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本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，甩干机的烘干系统包括甩干桶，还包括：吹扫机构，用于送入吹扫气体；加热机构，用于加热吹扫气体和甩干桶；气体流量调节机构，用于调节吹扫气体的流量；温度湿...
该专利属于季华恒一（佛山）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过季华恒一（佛山）半导体科技有限公司授权不得商用。

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