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本发明涉及光刻曝光机技术领域，尤其涉及了一种用于光刻曝光机的灯光系统，包括高压泵灯和灯光模块，所述灯光模块设置于高压泵灯的输入端，所述灯光模块的输入端连接有多组控制器，所述多组控制器的输入端通过信号连接有控制客户端，所述曝光机的光源输入面板...
该专利属于济南晶硕电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南晶硕电子有限公司授权不得商用。

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