芯片生产过程废水处理系统技术方案

本申请涉及芯片生产过程废水处理设备技术领域，尤其涉及一种芯片生产过程废水处理系统，包括废水预处理装置，废水预处理装置包括筛水机构和储水机构，筛水机构与抽水管管路连接，筛水机构内的废水过滤后进入储水机构，储水机构内设有储水桶，储水桶与出水管管路连接；信息收集模块，用于收集储水桶底部称重传感器和抽水开关信号的信息；信息存储模块，用于存储最近一次抽水开关信号的信息；控制模块，用于在信息收集模块接收到抽水开关信号后选择进行抽水或者发出报警信息。本申请的芯片生产过程废水处理系统，有助于针对不同特性指标的废水进行精准处理，收集过程人工操作简单方便。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及芯片生产过程废水处理设备，尤其涉及一种芯片生产过程废水处理系统。

技术介绍

1、本部分的陈述仅仅是提供了与本申请相关的
技术介绍
信息，不必然构成在先技术。

2、芯片生产过程中产生的废水主要有酸碱废水、有机废水、重金属废水和含氟废水等；其中酸碱废水主要来源于清洗设备和蚀刻设备，这类废水含有大量的酸或碱，ph值波动较大，对生态环境具有极大的破坏性；有机废水主要来源于化学气相沉积和光刻胶剥离过程，这类废水含有大量的有机溶剂，如丙酮、甲醇、乙醇等，这些物质对生物具有毒性；重金属废水主要来源于镀膜和研磨工艺，这类废水含有如铜、镍、铬、铅等重金属离子，对环境和人体健康具有极大的危害；含氟废水主要来源于蚀刻和清洗过程，这类废水含有大量的氟化物。

3、由上可知，在芯片生产过程中所产生的废水并不是单纯的一种，不同类别的废水具有不同的特性指标。但是在实践中，为了节省成本和提高处理速度，往往都是将所有废水混合在一起进行处理，这样虽然提高了废水的处理速度，但是将不同特性指标的废水混合后进行处理，无疑增加了废水处理的难度，因为混合后的废水其必然会进一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.芯片生产过程废水处理系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

6.根据权利要求4所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

7.根据权利要求5所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

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【技术特征摘要】

1.芯片生产过程废水处理系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的芯片生产过程废水处理系统，其特征在于：

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【专利技术属性】
技术研发人员：郭光辉，于家凯，
申请(专利权)人：济南晶硕电子有限公司，
类型：发明
国别省市：