本发明专利技术属于碳化硅加工技术领域，尤其是一种用于碳化硅加工的单面抛光机，针对现有的碳化硅抛光装置无法对碳化硅进行预加工的技术问题，现提出以下方案，包括预处理箱、一号安装盘和二号安装盘，所述一号安装盘靠近二号安装盘的一侧设置有多个，所述的输出端贯穿一号安装盘，所述的输出端于相邻两个一号安装盘之间连接有外接电源，所述外接电源的输出端连接有等离子发生器，所述等离子发生器远离外接电源的一端连接有等离子喷头，所述相邻两个所述一号安装盘的相对一侧设置有多个连接块。本发明专利技术结构科学，能够通过预加工将待加工工件多余的部分去除，进而缩短精加工程序时间，以此保护待加工工件内部的物理性能，提高成品率。提高成品率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅加工的单面抛光机
[0001]本专利技术涉及碳化硅加工
，尤其涉及一种用于碳化硅加工的单面抛光机。
技术介绍
[0002]碳化硅(SiC)材料，由于其高热导率、高击穿场强、禁带宽度大、电子饱和漂移速率高，以及耐高温、抗辐射和化学稳定性好等优良理化特性，成为制备功率半导体器件的第三代半导体材料。但是由于SiC具有极高的硬度(莫氏硬度为9.2)和良好的化学稳定性，在研磨和抛光工序上都相对困难，为了能缩短最后一道工序，即化学机械抛光(CMP)的抛光时间，有必要尽量减少晶片表面的损伤层和降低粗糙度。
[0003]现有的碳化硅加工装置在往往都出采用机械抛光来对碳化硅进行加工，而部门碳化硅待加工件往往因为切割厚度过大，导致需要对其进行长时间的抛光加工，长时间的机械抛光回破坏碳化硅内部物理结构，进而造成次品率上升，所以针对这种情况往往需要对碳化硅进行预加工，通过预加工来打磨掉过多不要的部分。
技术实现思路
[0004]基于现有的碳化硅抛光装置无法对碳化硅进行预加工的技术问题，本专利技术提出了一种用于碳化硅加工的单面抛光机。
[0005]本专利技术提出的一种用于碳化硅加工的单面抛光机，包括预处理箱、一号安装盘和二号安装盘，所述一号安装盘靠近二号安装盘的一侧设置有多个，所述的输出端贯穿一号安装盘，所述的输出端于相邻两个一号安装盘之间连接有外接电源，所述外接电源的输出端连接有等离子发生器，所述等离子发生器远离外接电源的一端连接有等离子喷头，所述相邻两个所述一号安装盘的相对一侧设置有多个连接块，所述连接块呈圆周分布，所述连接块内设置有压紧弹簧，所述压紧弹簧远离一号安装盘的一端连接有能够与连接块配合滑动插接的滑动筒，所述连接块靠近滑动筒的一侧设置有连接杆，所述连接杆上转动设置有转动轴，所述转动轴的两端设置有滑动杆，两个滑动杆的两端分别设置有外摩擦片和内摩擦片，所述滑动筒靠近连接块的一侧设置有导位板，所述导位板上设置有多个能够与滑动杆一一对应的导位槽，所述滑动杆能够在导位槽内配合滑动，相邻两个滑动杆之间设置有复位弹簧。
[0006]优选地，所述等离子发生器内设置有射频电源，所述射频电源的输出端于等离子发生器内连接有铝合金电极，所述等离子发生器的内壁插接有多个导气管，所述导气管的端口处正对于铝合金电极，所述铝合金电极的端口于等离子发生器的外部与等离子喷头相连接。
[0007]优选地，连接在不同两个所述导位板上的相邻两个滑动杆的底部均铰接在外摩擦片和内摩擦片上，且所述外摩擦片和内摩擦片上均设置有通孔。
[0008]优选地，所述预处理箱内壁上设置有固定设置有多个步进电机，相邻两个步进电机的相对一侧输出端连接有安装柱，所述安装柱内设置有中心槽，所述中心槽内壁上转动
