灯光控制器、电源控制器、变压器和继电器均设置在高压泵灯的内部，所述灯光控制器与多组控制器电性连接，所述灯光控制器与电源控制器电性连接，所述电源控制器与外界电源电性连接，所述变压器与继电器和电源控制器电性连接，所述继电器与高压泵灯的输入端电性连接。3.根据权利要求1所述的一种用于光刻曝光机的灯光系统，其特征在于：所述高压泵灯的光源为自动调节光源，所述光放大部包...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭光辉，
申请(专利权)人：济南晶硕电子有限公司，
类型：发明
国别省市：