用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统技术方案

本发明专利技术涉及半导体材料抛光技术领域，且公开了用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，包括基座以及位于基座上的辅冷却箱、过滤箱以及主冷却箱，所述主冷却箱上还安装有散热盒，且散热盒上设置有用于连通主冷却箱的散热孔，所述主冷却箱内设置有第一冷却组件，所述第一冷却组件包括散热风扇、转管以及搅拌管，所述转管与所述散热盒之间转动连接，所述转管一端与搅拌管一端连接，转管另一端上转动密封连接有冷却液进管，搅拌管另一端与基座转动连接，且搅拌管另一端上还转动密封连接有冷却液出管，所述散热风扇位于散热盒内；本发明专利技术，通过设置的第一冷却组件与过滤组件等的配合使用，能够提高抛光液的冷却效率。够提高抛光液的冷却效率。够提高抛光液的冷却效率。

【技术实现步骤摘要】
用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统


[0001]本专利技术属于半导体材料抛光
，具体为用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统。

技术介绍

[0002]碳化硅是第三代化合物半导体材料，因其优越的物理性能，高禁带宽度(对应高击穿电场和高功率密度)、高电导率、高热导率，高硬度、高耐磨性，仅次于金刚石，可轻松切割红宝石，热稳定性高，将是未来最被广泛使用的制作半导体芯片的基础材料。由碳化硅单晶制成的功率器件和微波通讯器件已经广泛应用于5G通讯、军用雷达、新能源汽车、大数据中心、智能电网、工业逆变器等领域。碳化硅，氮化镓，砷化镓为代表的化合物半导体材料覆盖5G基建、特高压、城际高铁和城市轨道交通、新能源汽车充电桩、大数据中心、人工智能、工业互联网七大领域。磨抛是制造芯片的重要环节，设备要求精度高，抛光液的使用能够提高磨抛质量。
[0003]现有的抛光液冷却系统普遍结构传统，自动化程度低影响抛光效率，且冷却效果较差，不便于对抛光液中的杂质进行过滤，严重影响抛光液的循环使用，导致芯片制造成本增加，因此，针对以上现状，迫切需要提供用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，以克服当前实际应用中的不足。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，有效的解决了现有的抛光液冷却系统普遍结构传统，自动化程度低影响抛光效率，且冷却效果较差，不便于对抛光液中的杂质进行过滤，严重影响抛光液的循环使用，导致芯片制造成本增加的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统包括基座以及位于基座上的辅冷却箱、过滤箱以及主冷却箱，所述主冷却箱上设置有抛光液进管，且辅冷却箱与主冷却箱之间通过第一导管连接，辅冷却箱与过滤箱之间通过第二导管连接，所述主冷却箱上还安装有散热盒，且散热盒上设置有用于连通主冷却箱的散热孔，所述主冷却箱内设置有第一冷却组件，所述第一冷却组件包括散热风扇、转管以及搅拌管，所述转管与所述散热盒之间转动连接，所述转管一端与搅拌管一端连接，转管另一端上转动密封连接有冷却液进管，搅拌管另一端与基座转动连接，且搅拌管另一端上还转动密封连接有冷却液出管，所述散热风扇位于散热盒内，且散热风扇与转管之间固定连接，所述散热盒上还设置有用于带动转管转动的第一驱动组件，所述辅冷却箱内设置有对抛光液进行二次冷却的第二冷却组件，所述过滤箱内设置有用于对冷却后抛光液中杂质进行处理的过滤组件。
[0006]优选的，所述基座上还设置有引风机，所述引风机与所述散热盒之间通过引风管连接。
[0007]优选的，所述第二冷却组件包括进料管、冷却管、冷却液出管以及延时板，所述冷却管设置于所述辅冷却箱内，且辅冷却箱上还设置有用于向冷却管内循环输送冷却液的冷却液循环管，所述进料管与第一导管相连接，所述冷却液出管设置于所述辅冷却箱内，且冷却液出管与第二导管之间通过泵b连接，所述延时板在所述辅冷却箱内设置有多组。
[0008]优选的，所述延时板在所述辅冷却箱的侧壁上交错设置。
[0009]优选的，所述冷却管为弯曲型结构。
[0010]优选的，所述过滤组件包括转轴、螺纹套筒、过滤板以及封堵头，所述过滤板设置于过滤箱内，且过滤板上还设置有排污管，所述转轴通过支撑板安装在过滤箱内，且转轴上还设置有螺纹，所述支撑板上安装有与转轴螺纹连接的螺纹套筒，所述过滤箱内还设置有用于带动转轴转动的第二驱动组件，所述封堵头安装在所述转轴上，所述转轴上还设置有用于对过滤板进行清理的刮板。
[0011]优选的，所述第二驱动组件包括第一驱动电机、传动件以及固定板，所述第一驱动电机设置于所述过滤箱上，所述传动件用于转轴与第一驱动电机之间的连接，所述固定板通过防护盒一端安装在支撑板上，防护盒另一端与进料管连接。
[0012]优选的，所述第一驱动组件包括驱动盒、第二驱动电机以及传动齿轮，所述驱动盒设置于散热盒上，且驱动盒与冷却液进管之间固定连接，所述第二驱动电机设置于驱动盒内，所述传动齿轮设置有两组，且两组传动齿轮分别设置于第二驱动电机和转管上，两组传动齿轮相互啮合。
[0013]优选的，所述第一导管上还安装有泵a。
