本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，甩干机的烘干系统包括甩干桶，还包括：吹扫机构，用于送入吹扫气体；加热机构，用于加热吹扫气体和甩干桶；气体流量调节机构，用于调节吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于测量甩干桶内的温度信息和湿度信息；控制器，用于获取温度信息和湿度信息；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息小于或等于预设温度阈值时，减小吹扫机构中吹扫气体的流量；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息大于预设温度阈值时，增大吹扫机构中吹扫气体的流量，本申请提出的烘干系统可自动调节吹扫气体流量，实现了甩干机自动化烘干，并提高能源利用率。用率。用率。
【技术实现步骤摘要】
甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机
[0001]本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机。
技术介绍
[0002]由半导体材料制成的器件是电子工业中的重要基础产品，已运用于生活中的方方面面，甩干机是晶圆清洗烘干中的一个必要步骤，快速高效烘干晶圆能有效提高半导体材料的生产效率，也能提高半导体材料的质量，同时减少生产过程中产生的污染。
[0003]现有的一些甩干机烘干装置一般包括喷淋、吹扫、烘干等流程，在烘干过程中一般根据经验值设定烘干时长，不能根据温度和湿度进行自动调节吹扫气体的流量，导致烘干效率低。
[0004]针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。
技术实现思路
[0005]本申请的目的在于提供一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，旨在解决在进行甩干时无法实现自动化控制的问题。
[0006]第一方面，本申请提供了一种甩干机的烘干系统，包括甩干桶，所述烘干系统包括：吹扫机构，安装在所述甩干桶内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；加热机构，安装在所述甩干桶内，用于加热所述吹扫气体和所述甩干桶；气体流量调节机构，安装在所述吹扫机构上，用于调节所述吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于测量所述甩干桶内的温度信息和湿度信息；控制器，所述控制器与所述吹扫机构、所述加热机构、所述气体流量调节机构和所述温度湿度传感器电性连接，用于控制所述加热机构同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理，并用于获取所述温度信息和所述湿度信息；所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构减小所述吹扫机构中吹扫气体的流量；所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构增大所述吹扫机构中吹扫气体的流量。
[0007]本申请提供的甩干机的烘干系统，通过控制器获取温度湿度传感器测得的甩干机内的温度信息和湿度信息，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制器控制气体流量调节机构减小吹扫机构送出的吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制器控制气体流量调节机构增大吹扫机构送出的吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机的自动烘干，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
[0008]可选地，本申请所述的甩干机的烘干系统，所述甩干桶设置为内桶和外桶的双桶结构，所述内桶设置在所述外桶内。
[0009]本申请通过设置内外桶的双桶结构，以减少甩干机在甩干过程中产生的震动和噪声。
[0010]可选地，本申请所述的甩干机的烘干系统，所述吹扫机构包括进气管道和与所述进气管道连接的输出管道，所述进气管道环绕设置在外桶的内壁，所述输出管道设置在所述内桶上。
[0011]本申请通过在外桶的内壁上设置进气管道，可通过甩干桶内的热量对进气管道中的吹扫气体进行预热，提高能源的利用率。
[0012]可选地，本申请所述的甩干机的烘干系统，所述气体流量调节机构设置在所述进气管道上，所述温度湿度传感器设置在所述内桶内。
[0013]本申请通过气体流量调节机构调节进气管道中吹扫气体的流量，通过设置温度湿度传感器以实时获取甩干桶内的温度信息及湿度信息。
[0014]第二方面，本申请提出一种甩干机的烘干方法，应用于甩干机的烘干系统，所述甩干机的烘干系统包括：吹扫机构，安装在所述甩干桶内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；加热机构，安装在所述甩干桶内，用于加热所述吹扫气体及所述甩干桶；气体流量调节机构，安装在所述吹扫机构上，用于调节所述吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于检测所述甩干桶内的温度信息和湿度信息；所述甩干机的烘干方法包括以下步骤：控制所述加热机构同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理；获取所述温度信息和所述湿度信息；在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构减小所述吹扫机构中吹扫气体的流量；在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构增大所述吹扫机构中吹扫气体的流量。
[0015]本申请提出的甩干机的烘干方法，根据甩干桶内的温度和湿度，调节吹扫气体的流量，当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构减小吹扫气体的流量；当湿度信息大于预设湿度阈值，温度信息大于预设温度阈值时，控制气体流量调节机构增大吹扫气体的流量，从而使湿度信息小于或等于预设湿度阈值，完成甩干机的自动烘干，根据温度和湿度调节吹扫气体的流量，充分利用甩干桶内的热量进行烘干，实现烘干自动化调节，提高了能源利用率，提高烘干效率。
