晶圆片存储仓制造技术

一种晶圆片存储仓，包括：存储架，所述存储架上设有多个用于供晶圆叉手从该存储架的后侧水平向前插入晶圆片或者取出晶圆片的存储格以及供中转盒和晶圆叉手进出的前后方向设置的通道，所述通道内设有用于水平放置所述中转盒的固定平台；可在所述存储架的后侧左右水平移动且升降的晶圆片取放装置，所述晶圆片取放装置包括可沿位于后端的转动中心水平摆动的第一臂、可在所述第一臂的前端水平同步摆动的第二臂、可在所述第二臂的前端水平同步摆动的固定座以及晶圆叉手，所述晶圆叉手朝前水平布置，其后端与所述固定座固定。本实用新型专利技术可以晶圆片为单位进行存料和出料，可以将指定的晶圆片取出放入中转盒中，满足后续工艺的需求，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆片存储仓


[0001]本技术属于芯片生产
，尤其涉及一种晶圆片存储仓。

技术介绍

[0002]目前，在由晶圆生产芯片的过程中，往往需要将晶圆片存储至存储仓中以备使用。
[0003]传统的晶圆片存储仓只能以晶圆盒为单位进行存料和出料，晶圆盒内部两侧通常设置多个上下分布的插槽，用于水平插入多层晶圆片，同一盒的晶圆片通常属于一个批次，因此，如果后续工艺需要使用存储仓中不同批次的晶圆片，显然传统的晶圆片存储仓无法满足，造成生产效率较低。

