传送系统技术方案

本发明专利技术提供一种能够在用于储存多个物体的储存容器与用于对多个物体进行批量处理的处理设备之间高效地传送多个物体的技术。一种用于在用于储存多个物体的储存容器(9)与用于对保持在托盘(8)上的多个物体进行批量处理的处理设备(2)之间传送多个物体的传送系统(1)，包括：将储存容器(9)安装在其上的安装部(31)；将多个物体安装在其上的载物台(41)；支撑托盘(8)的托盘支撑部(51)；在安装在安装部(31)上的储存容器(9)与载物台(41)之间传送多个物体的第一传送装置(44)；以及用于在载物台(41)与通过托盘支撑部(51)支撑的托盘(8)之间传送多个物体的第二传送装置(53)。个物体的第二传送装置(53)。个物体的第二传送装置(53)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】传送系统


[0001]本专利技术涉及一种在用于容纳物体(通常是晶圆或通过胶带、薄膜保持在框架中的晶圆等)的储存容器与用于处理物体的处理设备之间传送物体的传送系统。

技术介绍

[0002]众所周知，典型的半导体制造工艺包括在晶圆上形成电路的晶圆处理(预处理)和将晶圆切割成芯片、使其形成有外部端子并用树脂密封的封装处理(后处理)。此外，近年来，有在预处理与后处理之间形成布线层或元件的情况。
[0003]经受预处理的晶圆非常薄并且难以独自进行操作。因此，通常，为了便于操作这种晶圆，如图27所示，经受了预处理的晶圆在被送去进行后处理之前被粘接到附接在具有比晶圆91稍大的框架形状(在附图的例子中基本上为环形)的框架93上的胶带92(或粘合膜)上(在下文中，通过胶带92等保持在框架93上的晶圆91也将称为“带框晶圆90”)。通过采用这种形式，晶圆91可以通过框架93保持。这能够容易地操作难以独自进行操作的薄晶圆91。此外，通过采用这种形式，可以在后处理中将晶圆91分散切割成芯片时防止芯片飞散。
[0004]在通常的半导体制造工厂中，多个晶圆或多个带框晶圆(在下文中被称为“晶圆”)通过储存在称为FOUP(前开式晶圆盒)、箱体等的封闭储存容器(载体)中来进行传送或保存。在许多情况下，用于处理晶圆等的处理设备包括：将储存容器安装在其上的安装部，其作为处理设备与储存容器之间的接口；以及用于在安装在安装部上的储存容器与处理设备之间传送晶圆等的传送装置。传送装置从安装在安装部上的储存容器中取出未处理的晶圆等并将未处理的晶圆等装载到处理设备的主体部中。传送装置从主体部中卸载处理过的晶圆等并将处理过的晶圆储存到安装在安装部上的储存容器中。
[0005]【现有技术文件】
[0006]专利文件
[0007]专利文件1：日本特开第2017
‑
069488号
[0008]专利文件2：日本特开第2012
‑
222288号
[0009]在半导体制造工艺中使用的处理设备基本上分为一个接一个地处理晶圆的设备(所谓的单晶圆型)和一次处理多个晶圆的设备(所谓的批量型)。作为后者的一个例子，已知一种处理设备，其中多个晶圆以平面形式设置在托盘上并且共同进行处理。
[0010]在以这种方式使用托盘的批量型处理设备中，需要传送过程，其中在接口部处将储存在储存容器中的未处理的晶圆设置到托盘上，并将保持在托盘上的处理过的晶圆储存到储存容器中。
[0011]为了不降低处理设备的运行速率，需要充分缩短接口部处的传送过程的循环时间。为此目的，需要高效地执行传送操作。
[0012]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种技术的一些实施方式，该技术能够在储存物体的储存容器与对物体共同进行处理的处理设备之间高效地传送物体。

