聚酰亚胺前体、树脂组合物、感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件技术

一种具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体。酰亚胺前体。酰亚胺前体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】聚酰亚胺前体、树脂组合物、感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件


[0001]本专利技术涉及聚酰亚胺前体、树脂组合物、感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件。

技术介绍

[0002]在半导体元件的表面保护膜和层间绝缘膜中，使用了兼具优异的耐热性和电气特性、机械特性等的聚酰亚胺。(例如，参照专利文献1)。
[0003]近年来，伴随着电子设备的高性能化、网络技术的飞跃性进步，数据传输的大容量化、高速化快速发展，存在所处理的信号频率高频化的倾向。一般而言，由于频率越高，信号的传输性越受损，因此低传输损耗材料的要求越来越高。但是，专利文献1等中记载的以往的聚酰亚胺无法充分满足这样的要求。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开平08
‑
337652号公报
[0007]专利文献2：国际公开第2018/179382号

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于提供一种能够提供即使在高频带中传输损耗也低的材料的聚酰亚胺前体。
[0009]本专利技术人等着眼于聚酰亚胺前体的结构与极性的关系进行了深入研究，结果发现：通过采用具有特定结构的结构单元，从而即使在高频带也能够实现低传输损耗，并完成了本专利技术。
[0010]根据本专利技术，提供以下的聚酰亚胺前体等。
[0011]1.一种聚酰亚胺前体，具有下述式(1)所表示的结构单元。
[0012][0013](式(1)中，X1为具有一个以上芳香族基的四价基团。在X1为下述式(11)所表示的基团时，Z3为除羰基以外的二价基团。
[0014][0015]Y1为将选自由下述式(21)～(24)所表示的二价基团组成的组中的一种以上的基团连结而成的二价基团。
[0016][0017]‑
C
y
‑
(23)
[0018]‑
X
11
‑
(24)
[0019](式(21)中，R
11
为碳原子数1～4的脂肪族烃基、或具有卤素原子的碳原子数1～4的脂肪族烃基。n为0～4的整数。
[0020]式(22)中，R
12
和R
13
各自独立地为氢原子、碳原子数1～4的脂肪族烃基、或具有卤素原子的碳原子数1～4的脂肪族烃基。
[0021]式(23)中，Cy为碳原子数3～10的环状脂肪族烃基。
[0022]式(24)中，X
11
为氧原子或硫原子。)
[0023]在将Y1中所含的式(21)所表示的二价基团的数量设为e、将式(22)所表示的二价基团的数量设为f、将式(23)所表示的二价基团的数量设为g、将式(24)所表示的二价基团的数量设为h时，e≥1、f≥0、g≥0、h≥0，e+f+g+h≥4。
[0024]R1和R2各自独立地为氢原子、下述式(2)所表示的基团、或碳原子数1～4的脂肪族烃基。
[0025][0026](式(2)中，R3～R5各自独立地为氢原子或碳原子数1～4的脂肪族烃基，m为1～10的整数。)
[0027]‑
COOR1基与
‑
CO
‑
基彼此处于邻位，
‑
COOR2基与
‑
CONH
‑
基彼此处于邻位。)
[0028]2.根据1所述的聚酰亚胺前体，Y1包含上述式(21)所表示的二价基团和上述式(22)所表示的二价基团。
[0029]3.根据1或2所述的聚酰亚胺前体，Y1包含上述式(21)所表示的二价基团和上述式(24)所表示的二价基团。
[0030]4.根据1～3中任一项所述的聚酰亚胺前体，Y1包含上述式(21)所表示的二价基团、上述式(22)所表示的二价基团和上述式(24)所表示的二价基团。
[0031]5.根据1～4中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(1)中，e≥3。
[0032]6.根据1～5中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(1)中，e≥3，f≥2。
[0033]7.根据1～6中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(1)中，e≥3，h≥2。
[0034]8.根据1～7中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(1)中，e≥4。
[0035]9.根据1～8中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(1)中，e+f+g+h≥5。
[0036]10.根据1～9中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(21)中，n＝0。
[0037]11.根据1～10中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(22)中，R
