一种探针卡检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探针卡检测装置，包括工作台，工作台的内部转动连接有第一转盘，第一转盘的顶部对称固定连接有第二转盘，第二转盘的顶部设有固定板，固定板的内部转动连接有双向丝杆，双向丝杆的外侧对称螺纹连接有第一滑块，第一滑块的顶部固定连接有第二移动板，第二移动板的外侧固定连接有连接块，连接块的外侧固定连接有限位框，限位框的内部滑动连接有第二滑块，第二滑块的外侧固定连接有夹板，工作台的顶部固定连接有立板，本实用新型专利技术所达到的有益效果是：能够根据型号的探针卡使第二移动板进行移动，方便调节第二移动板之间的距离，能够适应不同大小的探针卡进行固定，避免影响检测的顺利进行。避免影响检测的顺利进行。避免影响检测的顺利进行。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡检测装置


[0001]本技术涉及检测装置
，具体为一种探针卡检测装置。

技术介绍

[0002]现有生活中，探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。现有的探针卡检测装置只能对特定型号的探针卡进行固定，不方便调节，不适应不同大小的探针卡进行固定，从而影响检测的顺利进行，因此提供一种探针卡检测装置，用于解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种探针卡检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：
[0005]本技术一种探针卡检测装置，包括工作台，所述工作台的内部转动连接有第一转盘，所述第一转盘的顶部对称固定连接有第二转盘，所述第二转盘的顶部设有固定板，所述固定板的内部转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆的外侧对称螺纹连接有第一滑块，所述第一滑块的顶部固定连接有第二移动板，所述第二移动板的外侧固定连接有连接块，所述连接块的外侧固定连接有限位框，所述限位框的内部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的外侧固定连接有夹板，所述工作台的顶部固定连接有立板，所述立板的外侧设有第一移动板，所述第一移动板的内部设有检测装置主体。
[0006]作为本技术的一种优选方案，所述工作台的内部且位于第一转盘的一侧设有电机，所述电机的输出端固定连接有第二转轴，所述第二转轴的外侧固定连接有齿轮，所述第一转盘的外侧固定连接有齿圈，所述齿圈与齿轮啮合连接。
[0007]作为本技术的一种优选方案，所述第二转盘的内部转动连接有蜗杆，所述第二转盘的内部且位于蜗杆的一侧转动连接有第一转轴，所述第一转轴的外侧固定连接有蜗轮，所述蜗轮与蜗杆啮合连接，所述第一转轴与固定板固定连接。
[0008]作为本技术的一种优选方案，所述限位框的内部固定连接有限位杆，所述限位杆与第二滑块滑动连接，所述限位杆的外侧且位于第二滑块的一侧套设有伸缩弹簧，所述限位框的内部滑动连接有拉杆，所述拉杆和夹板固定连接。
[0009]作为本技术的一种优选方案，所述立板的内部转动连接有传动丝杆，所述传动丝杆的外侧与第一移动板螺纹连接。
[0010]作为本技术的一种优选方案，所述工作台的外侧设有控制器，所述电机与控制器电性连接。
[0011]本技术所达到的有益效果是：通过双向丝杆、第一滑块和第二移动板的设置，能够根据型号的探针卡使第二移动板进行移动，方便调节第二移动板之间的距离，通过夹板、第二滑块和伸缩弹簧的设置，能够适应不同大小的探针卡进行固定，避免影响检测的顺利进行。
附图说明
[0012]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0013]图1是本技术的立体结构示意图；
[0014]图2是本技术的内部结构示意图；
[0015]图3是A处放大结构示意图。