设置有多个转轴，所述转轴上设置有固定杆，所述安装柱上滑动设置有中心杆，所述中心杆远离步进电机的一端设置有滑动盖，所述滑动盖的另一端连接有限位弹簧，所述固定杆上滑动设置有套筒，所述限位弹簧的另一端与套筒相连接，所述套筒远离滑动盖的一侧与一号安装盘固定连接，所述中心杆与步进电机的输出端相连接，所述固定杆靠近中心杆的一端连接有转动块，所述固定杆远离中心杆的一端连接有固定卡块，所述转动块位于卡槽内，所述转轴上套接有扭力弹簧，所述扭力弹簧的两端分别固定连接在中心槽内壁和转轴上。
[0009]优选地，所述安装柱上开设有承接槽，所述固定杆能够与承接槽配合滑动插接，相邻两个所述安装柱的相对一侧滑动插接有固定盘。
[0010]优选地，相邻两个所述固定盘的相对一侧设置有支撑柱，所述支撑柱的另一端分别设置有一号卡杆和二号卡杆，所述一号卡杆和二号卡杆通过固定盘和支撑柱分别与一号安装盘和二号安装盘相连接，所述一号卡杆与支撑柱之间通过固定螺栓进行固定连接，所述一号卡杆和二号卡杆互相靠近的一端设置有中心盘。
[0011]优选地，与所述二号卡杆相连接的一号安装盘的内侧设置有多个转动电机，所述转动电机的输出端连接有预摩擦块，所述预摩擦块与固定环一一相对。
[0012]优选地，所述中心盘上设置有与一一对应的固定环，所述中心盘上设置有转动槽，所述转动槽内壁上固定设置有翻转电机，所述翻转电机的输出端于固定环内设置有传动齿轮组，所述翻转电机通过传动齿轮组和轴与固定环相连接，所述固定环的外侧设置有粘贴胶气动泵，所述固定环的内壁上设置有多个涂抹孔，所述涂抹孔与粘贴胶气动泵的输出端相连接，通过设置粘贴胶气动泵，将粘贴胶通过粘贴胶气动泵均匀鼓动至涂抹孔，通过粘贴胶将待加工工件固定在固定环内。
[0013]优选地，所述预处理箱的底部设置有加工箱，所述加工箱的侧面按照从上到下的位置关系依次设置有抛光液冷却系统、电控柜、蠕动泵和磁力搅拌器，所述加工箱的侧面还设置有抛光液及清理液处理系统，且预处理箱上设置有人机控制系统和抛光盘，所述人机控制系统的控制端连接有用于打磨的驱动电机，所述抛光盘的上侧设置有防护罩。
[0014]本专利技术中的有益效果为：
[0015]1、通过设置步进电机,步进电机的输出端带动中心杆进行上下伸缩，中心杆以转轴为轴转动，带动设置在卡槽内的转动块进行上下移动，进而撬动固定杆进行上下移动，当固定盘滑动插接在安装柱上时，通过步进电机控制中心杆来对固定杆进行上下撬动，使得固定杆上的卡块卡住固定盘的底部，将固定盘与安装柱固定在一起，当中心杆向下运动时带动滑动盖顺着套筒进行滑动，最终带动一号安装盘和向待加工硅片靠近，通过设置射频电源,射频电源向铝合金电极输送电力，通过导气管与外界气源向等离子发生器内输送加工气体，加工气体为载气氦气、辅助气体氧气和反应气体四氯化碳组成的混合气体，混合气体的流量大小比为1：2：2，在铝合金电极的尖端产生等离子体焰通过喷嘴，形成等离子射流，大气等离子体射流将待加工工件的高刻蚀去除，快速去除待加工工件在前期加工过程中产生的表面及亚表面缺陷，对其表面进行刻蚀抛光，抛光完成后关闭射频电源和外接气源，以此完成对待加工工件的初步处理，避免了后期因长时间机械加工造成内部结构损伤。
[0016]2、通过设置翻转电机,翻转电机转动带动固定环进行翻转，通过固定环的翻转来对待加工工件进行翻面，通过设置转动电机和预摩擦块,转动电机带动预摩擦块对初步打磨过的工件进行打磨，通过对预摩擦块进行金刚石抛光膏加注，通过金刚石抛光膏的使用，
将等离子体抛光过程中产生的诸多不易脱离工件表明的杂质清除，相比于传统的机械抛光，通过金刚石抛光膏抛光可以避免产生粉状杂质，进一步使得加工装置不易进入粉尘，以此实现对装置的保护。
[0017]3、通过设置人机控制系统，人机控制系统当中的自动化控制技术全面的管理控制设备的所有动作及参数，存储在设备里的数据可直接拷贝到电脑里或远程传输，便于企业管理。通过设置抛光液及清理液处理系统，可根据用户需求选择喷洒和输液模式，研磨液能均匀的滴在研磨盘上，达到工件的稳定性，减少研磨的时间，更节省了耗材的成本，也符合了环境的要求。
