下载一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法的技术资料

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本发明涉及薄膜技术领域,尤其是一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法;包括腔室,所述腔室内设置若干组中频孪生对靶,每组中频孪生对靶中的靶材正对放置,且分别放置于待镀布品两侧,每组中频孪生对靶之间形成等离子区域,每组中频孪生对靶后设置有...
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