[0016]图中:1、工作台；2、第一转盘；3、立板；4、第一移动板；5、检测装置主体；6、固定板；7、第二转盘；8、第二移动板；9、限位杆；10、传动丝杆；11、蜗杆；12、蜗轮；13、双向丝杆；14、第一滑块；15、第一转轴；16、夹板；17、齿圈；18、电机；19、齿轮；20、第二转轴；21、拉杆；22、连接块；23、第二滑块；24、限位框；25、伸缩弹簧。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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3，本技术提供一种探针卡检测装置，包括工作台1，工作台1的内部转动连接有第一转盘2，第一转盘2的顶部对称固定连接有第二转盘7，第二转盘7的顶部设有固定板6，固定板6的内部转动连接有双向丝杆13，双向丝杆13的外侧对称螺纹连接有第一滑块14，第一滑块14的顶部固定连接有第二移动板8，根据探针卡的型号转动双向丝杆13带动第一滑块14移动，从而带动第二移动板8移动，第二移动板8的外侧固定连接有连接块22，连接块22的外侧固定连接有限位框24，限位框24的内部滑动连接有第二滑块23，第二滑块23的外侧固定连接有夹板16，拉动拉杆21带动夹板16向上移动，探针卡停留限位框24的内部，松开拉杆21,夹板16在伸缩弹簧25的弹力作用下挤压探针卡，进行固定，能够适应不同大小的探针卡进行固定，避免影响检测的顺利进行，工作台1的顶部固定连接有立板3，立板3的外侧设有第一移动板4，第一移动板4的内部设有检测装置主体5，方便进行检测。
[0019]进一步的，工作台1的内部且位于第一转盘2的一侧设有电机18，电机18的输出端固定连接有第二转轴20，第二转轴20的外侧固定连接有齿轮19，第一转盘2的外侧固定连接有齿圈17，齿圈17与齿轮19啮合连接，启动电机18带动第二转轴20转动，通过齿圈17与齿轮19啮合连接带动第一转盘2转动，方便移动探针卡。
[0020]进一步的，第二转盘7的内部转动连接有蜗杆11，第二转盘7的内部且位于蜗杆11的一侧转动连接有第一转轴15，第一转轴15的外侧固定连接有蜗轮12，蜗轮12与蜗杆11啮合连接，第一转轴15与固定板6固定连接，转动蜗杆11，通过蜗轮12与蜗杆11啮合连接带动第一转轴15转动，从而带动固定板6转动，根据检测的需要调节探针卡角度。
[0021]进一步的，限位框24的内部固定连接有限位杆9，限位杆9与第二滑块23滑动连接，限位杆9的外侧且位于第二滑块23的一侧套设有伸缩弹簧25，限位框24的内部滑动连接有拉杆21，拉杆21和夹板16固定连接，拉动拉杆21带动夹板16向上移动，探针卡停留限位框24的内部，松开拉杆21,夹板16在伸缩弹簧25的弹力作用下挤压探针卡，进行固定。
[0022]进一步的，立板3的内部转动连接有传动丝杆10，传动丝杆10的外侧与第一移动板4螺纹连接，转动传动丝杆10带动第一移动板4移动，根据需要检测的探针卡调节检测装置主体5的高度，方便进行检测。
[0023]进一步的，工作台1的外侧设有控制器，电机18与控制器电性连接，方便控制电机18。
[0024]使用本技术时，根据探针卡的型号转动双向丝杆13带动第一滑块14移动，从而带动第二移动板8移动，拉动拉杆21带动夹板16向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡检测装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的内部转动连接有第一转盘(2)，所述第一转盘(2)的顶部对称固定连接有第二转盘(7)，所述第二转盘(7)的顶部设有固定板(6)，所述固定板(6)的内部转动连接有双向丝杆(13)，所述双向丝杆(13)的外侧对称螺纹连接有第一滑块(14)，所述第一滑块(14)的顶部固定连接有第二移动板(8)，所述第二移动板(8)的外侧固定连接有连接块(22)，所述连接块(22)的外侧固定连接有限位框(24)，所述限位框(24)的内部滑动连接有第二滑块(23)，所述第二滑块(23)的外侧固定连接有夹板(16)，所述工作台(1)的顶部固定连接有立板(3)，所述立板(3)的外侧设有第一移动板(4)，所述第一移动板(4)的内部设有检测装置主体(5)。2.根据权利要求1所述的一种探针卡检测装置，其特征在于：所述工作台(1)的内部且位于第一转盘(2)的一侧设有电机(18)，所述电机(18)的输出端固定连接有第二转轴(20)，所述第二转轴(20)的外侧固定连接有齿轮(19)，所述第一转盘(2)的外侧固定连接有齿圈(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张敏，
申请(专利权)人：盛华微纳科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：