感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件技术

一种感光性树脂组合物，其包含：(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前驱物；(B)包含下述式(11)所表示的化合物的光聚合引发剂；(C)热自由基产生剂；以及(D)包含γ

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件


[0001]本专利技术涉及一种感光性树脂组合物、图案固化膜的制造方法、固化膜、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件。

技术介绍

[0002]在半导体元件的表面保护膜和层间绝缘膜中，使用兼具优异的耐热性、电特性和机械特性等的聚酰亚胺等。近年来，使用了对这些树脂自身赋予了感光特性的感光性树脂组合物，如果使用该感光性树脂组合物，则图案固化膜的制造工序能够简化，能够缩短繁杂的制造工序(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2009
‑
265520号公报
[0006]专利文献2：日本特开2014
‑
201696号公报
[0007]专利文献3：日本特开2014
‑
145947号公报
[0008]专利文献4：日本特开2018
‑
84626号公报
[0009]专利文献5：国际公开第2017/2859号

技术实现思路

[0010]作为感光性树脂组合物的溶剂，以往使用N
‑
甲基吡咯烷酮(以下，有时称为“NMP”)，但近年来，从有害性的观点考虑，要求无NMP的材料。本专利技术人等尝试了使用低毒性的γ
‑
丁内酯(以下，有时称为“GBL”)作为替代溶剂，但使用GBL的感光性树脂组合物浮现出长期保存时的残膜率变化大、即保存稳定性低这样的问题。在专利文献2～5中公开了使用GBL的感光性树脂组合物，但保存稳定性均低，需要改善。
[0011]本专利技术的目的在于提供一种低毒性且长期保存时的残膜率变化小、即保存稳定性优异的感光性树脂组合物。另外，提供一种使用该感光性树脂组合物的图案固化膜的制造方法、该感光性树脂组合物的固化膜、使用该固化膜制作的层间绝缘膜等、以及包含该层间绝缘膜等的电子部件。
[0012]本专利技术人等鉴于上述问题反复进行了努力研究，结果发现，如果使用特定结构的光聚合引发剂，则即使在使用毒性低的GBL作为溶剂的情况下，长期保存后的残膜率变化也小，能够实现良好的保存稳定性，从而完成了本专利技术。
[0013]根据本专利技术，可提供以下的感光性树脂组合物等。
[0014]1.一种感光性树脂组合物，其包含：
[0015](A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前驱物、
[0016](B)包含下述式(11)所表示的化合物的光聚合引发剂、
[0017](C)热自由基产生剂、以及
[0018](D)包含γ
‑
丁内酯的溶剂。
[0019][0020](式(11)中，R
11
为取代或未取代的苯甲酰基、取代或未取代的芴基、或者包含取代或未取代的咔唑基的基团。
[0021]R
12
为碳原子数1～12的烷基、包含碳原子数4～10的环烷基的基团、包含苯基的基团或包含甲苯基的基团。
[0022]R
13
为取代或未取代的碳原子数6～20的芳香族烃基。)
[0023]2.根据上述1所述的感光性树脂组合物，所述式(11)所表示的化合物为下述式(12)所表示的化合物。
[0024][0025](式(12)中，R
12
和R
13
与上述式(11)相同。R
14
为一价有机基团。a为0～5的整数。)
[0026]3.根据上述2所述的感光性树脂组合物，a为0。
[0027]4.根据上述1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，R
13
为取代或未取代的苯基。
[0028]5.根据上述1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，R
12
为碳原子数1～12的烷基或包含碳原子数4～10的环烷基的基团。
[0029]6.根据上述1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分包含分解点为110℃以上且200℃以下的化合物。
[0030]7.根据上述1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分包含双(1
‑
苯基
‑1‑
甲基乙基)过氧化物。
[0031]8.根据上述1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分为具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前驱物。
[0032][0033](式(1)中，X1为四价芳香族基。Y1为二价芳香族基。R1和R2分别独立地为氢原子、下述式(2)所表示的基团或碳原子数1～4的脂肪族烃基，R1和R2中的至少一者为下述式(2)所表示的基团。
‑
COOR1基与
‑
CONH
‑
基彼此处于邻位，
‑
COOR2基与
‑
CO
‑
基彼此处于邻位。)
[0034][0035](式(2)中，R3～R5分别独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基。m为1～10的整数。)
[0036]9.根据1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，进一步包含具有两个以上官能团的多官能聚合性单体。
[0037]10.一种图案固化膜的制造方法，包括：
[0038]将1～9中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上并进行干燥而形成感光性树脂膜的工序；
[0039]对所述感光性树脂膜进行图案曝光而获得树脂膜的工序；
[0040]使用有机溶剂对所述图案曝光后的树脂膜进行显影而获得图案树脂膜的工序；以及
[0041]对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。
[0042]11.根据10所述的图案固化膜的制造方法，所述加热处理的温度为200℃以下。
[0043]12.一种固化膜，将1～9中任一所述的感光性树脂组合物固化而成。
[0044]13.根据12所述的固化膜，其为图案固化膜。
[0045]14.一种层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜，使用12或13所述的固化膜制作而成。
[0046]15.一种电子部件，其包含14所述的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜。
[0047]根据本专利技术，能够提供一种低毒性且保存稳定性优异的感光性树脂组合物。
附图说明
[0048][图1]为表示本专利技术一个实施方式涉及的电子部件的制造工序的概略图。
具体实施方式
[0049]以下，对本专利技术的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的图案固化膜的制造方法、该感光性树脂组合物的固化膜、使用该固化膜制作的层间绝缘膜等、以及包含该层间绝缘膜等的电子部件的实施方式进行详细说明。需说明的是，本专利技术并不受以下实施方式的限定。
[0050]本说明书中，所谓“A或B”，只要包含A与B的任一者即可，也可以两者均包含。在本说明书中，“工序”这一用语不仅包含独立的工序，即使在无法与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前驱物、(B)包含下述式(11)所表示的化合物的光聚合引发剂、(C)热自由基产生剂、以及(D)包含γ
‑
丁内酯的溶剂，式(11)中，R
11
为取代或未取代的苯甲酰基、取代或未取代的芴基、或者包含取代或未取代的咔唑基的基团，R
12
为碳原子数1～12的烷基、包含碳原子数4～10的环烷基的基团、包含苯基的基团或包含甲苯基的基团，R
13
为取代或未取代的碳原子数6～20的芳香族烃基。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述式(11)所表示的化合物为下述式(12)所表示的化合物，式(12)中，R
12
和R
13
与所述式(11)相同，R
14
为一价有机基团，a为0～5的整数。3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，a为0。4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，R
13
为取代或未取代的苯基。5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，R
12
为碳原子数1～12的烷基或包含碳原子数4～10的环烷基的基团。6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分包含分解点为110℃以上且200℃以下的化合物。7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(C)成分包含双(1
‑
苯基
‑1‑
甲基乙基)过氧化物。8.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：田原真吾，齐藤伸行，松川大作，榎本哲也，
申请(专利权)人：艾曲迪微系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：