一种防脱落圆形晶圆载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防脱落圆形晶圆载具，涉及晶圆加工领域，包括载具底板和载具顶板，载具底板和载具顶板之间固定连接有竖直设置的载具支柱，载具底板和载具顶板后侧边缘呈对称的多边形，载具底板和载具顶板前侧边缘呈扇形，载具底板和载具顶板之间的容置空间为晶圆承载空间，晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板，晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱。本实用新型专利技术的优点在于：通过对述载具底板和载具顶板外形进行分隔设计，在载具前侧设置有转动的晶圆防脱挡柱，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落，有效的降低了晶圆在转运过程中从晶圆载舟中脱落概率，降低了晶圆的损坏率。降低了晶圆的损坏率。降低了晶圆的损坏率。

【技术实现步骤摘要】
一种防脱落圆形晶圆载具


[0001]本技术涉及晶圆加工领域，具体是涉及一种防脱落圆形晶圆载具。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片， 其造价高昂， 因此晶圆在运送时需要非常的小心；运送晶圆时， 首先会将晶圆放置于晶圆板上， 接着再将各晶圆板连带晶圆放置于晶圆载具中。
[0003]晶圆在搬运过程中，由于惯性作用，极易导致晶圆板从晶圆载具中脱落，进而导致晶圆发生损坏，故而在晶圆载具中需要设计挡板对晶圆板进行限位，而圆形晶圆板由于其结构的特殊性，现有的晶圆载具无法对其进行有效的限位防止其脱落，在进行转运时极易导致晶圆损坏，因此提出一种防脱落圆形晶圆载具是十分必要的。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，提供一种防脱落圆形晶圆载具，本技术方案解决了上述的晶圆在搬运过程中，由于惯性作用，极易导致晶圆板从晶圆载具中脱落，进而导致晶圆发生损坏，故而在晶圆载具中需要设计挡板对晶圆板进行限位，而圆形晶圆板由于其结构的特殊性，现有的晶圆载具无法对其进行有效的限位防止其脱落，在进行转运时极易导致晶圆损坏，因此提出一种防脱落圆形晶圆载具是十分必要的的问题。
[0005]为达到以上目的，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种防脱落圆形晶圆载具，包括载具底板和载具顶板，所述载具底板和载具顶板之间固定连接有竖直设置的载具支柱，所述载具底板和载具顶板后侧边缘呈对称的多边形，所述载具底板和载具顶板前侧边缘呈扇形，所述载具底板和载具顶板之间的容置空间为晶圆承载空间，所述晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板，所述晶圆承载板上下两端分别与载具底板和载具顶板固定连接，所述晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱。
[0007]优选的，所述晶圆防脱挡柱上下两端均与转动连接件转动连接，上下两端所述转动连接件远离晶圆防脱挡柱的一端分别与载具顶板和载具底板转动连接。
[0008]优选的，所述载具顶板与晶圆防脱挡柱对应位置处开设有防脱卡槽，所述晶圆防脱挡柱上端固定连接有弹性防脱卡块，所述弹性防脱卡块和防脱卡槽相适配。
[0009]优选的，所述晶圆承载板内侧均匀等距的开设有若干个晶圆槽。
[0010]优选的，所述载具底板下端固定连接有若干个定位治具，所述定位治具下端开设有V形定位槽，多个所述定位治具呈人字形呈环形均匀的设置于载具底板下端。
[0011]优选的，左右两侧所述晶圆承载板外侧对称的固定连接有转运把手。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0013]本技术通过对述载具底板和载具顶板外形进行分隔设计，将载具底板和载具顶板的后侧设计为对称的多边形设计，多边形的左右两侧边与圆形晶圆板相适配，将载具
底板和载具顶板的前侧设计为扇形结构，并在载具底板和载具顶板前侧左右两边转动连接有晶圆防脱挡柱，晶圆防脱挡柱转动至防脱卡槽内部可，两侧的晶圆防脱挡柱可与圆形晶圆板前侧抵接，可有效的对圆形晶圆板进行限位固定，同时由于晶圆防脱挡柱的转动至防脱卡槽内时，两侧的晶圆防脱挡柱之间的间距小于圆形晶圆板的直径，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落，有效的降低了晶圆在转运过程中从晶圆载舟中脱落概率，降低了晶圆的损坏率。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术另一视角下的立体结构示意图；
[0016]图3为本技术在装满晶圆时的立体结构示意图。
[0017]图中标号为：
