一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备制造技术

本发明专利技术提供了一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备，包括精馏塔体，精馏塔体上设置有进料管，精馏塔体的内底部与内顶部均固定有回流管，回流管分别与再沸器连通；精馏塔体内转动连接有空心转盘，空心转盘内转动连接有中空离心盘，精馏塔体的回转槽内转动连接有汽轮，汽轮的转轴与中空离心盘固定连接，出气管的侧壁固定连接有挡板，挡板的侧壁开设有多个出液孔，本发明专利技术通过在精馏塔内设置空心转盘与中空离心盘，在气相输入时驱动空心转盘与中空离心盘反向转动，可通过离心力使气相与液相发生相对转动，既能够增大气相与液相的接触面积，又能够使气相与液相混合均匀，可缩短精馏次数与时间，从而提高其制备效率并降低能耗。从而提高其制备效率并降低能耗。从而提高其制备效率并降低能耗。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备


[0001]本专利技术属于精馏设备
，具体涉及一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备。

技术介绍

[0002]在半导体加工行业中，氘代氨电子气体是常用的一种电子气体，其纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确。
[0003]在氘代氨电子气体的制备过程中，需要通过精馏设备多次提纯以制得高纯度气体，目前的精馏设备中，大多通过精馏塔将混合原料加热后，气体输入冷凝器重新冷凝液化，液体则输入再沸器中再次汽化，并将气体重新从塔底输入，而液体再次从塔顶输入，使得气相与液相通过逆流接触，进行相际传热传质，从而进行提纯，但是这种接触方式，气相与液相接触时间短，且气相与液相之间只有一个直流面，接触面积小，混合不均，因此需要精馏很多次，效率低、耗能高。
[0004]鉴于此，本申请文件提出一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备，包括精馏塔体，所述精馏塔体上设置有进料管，所述精馏塔体的内底部与内顶部均固定有回流管，所述回流管分别与再沸器连通；
[0007]所述精馏塔体内转动连接有空心转盘，所述空心转盘内转动连接有中空离心盘，所述中空离心盘的侧壁开设有多个出气孔，所述空心转盘的上下端均开设有多个通孔；
[0008]所述精馏塔体的侧壁上开设有回转槽，所述回转槽内底部连通有进气管，所述回转槽内转动连接有汽轮，所述汽轮的转轴与中空离心盘固定连接，所述回转槽与中空离心盘通过出气管相通；
[0009]所述出气管的侧壁固定连接有挡板，所述挡板的侧壁开设有多个出液孔。
[0010]进一步的，所述精馏塔体内还设置有用于驱动空心转盘转动的转动机构，所述转动机构包括螺纹套管、单向轴承和螺杆，所述螺纹套筒通过单向轴承与空心转盘连接，所述螺纹套筒内螺纹连接有螺杆，所述螺杆的顶端转动连接有气动板，所述气动板的上端通过第一伸缩囊活动连接在精馏塔体内侧壁上。
[0011]进一步的，所述精馏塔体内侧壁上开设有条形槽，所述气动板滑动连接在条形槽内。
[0012]进一步的，所述条形槽内底部开设有进气口，所述精馏塔体上设有回气管，且所述进气口与回气管内均设有电磁阀，且所述条形槽内底部设有排气管，所述排气管与进气管
均与冷凝器连通。
[0013]进一步的，所述精馏塔体内顶部转动连接有扰流板，且所述扰流板的侧壁通过第二伸缩囊连接在精馏塔体的内壁上。
[0014]进一步的，所述第一伸缩囊的上端固定连接在条形槽内顶部，所述第一伸缩囊的下端固定连接在气动板的上端，所述第二伸缩囊与第一伸缩囊之间通过导气管连通。
[0015]进一步的，相邻两个所述出液孔的间距大于所述出液孔的直径。
[0016]进一步的，所述空心转盘上设有防护罩，所述防护罩将所述螺纹套筒和单向轴承覆盖。
[0017]进一步的，所述出气孔沿中空离心盘的周向侧壁等间距分布。
[0018]本专利技术与现有技术相比具有以下优点：
[0019]1、本专利技术通过在精馏塔内设置空心转盘与中空离心盘，可在气相输入时驱动空心转盘与中空离心盘反向转动，便可通过离心力使气相与液相发生相对转动，一方面能够增大气相与液相的接触面积，另一方面也能够使气相与液相混合均匀，如此可缩短精馏次数与时间，从而提高其制备效率并降低能耗。
[0020]2、本专利技术通过在精馏塔内设置挡板，并在挡板上开设多个出液孔，在中空离心盘转动时带动挡板同步转动，可使通孔与出液孔周期性相通，可延长气相与液相在空心转盘内的停留时间，从而延长气相与液相的接触时间，以促使它们能够混合更加均匀，便捷实用。