附图说明
[0018]图1为本专利技术提出的一种用于碳化硅加工的单面抛本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅加工的单面抛光机，包括预处理箱(36)、一号安装盘(24)和二号安装盘(28)，其特征在于，所述一号安装盘(24)靠近二号安装盘(28)的一侧设置有多个(45)，所述(45)的输出端贯穿一号安装盘(24)，所述(45)的输出端于相邻两个一号安装盘(24)之间连接有外接电源(4)，所述外接电源(4)的输出端连接有等离子发生器(3)，所述等离子发生器(3)远离外接电源(4)的一端连接有等离子喷头(5)；所述相邻两个所述一号安装盘(24)的相对一侧设置有多个连接块(6)，所述连接块(6)呈圆周分布，所述连接块(6)内设置有压紧弹簧(7)，所述压紧弹簧(7)远离一号安装盘(24)的一端连接有能够与连接块(6)配合滑动插接的滑动筒(12)，所述连接块(6)靠近滑动筒(12)的一侧设置有连接杆(9)，所述连接杆(9)上转动设置有转动轴，所述转动轴的两端设置有滑动杆(10)，两个滑动杆(10)的两端分别设置有外摩擦片(30)和内摩擦片(31)，所述滑动筒(12)靠近连接块(6)的一侧设置有导位板(8)，所述导位板(8)上设置有多个能够与滑动杆(10)一一对应的导位槽(13)，所述滑动杆(10)能够在导位槽(13)内配合滑动，相邻两个滑动杆(10)之间设置有复位弹簧(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅加工的单面抛光机，其特征在于，所述等离子发生器(3)内设置有射频电源(33)，所述射频电源(33)的输出端于等离子发生器(3)内连接有铝合金电极(34)，所述等离子发生器(3)的内壁插接有多个导气管(35)，所述导气管(35)的端口处正对于铝合金电极(34)，所述铝合金电极(34)的端口于等离子发生器(3)的外部与等离子喷头(5)相连接。3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅加工的单面抛光机，其特征在于，连接在不同两个所述导位板(8)上的相邻两个滑动杆(10)的底部均铰接在外摩擦片(30)和内摩擦片(31)上，且所述外摩擦片(30)和内摩擦片(31)上均设置有通孔。4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅加工的单面抛光机，其特征在于，所述预处理箱(36)内壁上设置有固定设置有多个步进电机(17)，相邻两个步进电机(17)的相对一侧输出端连接有安装柱(22)，所述安装柱(22)内设置有中心槽，所述中心槽内壁上转动设置有多个转轴，所述转轴上设置有固定杆(19)，所述安装柱(22)上滑动设置有中心杆(18)，所述中心杆(18)远离步进电机(17)的一端设置有滑动盖(29)，所述滑动盖(29)的另一端连接有限位弹簧(23)，所述固定杆(19)上滑动设置有套筒，所述限位弹簧(23)的另一端与套筒相连接，所述套筒远离滑动盖(29)的一侧与一号安...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴悠松，李钟海，许华平，陆沛钒，
申请(专利权)人：南通元兴智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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