[0018]1、载具底板；2、载具顶板；201、防脱卡槽；3、载具支柱；4、晶圆承载板；401、晶圆槽；5、转运把手；6、晶圆防脱挡柱；7、转动连接件；8、弹性防脱卡块；9、定位治具。
具体实施方式
[0019]以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
[0020]参照图1
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3所示，一种防脱落圆形晶圆载具，包括载具底板1和载具顶板2，载具底板1和载具顶板2之间固定连接有竖直设置的载具支柱3，载具底板1和载具顶板2后侧边缘呈对称的多边形，载具底板1和载具顶板2前侧边缘呈扇形，载具底板1和载具顶板2之间的容置空间为晶圆承载空间，晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板4，晶圆承载板4内侧均匀等距的开设有若干个晶圆槽401，晶圆槽401用于对圆形晶圆板进行支撑，晶圆承载板4上下两端分别与载具底板1和载具顶板2固定连接，晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱6，通过对述载具底板1和载具顶板2外形进行分隔设计，将载具底板1和载具顶板2的后侧设计为对称的多边形设计，多边形的左右两侧边与圆形晶圆板相适配，将载具底板1和载具顶板2的前侧设计为扇形结构，并在载具底板1和载具顶板2前侧左右两边设置有晶圆防脱挡柱6，两侧的晶圆防脱挡柱6可与圆形晶圆板前侧抵接，可有效的对圆形晶圆板进行限位固定，同时由于两侧的晶圆防脱挡柱6之间的间距小于圆形晶圆板的直径，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落。
[0021]晶圆防脱挡柱6上下两端均与转动连接件7转动连接，上下两端转动连接件7远离晶圆防脱挡柱6的一端分别与载具顶板2和载具底板1转动连接，载具顶板2与晶圆防脱挡柱6对应位置处开设有防脱卡槽201，晶圆防脱挡柱6上端固定连接有弹性防脱卡块8，弹性防脱卡块8和防脱卡槽201相适配，防脱卡槽201卡口位置处的尺寸小于弹性防脱卡块8的直径，在进行晶圆板装入时，通过将晶圆防脱挡柱6转动至如图1所示的位置，此时晶圆板可进入晶圆载具中，在晶圆装入完成后，将晶圆防脱挡柱6转动至如图3所示的位置，此时弹性防脱卡块8进入防脱卡槽201内部，由于弹性防脱卡块8本身具有一定弹性，可在进入防脱卡槽201卡口时发生一定的弹性形变，进而完成晶圆防脱挡柱6的固定，此时两侧的晶圆防脱挡柱6可与圆形晶圆板前侧抵接，可有效的对圆形晶圆板进行限位固定，同时由于两侧的晶圆
防脱挡柱6之间的间距小于圆形晶圆板的直径，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落。
[0022]载具底板1下端固定连接有若干个定位治具9，定位治具9下端开设有V形定位槽，多个定位治具9呈人字形沿环形均匀的设置于载具底板1下端，呈人字形沿环形均匀设置的V形定位治具在进行晶圆载具的定位可有效的对其施加水平方向上的约束，同时定位快速，准确。
[0023]左右两侧晶圆承载板4外侧对称的固定连接有转运把手5，转运把手5为对晶圆载具进行转运时提供支撑把手，便于其的夹持转运。
[0024]综上所述，本技术的优点在于：通过对述载具底板和载具顶板外形进行分隔设计，设置有转动的晶圆防脱挡柱，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落，有效的降低了晶圆在转运过程中从晶圆载舟中脱落概率，降低了晶圆的损坏率。
[0025]以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防脱落圆形晶圆载具，其特征在于，包括载具底板（1）和载具顶板（2），所述载具底板（1）和载具顶板（2）之间固定连接有竖直设置的载具支柱（3），所述载具底板（1）和载具顶板（2）后侧边缘呈对称的多边形，所述载具底板（1）和载具顶板（2）前侧边缘呈扇形，所述载具底板（1）和载具顶板（2）之间的容置空间为晶圆承载空间，所述晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板（4），所述晶圆承载板（4）上下两端分别与载具底板（1）和载具顶板（2）固定连接，所述晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱（6）。2.根据权利要求1所述的一种防脱落圆形晶圆载具，其特征在于，所述晶圆防脱挡柱（6）上下两端均与转动连接件（7）转动连接，上下两端所述转动连接件（7）远离晶圆防脱挡柱（6）的一端分别与载具顶板（2）和载具底板（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：白雪山，沙峰，
申请(专利权)人：太仓鼎函自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：