附图说明
[0021]图1为本专利技术整体结构示意图；
[0022]图2为图1中的A处结构放大示意图；
[0023]图3为图2中的B处结构放大示意图；
[0024]图4为本专利技术中挡板结构示意图。
[0025]1精馏塔体、2进料管、3回流管、4回转槽、5汽轮、6进气管、7再沸器、8冷凝器、9空心转盘、10通孔、11中空离心盘、12出气管、13出气孔、14挡板、15出液孔、16螺纹套筒、17单向轴承、18螺杆、19防护罩、20条形槽、21气动板、22进气口、23排气管、24第一伸缩囊、25扰流板、26第二伸缩囊、27导气管、28回气管。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]如图1
‑
4所示，本专利技术提供一种技术方案：一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备，包括精馏塔体1，所述精馏塔体1上设置有进料管2，所述精馏塔体1的内底部与内顶部均固定有回流管3，所述回流管3分别与再沸器7连通。
[0028]所述精馏塔体1内转动连接有空心转盘9，所述空心转盘9内转动连接有中空离心盘11，所述中空离心盘11的侧壁开设有多个出气孔13，所述出气孔13沿中空离心盘11的周
向侧壁等间距分布，所述空心转盘9的上下端均开设有多个通孔10。
[0029]所述精馏塔体1内还设置有用于驱动空心转盘9转动的转动机构，所述转动机构包括螺纹套管16、单向轴承17和螺杆18，所述螺纹套筒16通过单向轴承17与空心转盘9连接，所述螺纹套筒16内螺纹连接有螺杆18，所述螺杆18的顶端转动连接有气动板21，所述精馏塔体1内侧壁上开设有条形槽20，所述气动板21滑动连接在条形槽20内，所述气动板21的上端通过第一伸缩囊24活动连接在精馏塔体1内侧壁上。
[0030]所述条形槽20内底部开设有进气口22，所述精馏塔体1上设有回气管28，且所述进气口22与回气管28内均设有电磁阀，且所述条形槽20内底部设有排气管23，所述排气管23与进气管6均与冷凝器8连通，当进气口22有气流涌入时，受气动板21所阻，将推动气动板21上移，且气动板21与螺杆18转动连接，条形槽20内底部开设有进气口22，精馏塔体1上设有回气管28，且进气口22与回气管28内均设有电磁阀，条形槽20内底部设有排气管23，排气管23与进气管6均与冷凝器8相通。
[0031]进气口22与回气管28内的电磁阀受同一控制电路控制启闭，且当进气口22内电磁阀开启时则回气管28内电磁阀关闭，而进气口22内电磁阀关闭时则回气管28内电磁阀开启。
[0032]所述精馏塔体1内顶部转动连接有扰流板25，且所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备，包括精馏塔体(1)，其特征在于，所述精馏塔体(1)上设置有进料管(2)，所述精馏塔体(1)的内底部与内顶部均固定有回流管(3)，所述回流管(3)分别与再沸器(7)连通；所述精馏塔体(1)内转动连接有空心转盘(9)，所述空心转盘(9)内转动连接有中空离心盘(11)，所述中空离心盘(11)的侧壁开设有多个出气孔(13)，所述空心转盘(9)的上下端均开设有多个通孔(10)；所述精馏塔体(1)的侧壁上开设有回转槽(4)，所述回转槽(4)内底部连通有进气管(6)，所述回转槽(4)内转动连接有汽轮(5)，所述汽轮(5)的转轴与中空离心盘(11)固定连接，所述回转槽(4)与中空离心盘(11)通过出气管(12)相通；所述出气管(12)的侧壁固定连接有挡板(14)，所述挡板(14)的侧壁开设有多个出液孔(15)。2.根据权利要求1所述的一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备，其特征在于，所述精馏塔体(1)内还设置有用于驱动空心转盘(9)转动的转动机构，所述转动机构包括螺纹套管(16)、单向轴承(17)和螺杆(18)，所述螺纹套筒(16)通过单向轴承(17)与空心转盘(9)连接，所述螺纹套筒(16)内螺纹连接有螺杆(18)，所述螺杆(18)的顶端转动连接有气动板(21)，所述气动板(21)的上端通过第一伸缩囊(24)活动连接在精馏塔体(1)内侧壁上。3.根据权利要求2所述的一种高纯氘代氨电子气体制取用精馏提纯设备，其特征在于，所述精馏塔体(1)内侧壁上开设有条形槽(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：马朝选，林坤，孟祥军，王少波，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：