[0014]优选的，所述基座上设置有移动轮。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0016]通过抛光液进管便于将抛光设备内使用后的抛光液导入主冷却箱内，通过冷却液进管即可将冷却液导入转管内，通过冷却液进管、转管以及冷却液出管的配合作用即可实现搅拌管内冷却液循环，通过第一驱动组件即可带动转管转动，从而电动搅拌管旋转，通过旋转的搅拌管即可实现对抛光液的搅拌处理，使得抛光液能够与搅拌管内的冷却液充分接触，实现冷却处理，同时通过搅拌管对抛光液的搅拌处理配合转管加快主冷却箱内气体流动的方式，加快抛光液冷却，进而提高冷却效果，便于抛光液循环使用，降低芯片的制造成本；
[0017]通过引风机便于将散热盒内的高温气体吸出，便于提高冷却效果；
[0018]通过冷却液循环管便于实现冷却管内冷却液循环，通过进料管便于将抛光液输送至辅冷却箱内顶部，通过延时板便于延长抛光液向下流动的时间，从而延长抛光液与冷却管内冷却液的接触时间，提高冷却效果；
[0019]通过过滤板即可实现对抛光液的过滤处理，通过抛光液出管即可将过滤后的抛光液导出，实现抛光液的循环利用，通过第二驱动组件带动转轴转动的方式即可实现转轴在螺纹套筒内滑动，此时封堵头与排污管分离，便于将滤渣通过排污管排出，同时转轴向上移动的时还能够带动刮板转动，通过刮板即可将过滤板上粘附的杂质进行清理，提高过滤板的过滤效果。
附图说明
[0020]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。
[0021]在附图中：
[0022]图1为本专利技术实施例的立体结构示意图。
[0023]图2为本专利技术实施例的俯视结构示意图。
[0024]图3为本专利技术实施例中主冷却箱的内部结构示意图。
[0025]图4为本专利技术实施例中散热盒的内部结构示意图。
[0026]图5为本专利技术实施例中辅冷却箱的剖视结构示意图。
[0027]图6为本专利技术实施例中过滤箱的剖视结构示意图。
[0028]图7为图6中A处的放大结构示意图。
[0029]图8为本专利技术实施例中驱动组件的结构示意图。
[0030]图中：1
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基座，2
‑
辅冷却箱，3
‑
过滤箱，4
‑
抛光液出管，5
‑
第二导管，6
‑ꢀ
引风管，7
‑
主冷却箱，8
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散热盒，9
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驱动盒，10
‑
冷却液进管，11
‑
抛光液进管， 12
‑
移动轮，13
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，包括基座(1)以及位于基座(1)上的辅冷却箱(2)、过滤箱(3)以及主冷却箱(7)，其特征在于：所述主冷却箱(7)上设置有抛光液进管(11)，且辅冷却箱(2)与主冷却箱(7)之间通过第一导管(13)连接，辅冷却箱(2)与过滤箱(3)之间通过第二导管(5)连接，所述主冷却箱(7)上还安装有散热盒(8)，且散热盒(8)上设置有用于连通主冷却箱(7)的散热孔(23)，所述主冷却箱(7)内设置有第一冷却组件，所述第一冷却组件包括散热风扇(24)、转管(25)以及搅拌管(17)，所述转管(25)与所述散热盒(8)之间转动连接，所述转管(25)一端与搅拌管(17)一端连接，转管(25)另一端上转动密封连接有冷却液进管(10)，搅拌管(17)另一端与基座(1)转动连接，且搅拌管(17)另一端上还转动密封连接有冷却液出管(18)，所述散热风扇(24)位于散热盒(8)内，且散热风扇(24)与转管(25)之间固定连接，所述散热盒(8)上还设置有用于带动转管(25)转动的第一驱动组件，所述辅冷却箱(2)内设置有对抛光液进行二次冷却的第二冷却组件，所述过滤箱(3)内设置有用于对冷却后抛光液中杂质进行处理的过滤组件。2.根据权利要求1所述的用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，其特征在于，所述基座(1)上还设置有引风机(16)，所述引风机(16)与所述散热盒(8)之间通过引风管(6)连接。3.根据权利要求1所述的用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，其特征在于，所述第二冷却组件包括进料管(20)、冷却管(21)、冷却液出管(18)以及延时板(22)，所述冷却管(21)设置于所述辅冷却箱(2)内，且辅冷却箱(2)上还设置有用于向冷却管(21)内循环输送冷却液的冷却液循环管(15)，所述进料管(20)与第一导管(13)相连接，所述冷却液出管(18)设置于所述辅冷却箱(2)内，且冷却液出管(18)与第二导管(5)之间通过泵b(19)连接，所述延时板(22)在所述辅冷却箱(2)内设置有多组。4.根据权利要求3所述的用于碳化硅抛光的抛光液冷却自动化系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：许华平，陆沛钒，裴悠松，李钟海，
申请(专利权)人：南通元兴智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：