【技术实现步骤摘要】
覆铜氧化铍陶瓷基片减薄装置
[0001]本技术涉及陶瓷基片加工
,尤其涉及覆铜氧化铍陶瓷基片减薄装置。
技术介绍
[0002]氧化铍陶瓷是以氧化铍为主要成分的陶瓷,主要用作大规模集成电路基板,大功率气体激光管,晶体管的散热片外壳,微波输出窗和中子减速剂等材料,在集成电路制造过程中,需要在覆铜陶瓷基片上进行数百道工艺,因此,必须采用具有一定厚度的覆铜陶瓷基片,而在完成集成电路制作之后,需要对集成电路进行封装。在集成电路封装前,需要对覆铜陶瓷基片的进行减薄,一方面改善芯片的散热效果,另一方面有利于减小封装尺寸。
[0003]现有的技术中,对覆铜陶瓷基片减薄时,需要将覆铜陶瓷片放置在工作台上,工作台无法移动,人员容易出现加工过程中误伤的情况,使用起来不够安全。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的覆铜氧化铍陶瓷基片减薄装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:覆铜氧化铍陶瓷基片减薄装置,包括底板,所述底板的下表面固定连接有第一支撑腿、 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.覆铜氧化铍陶瓷基片减薄装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的下表面固定连接有第一支撑腿(101)、第二支撑腿(102),所述底板(1)的上表面固定连接有滑轨(5),所述滑轨(5)的上方滑动连接有工作台(402),所述底板(1)的前部设置有通道(501),所述底板(1)的下表面设置有推动气缸(502),所述推动气缸(502)的输出端与连接架(503)固定连接,所述工作台(402)的上表面可拆卸连接有限位块(401);所述底板(1)的上表面固定连接有滑杆(103),所述滑杆(103)的上表面固定连接有顶板(104),所述顶板(104)的上表面设置有液压推杆(2),所述液压推杆(2)的输出端固定连接有移动板(105),所述移动板(105)的下表面固定连接有安装架(301),所述安装架(301)的上表面设置有打磨电机(3),所述打磨电机(3)的输出端固定连接有打磨盘(302)。2.根据权利要求1所述的覆铜氧化铍陶瓷基片减薄装置,其特征在于:所述工作台(402)的上表面设置有基片主体(4),所述基片...
【专利技术属性】
技术研发人员:江树昌,陈光明,张健凌,张绍甫,
申请(专利权)人:中鸣宁德科技装备制造有限公司,
类型:新型
国别省市:
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