技术实现思路

[0013]本专利技术采取以下措施来实现上述目的。
[0014]根据本专利技术的一个实施方式，提供了一种用于在被构造为储存多个物体的储存容器与被构造为对保持在托盘上的多个物体进行批量处理的处理设备之间传送多个物体的传送系统，其包括：
[0015]安装部，储存容器被安装在其上；
[0016]载物台，多个物体被安装在其上；
[0017]托盘支撑部，其被构造为支撑托盘；
[0018]第一传送装置，其被构造为在安装在安装部上的储存容器与载物台之间传送多个物体；以及
[0019]第二传送装置，其被构造为在载物台与通过托盘支撑部支撑的托盘之间传送多个物体。
[0020]在上述构造中，每个物体例如是晶圆。作为物体的晶圆例如可以是晶圆自身或者可以通过胶带、薄膜等由框架保持。
[0021]根据这种构造，两个传送装置(第一传送装置和第二传送装置)在通过载物台彼此配合的同时在储存容器与托盘之间传送物体。因此，例如，在一个传送装置执行将未处理的物体朝向托盘传送的操作(供应传送操作)的同时，另一个传送装置能够执行将处理过的物体朝向储存容器传送的操作(返回传送操作)。即，能够同时执行供应传送操作和返回传送操作，并且能够在用于储存物体的储存容器与用于对物体进行批量处理的处理设备之间高效地传送物体。
[0022]优选地，在传送系统中，第二传送装置被构造为一次传送n个物体(其中n为大于或等于2的整数)，并且托盘被构造为保持n
×
m个物体(其中m是大于或等于1的整数)。
[0023]根据这种构造，第二传送装置一次传送多个物体。因此，第二传送装置能够在载物台与托盘之间高效地传送物体。特别地，可以通过第二传送装置一次传送的物体的数量的整倍数是托盘上保持的物体的总数。因此，尤其可以提高第二传送装置的传送效率。
[0024]优选地，在传送系统中，载物台包括：可动载物台部分，其被设置为能在第二传送装置可到达的递送位置与偏离递送位置的缩回位置之间移动；以及固定载物台部分，其被固定地设置在递送位置处以及垂直地偏离可动载物台部分的高度位置处。
[0025]根据这种构造，能够充分确保载物台上能够安装的物体的数量。因此，可以提高第一传送装置和第二传送装置二者的传送效率。
[0026]优选地，传送系统还包括：翻转装置，其被构造为使多个物体翻转，其中第一传送装置被构造为在安装在安装部上的储存容器、载物台和翻转装置之间传送多个物体。
[0027]根据这种构造，可以使储存在储存容器中的物体翻转然后安装到托盘上。当在传送过程中使物体翻转然后安装到托盘上时，难以缩短传送过程中的循环时间，这可能成为瓶颈并可能降低处理设备的运行速率。然而，在这种构造中，在两个传送装置(第一传送装置和第二传送装置)通过载物台彼此配合的同时在储存容器与托盘之间传送物体。这能够高效地传送物体。因此，即使在物体翻转时也能够充分缩短传送过程中的循环时间。
[0028]优选地，传送系统还包括：储料器，其被构造为临时储存多个物体，其中第一传送装置被构造为在安装在安装部上的储存容器、载物台和储料器之间传送多个物体。
[0029]根据这种构造，第一传送装置根据情况将储存在储存容器中的物体或安装在载物台上的物体临时储存在储料器中。这能够高效地传送物体。
[0030]优选地，传送系统还包括：托盘传送装置，其被构造为从处理设备接收保持有处理过的物体的托盘并且将保持有未处理的物体的托盘递送至处理设备。
[0031]根据这种构造，处理设备不需要具有用于将托盘递送至传送系统的机构。因此，传送系统可以应用于各种各样的处理设备。
[0032]根据本专利技术，可以在储存物体的储存容器与对物体进行批量处理的处理设备之间高效地传送物体。
附图说明
[0033]图1是示意性示出根据一个实施方式的传送系统的构造的立体图。
[0034]图2是示意性示出传送系统的构造的平面图。
[0035]图3是用于说明在传送系统中执行的一系列操作中的第一方面的视图。
[0036]图4是用于说明在传送系统中执行的一系列操本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在被构造为储存多个物体的储存容器与被构造为对保持在托盘上的所述多个物体进行批量处理的处理设备之间传送所述多个物体的传送系统，其包括：安装部，所述储存容器被安装在其上；载物台，所述多个物体被安装在其上；托盘支撑部，其被构造为支撑所述托盘；第一传送装置，其被构造为在安装在所述安装部上的所述储存容器与所述载物台之间传送所述多个物体；以及第二传送装置，其被构造为在所述载物台与通过所述托盘支撑部支撑的所述托盘之间传送所述多个物体。2.根据权利要求1所述的传送系统，其中，所述第二传送装置被构造为一次传送n个物体，其中n是大于或等于2的整数，并且其中所述托盘被构造为保持n
×
m个物体，其中m是大于或等于1的整数。3.根据权利要求1或2所述的传送系统，其中，所述载物台包括：可动载物台部分，其被设置为能在所述第二传送装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：河合俊宏，中村浩章，小仓源五郎，杉浦孝典，谷山育志，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：