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本发明涉及薄膜技术领域，尤其是一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法；包括腔室，所述腔室内设置若干组中频孪生对靶，每组中频孪生对靶中的靶材正对放置，且分别放置于待镀布品两侧，每组中频孪生对靶之间形成等离子区域，每组中频孪生对靶后设置有...
该专利属于常州市飞荣达电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州市飞荣达电子材料有限公司授权不得商用。

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