技术实现思路

[0004]基于此，针对上述技术问题，提供一种高效的晶圆片存储仓。
[0005]本技术采用的技术方案如下：
[0006]一种晶圆片存储仓，其特征在于，包括：
[0007]存储架，所述存储架上设有多个用于供晶圆叉手从该存储架的后侧水平向前插入晶圆片或者取出晶圆片的存储格以及供中转盒和晶圆叉手进出的前后方向设置的通道，所述通道内设有用于水平放置所述中转盒的固定平台；
[0008]可在所述存储架的后侧左右水平移动且升降的晶圆片取放装置，所述晶圆片取放装置包括可沿位于后端的转动中心水平摆动的第一臂、可在所述第一臂的前端水平同步摆动的第二臂、可在所述第二臂的前端水平同步摆动的固定座以及晶圆叉手，所述晶圆叉手朝前水平布置，其后端与所述固定座固定。
[0009]本技术在存储架上设置多个存储格，晶圆片取放装置可在存储架的后侧左右水平移动且升降，并且其晶圆叉手可在第一臂、第二臂和固定座的同步摆动下沿前后方向水平移动，从而使得晶圆片取放装置可以在存储格和固定平台上的中转盒之间取出或者放入单个晶圆片，实现存储仓以晶圆片为单位进行存料和出料，可以将指定的晶圆片取出放入中转盒中，满足后续工艺的需求，提高了生产效率。
附图说明
[0010]下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明：
[0011]图1为本技术的立体结构示意图；
[0012]图2为本技术的存储架的结构示意图；
[0013]图3为本技术的存储盒的结构示意图；
[0014]图4为本技术的中转盒放置在固定平台上的示意图；
[0015]图5为本技术的晶圆片取放装置的结构示意图；
[0016]图6为本技术的晶圆叉手的传动结构示意图；
[0017]图7为本技术的水平换向机构的结构示意图；
[0018]图8为本技术的第一臂、第二臂以及固定座的同步结构示意图。
具体实施方式
[0019]如图1以及图5所示，本说明书实施例提供一种晶圆片存储仓，包括两个存储架1100以及晶圆片取放装置1200。
[0020]两个存储架1100前后对称布置，晶圆片取放装置1200设于两个存储架1100之间。
[0021]如图1以及图2所示，存储架1100包括由多个横向型材和多个竖向型材构成的架体1110以及左右并列固定于架体1110上的多个存储盒1120，存储盒1120的后侧为料口，存储盒1120内形成上下等距的多层存储格，每个存储格由设于存储盒1120左右内壁上的一对插槽1121构成，参见图3。
[0022]通过上述料口可以将晶圆片水平向前插入存储格中或者从存储格中取出晶圆片。
[0023]当然，多个存储格也可以直接形成于存储架1100上，可供晶圆叉手从存储架1100的后侧水平向前插入晶圆片或者取出晶圆片即可。
[0024]其中，如图1所示，两个存储架1100的架体1110一体连接，两者的外侧设有封板1130以及位于左右两侧的检修门1140。
[0025]存储架1100上还设有供中转盒2和晶圆叉手进出的前后方向设置的通道1150，通道1150内设有用于水平放置中转盒2的固定平台1160，参见图4。
[0026]每个存储架1100上的通道可以为两个，两个通道左右并列，每个通道的前侧通道口处均设有仓门1170，仓门1170可以采用升降开闭的形式，参见图1以及图2。其中，一个通道用于进料，另一个通道用于出料，当然，也可以只设置一个通道。
[0027]中转盒2的结构与存储盒1120类似，其内同样可以水平插入多层晶圆片。
[0028]如图4所示，为了便于中转盒的放置，固定平台1160上具有用于定位中转盒的放置位置的定位件1161，定位件1161可与中转盒2的底部配合。
[0029]进料时，将载有晶圆片的中转盒2放置于上述固定平台1160上，且料口朝后与存储架1100上的存储盒1120保持一致，通过晶圆片取放装置1200从中转盒2中依次取出晶圆片并放入存储盒1130中，同理，出料时，将空的中转盒2放置于上述固定平台1160上，通过晶圆片取放装置1200从存储盒1120中取出指定的晶圆片并放入中转盒2中。
[0030]晶圆片取放装置1200可在存储架1100的后侧左右水平移动且升降，从而进行取料或者放料。
[0031]如图5
‑
7所示，晶圆片取放装置1200包括固定板1210、升降机构1220、水平移动机构1230、第一臂1240、第二臂1250、固定座1260、晶圆叉手1270以及水平换向机构1280。
[0032]固定板1210水平布置，升降机构1220用于驱动固定板1210水平升降，水平移动机构1230用于驱动升降机构1220左右水平移动。
[0033]其中，如图5所示，升降机构1220采用由电机驱动的丝杠机构，固定板1210与丝杠机构的螺母块固定，水平移动机构1230包括左右方向的导轨1231、与导轨1231平行的齿条1232、与齿条1232配合的齿轮(图中未示出)以及与导轨滑动配合的机架1233，齿轮由固定在机架1233上的电缸或者汽缸驱动，丝杠机构固定于机架1233上。
[0034]如图6以及图7所示，第一臂1240可水平摆动，转动中心位于第一臂1240的后端，第二臂1250可在第一臂1240的前端水平同步摆动，固定座1260可在第二臂1250的前端水平同
步摆动，晶圆叉手1270朝前水平布置，其后端与固定座1260固定，晶圆叉手1270呈与晶圆片上的钢圈形状相适配的U形叉状，第一臂1240、第二臂1250以及固定座1260同步摆动使晶圆叉手1270可以沿前后方向直线移动，从而向料框(存储盒1130或者中转盒2)取料或者放料，这种方式与传统通过皮带传动驱动晶圆叉手相比，占用空间较小。
[0035]具体地，如图8所示，第一臂1240包括竖直布置的第一轴1241、用于驱动第一轴1241沿其轴线自转的第一转动机构1242、第一臂体1243以及第一皮带轮机构1244，第一臂体1243的后端与第一轴1241固定，第一皮带轮机构1244由第一后轮1244a、第一前轮1244b以及第一皮带1244c构成，第一后轮1244a同心固定于第一轴1241上，第一前轮1244b位于第一臂体1243的前端。
[0036]第二臂1250包括竖直布置的第二轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片存储仓，其特征在于，包括：存储架，所述存储架上设有多个用于供晶圆叉手从该存储架的后侧水平向前插入晶圆片或者取出晶圆片的存储格以及供中转盒和晶圆叉手进出的前后方向设置的通道，所述通道内设有用于水平放置所述中转盒的固定平台；可在所述存储架的后侧左右水平移动且升降的晶圆片取放装置，所述晶圆片取放装置包括可沿位于后端的转动中心水平摆动的第一臂、可在所述第一臂的前端水平同步摆动的第二臂、可在所述第二臂的前端水平同步摆动的固定座以及晶圆叉手，所述晶圆叉手朝前水平布置，其后端与所述固定座固定。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片存储仓，其特征在于，所述第一臂包括竖直布置的第一轴、用于驱动所述第一轴沿其轴线自转的第一转动机构、第一臂体以及第一皮带轮机构，所述第一臂体的后端与所述第一轴固定，所述第一皮带轮机构的第一后轮同心固定于所述第一轴上，其第一前轮位于所述第一臂体的前端，所述第二臂包括竖直布置的第二轴、第二臂体以及第二皮带轮机构，所述第二轴与第一臂体的前端转动连接，且该第二轴与所述第一前轮同心固定，所述第二臂体的后端与所述第二轴固定，所述第二皮带轮机构的第二后轮同心固定于所述第二轴上，其第二前轮位于所述第二臂体的前端，所述固定座固定于一竖直布置的第三轴上，所述第三轴与所述第二前轮同心固定且与第二臂体的前端转动连接。3.根据权利要求2所述的一种晶圆片存储仓，其特征在于，所述晶圆片取放装置还包括固定板、用于驱动所述固定板水平升降的升降机构以及用于驱动所述升降机构左右水平移动的水平移动机构，所述第一轴通过所述第一转动机构固定于所述固定板上。4.根据权利要求3所述的一种晶圆片存储仓，其特征在于，所述存储架为两个，两个存储架前后对称布置，所述晶圆片取放装置设于所述两个存储架之间。5.根据权利要求4所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林海涛，赵凯，梁猛，姚玉鹏，陈俊杰，
申请(专利权)人：上海世禹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：