12
和R
13
各自独立地为甲基或三氟甲基。
[0038]12.根据1～11中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(24)中，X
11
为氧原子。
[0039]13.根据1～12中任一项所述的聚酰亚胺前体，Y1包含下述式(31)或(32)所表示的二价基团。
[0040][0041](式(31)、(32)中，R
11
、n、R
12
、R
13
和X
11
如上述式(21)、(22)和(24)中所定义。)
[0042]14.根据1～13中任一项所述的聚酰亚胺前体，Y1包含下述式所表示的二价基团中的任一者。
[0043][0044]15.根据1～14中任一项所述的聚酰亚胺前体，X1为下述式所表示的四价基团中的任一者。
[0045][0046](式中，Z1和Z2各自独立地为与各自所结合的苯环不共轭的二价基团或单键。Z3为除羰基以外的二价基团。)
[0047]16.根据1～15中任一项所述的聚酰亚胺前体，Z3包含醚键(
‑
O
‑
)或硫醚键(
‑
S
‑
)。
[0048]17.根据1～16中任一项所述的聚酰亚胺前体，Z3包含具有芳香族烃基的二价基团。
[0049]18.根据1～17中任一项所述的聚酰亚胺前体，Z3包含
‑
O
‑
Ar
‑
O
‑
、
‑
S
‑
Ar
‑
S
‑
、或
‑
COO
‑
Ar
‑
OOC
‑
(Ar为包含苯环的二价基团、包含萘环的二价基团、或包含蒽环的二价基团。)所表示的二价基团。
[0050]19.根据1～18中任一项所述的聚酰亚胺前体，在上述式(1)中，R1和R2各自独立地为氢原子、或碳原子数1～4的脂肪族烃基。
[0051]20.根据1～18中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种聚酰亚胺前体，其具有下述式(1)所表示的结构单元，式(1)中，X1为具有一个以上芳香族基的四价基团，在X1为下述式(11)所表示的基团时，Z3为除羰基以外的二价基团，Y1为将选自由下述式(21)～(24)所表示的二价基团组成的组中的一种以上的基团连结而成的二价基团，
‑
Cy
‑
(23)
‑
X
11
‑
(24)式(21)中，R
11
为碳原子数1～4的脂肪族烃基、或具有卤素原子的碳原子数1～4的脂肪族烃基，n为0～4的整数，式(22)中，R
12
和R
13
各自独立地为氢原子、碳原子数1～4的脂肪族烃基、或具有卤素原子的碳原子数1～4的脂肪族烃基，式(23)中，Cy为碳原子数3～10的环状脂肪族烃基，式(24)中，X
11
为氧原子或硫原子，在将Y1中所含的式(21)所表示的二价基团的数量设为e、将式(22)所表示的二价基团的数量设为f、将式(23)所表示的二价基团的数量设为g、将式(24)所表示的二价基团的数量设为h时，e≥1、f≥0、g≥0、h≥0，e+f+g+h≥4，R1和R2各自独立地为氢原子、下述式(2)所表示的基团、或碳原子数1～4的脂肪族烃基，式(2)中，R3～R5各自独立地为氢原子或碳原子数1～4的脂肪族烃基，m为1～10的整数，
‑
COOR1基与
‑
CO
‑
基彼此处于邻位，
‑
COOR2基与
‑
CONH
‑
基彼此处于邻位。2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺前体，Y1包含所述式(21)所表示的二价基团和所述式(22)所表示的二价基团。
3.根据权利要求1或2所述的聚酰亚胺前体，Y1包含所述式(21)所表示的二价基团和所述式(24)所表示的二价基团。4.根据权利要求1～3中任一项所述的聚酰亚胺前体，Y1包含所述式(21)所表示的二价基团、所述式(22)所表示的二价基团和所述式(24)所表示的二价基团。5.根据权利要求1～4中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(1)中，e≥3。6.根据权利要求1～5中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(1)中，e≥3，f≥2。7.根据权利要求1～6中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(1)中，e≥3，h≥2。8.根据权利要求1～7中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(1)中，e≥4。9.根据权利要求1～8中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(1)中，e+f+g+h≥5。10.根据权利要求1～9中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(21)中，n＝0。11.根据权利要求1～10中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(22)中，R
12
和R
13
各自独立地为甲基或三氟甲基。12.根据权利要求1～11中任一项所述的聚酰亚胺前体，在所述式(...

【专利技术属性】
技术研发人员：永见直斗，松川大作，齐藤伸行，吉泽笃太郎，
申请(专利权)人：艾曲迪微系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：