[0016]第三方面，本申请提出的一种甩干机，用于清洗晶圆，所述甩干机包括：甩干驱动机构，安装在所述甩干桶上，用于驱动甩干桶在甩干过程中持续转动；喷淋机构，安装在所述甩干桶内，用于提供喷洒所述晶圆用的喷淋水；所述甩干机还包括：吹扫机构，安装在所述甩干桶内，用于提供吹扫所述晶圆用的吹扫气体；加热机构，安装在所述甩干桶内，用于加热所述吹扫气体或加热所述吹扫气体及
所述甩干桶；气体流量调节机构，安装在所述吹扫机构上，用于调节所述吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于检测所述甩干桶内的温度信息和湿度信息；控制器，所述控制器与所述喷淋机构、所述甩干驱动机构、所述吹扫机构、所述加热机构、所述气体流量调节机构和所述温度湿度传感器电性连接；所述控制器用于控制所述喷淋机构提供喷洒所述晶圆用的所述喷淋水；所述控制器还用于控制所述加热机构加热所述吹扫气体以控制所述吹扫机构对所述晶圆进行吹扫处理；所述控制器还用于控制所述加热机构加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理；在所述烘干处理中，所述控制器还用于控制所述加热机构同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶以对所述甩干桶内的所述晶圆进行烘干处理，并用于获取所述温度信息和所述湿度信息；所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构减小所述吹扫机构中吹扫气体的流量；所述控制器还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构增大所述吹扫机构中吹扫气体的流量。
[0017]本申请提出的甩干机的在甩干过程中，先通过喷淋机构向甩干桶内喷洒喷淋水，后吹扫机构向甩干桶内吹出吹扫气体并由加热机构对吹扫气体进行加热，吹扫后控制器通过温度湿度传感器获取甩干桶内的温度信息和湿度信息，并根据温度信息和湿度信息调节气体流量调节机构，增大或减小吹扫气体的流量，从而使甩干桶内的湿度小于或等于预设湿度阈值，完成对甩干机内晶圆的清洁，根据温度和湿度调本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种甩干机的烘干系统，包括甩干桶（1），其特征在于，所述烘干系统包括：吹扫机构（2），安装在所述甩干桶（1）内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；加热机构（3），安装在所述甩干桶（1）内，用于加热所述吹扫气体和所述甩干桶（1）；气体流量调节机构（4），安装在所述吹扫机构（2）内，用于调节所述吹扫气体的流量；温度湿度传感器（5），用于测量所述甩干桶（1）内的温度信息和湿度信息；控制器（6），所述控制器（6）与所述吹扫机构（2）、所述加热机构（3）、所述气体流量调节机构（4）和所述温度湿度传感器（5）电性连接，用于控制所述加热机构（3）同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理，并用于获取所述温度信息和所述湿度信息；所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）减小所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量；所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）增大所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量。2.根据权利要求1所述的甩干机的烘干系统，其特征在于，所述甩干桶（1）设置为内桶（11）和外桶（12）的双桶结构，所述内桶（11）设置在所述外桶（12）内。3.根据权利要求2所述的甩干机的烘干系统，其特征在于，所述吹扫机构（2）包括进气管道（21）和与所述进气管道（21）连接的输出管道（20），所述进气管道（21）环绕设置在外桶（12）的内壁，所述输出管道（20）设置在所述内桶（11）上。4.根据权利要求3所述的甩干机的烘干系统，其特征在于，所述气体流量调节机构（4）设置在所述进气管道（21）上，所述温度湿度传感器（5）设置在所述内桶（11）内。5.一种甩干机的烘干方法，应用于甩干机的烘干系统，其特征在于，所述甩干机的烘干系统包括：吹扫机构（2），安装在甩干桶（1）内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体；加热机构（3），安装在所述甩干桶（1）内，用于加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）；气体流量调节机构（4），安装在所述吹扫机构（2）内，用于调节所述吹扫气体的流量；温度湿度传感器（5），用于检测所述甩干桶（1）内的温度信息和湿度信息；所述甩干机的烘干方法包括以下步骤：控制所述加热机构（3）同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理；获取所述温度信息和所述湿度信息；在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）减小所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量；在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）增大所述吹扫机构（...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛飞龙，吴彩庭，戴科峰，伍三忠，吴帆，徐俊，
申请(专利权)人：季华恒一佛山半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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