【技术实现步骤摘要】
一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法
[0001]本专利技术涉及薄膜
，尤其是一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法。
技术介绍
[0002]目前，导电布生产的原材料通常采用白色聚酯纤维布匹表面导电性很差，属绝缘性材料。为满足导电布生产制程对纤维布匹原料表面导电性要求，必须对原料布匹表面进行改性，使其具备良好的导电性，为后续电镀工序创造基础条件。原料布匹表面金属化是常用的聚酯纤维表面改性技术手段，目前有两种方法：（1）方法一：首先对布匹表面改性，使其具备催化化学镀反应能力，然后进行化学镀使其表面初步金属化。该工艺工序复杂，成本高，有一定环境污染，对环境友好性差。
[0003]（2）方法二：采用真空直流磁控溅射工艺在聚酯纤维布匹表面溅射20nm～40nm厚度的导电金属（如金属镍）使其初步金属化，具备一定的导电性从而满足后续电镀工艺要求。直流磁控溅射绿色环保，但存在真空镀过程中粒子或带电离子穿透力不够，镀膜表面电阻值超过兆欧级别，后续电镀困难，生产效率低，对于较厚或较致密聚酯纤维布匹基材甚至无法施镀。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：包括腔室，所述腔室内设置若干组中频孪生对靶，每组中频孪生对靶中的靶材正对放置，且分别放置于待镀布品两侧，每组中频孪生对靶之间形成等离子区域，每组中频孪生对靶后设置有一组水冷板，每组水冷板分别放置于待镀布品两侧；所述每组中频孪生对靶接中频磁控溅射电源，互为阴阳极。2.根据权利要求1所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：所述待镀布品固定在布品放卷机构上，所述布品放卷机构包括放卷辊和收卷辊以及位于放卷辊和收卷辊之间的过渡辊，所述过渡辊包括四个，分别位于同一个矩形的四个顶点上。3.根据权利要求1所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：中频磁控溅射电源的频率一般为20
‑
80kHz。4.根据权利要求3所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：优选40KHZ。5.根据权利要求1所述的一种纤维布匹表面初步金属化处理装置，其特征在于：所述中频孪生对靶的组数为4组。6.一种纤维布匹表面初步金属化处理方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：王明树，景佰亨，
申请(专利权)人：常州市飞荣达电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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