分选座及振动盘制造技术

本申请提供了一种分选座和振动盘，分选座包括：支撑板，用于滑动支撑器件沿支撑板的长度方向传输；侧块，安装于支撑板的一侧；以及，挡台，用于止挡器件之透光体的顶部，挡台设于侧块上；支撑板、侧块和挡台之间形成用于供器件之基板滑动置入的滑槽，滑槽沿支撑板的长度方向设置；支撑板靠近滑槽底面的位置开设有用于供光纤穿过的透光孔；侧块上对应透光孔的位置开设有吹气孔，吹气孔与滑槽相连通。本申请提供的分选座和振动盘通过采用滑槽，在器件沿支撑板滑动时，基板宽度方向的两端能够进入到滑槽内遮住透光孔，以实现对器件方向的检测，吹气孔可将方向不一致的器件吹出，从而保障输出的器件方向一致。出的器件方向一致。出的器件方向一致。

【技术实现步骤摘要】
分选座及振动盘


[0001]本申请属于半导体加工设备
，更具体地说，是涉及一种分选座及振动盘。

技术介绍

[0002]现有的一种“T”型结构的器件，包括不透光的基板和设于基板上的透光体，透光体位于基板的宽度方向的中部，透光体的宽度小于基板的宽度，透光体的长度与基板的长度相等，基板的长度和宽度接近，器件的厚度小于基板的长度和宽度。这种器件在振动盘中分料时，通常器件会呈现出长度方向垂直或平行于行进方向的两种状态。
[0003]现有的振动盘通常是在轨道上设置缺口，利用器件的长度与宽度的差异，使得长度方向垂直行进方向的器件从缺口处剔除，以控制器件输出时器件长度方向一致。由于“T”型结构的器件的宽度和长度尺寸基本一致，导致方向不符合的器件难以被检测分离，无法保障器件输出时器件方向的一致性，影响振动盘供料。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种振动盘，以解决现有技术中存在的“T”型结构的器件的宽度和长度基本一致，无法保障器件输出时器件方向的一致性的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种分选座，包括：
[0006]支撑板，用于滑动支撑器件沿所述支撑板的长度方向传输；
[0007]侧块，安装于所述支撑板的一侧；以及，
[0008]挡台，用于止挡所述器件之透光体的顶部，所述挡台设于所述侧块上；
[0009]所述支撑板、所述侧块和所述挡台之间形成用于供所述器件之基板滑动置入的滑槽，所述滑槽沿所述支撑板的长度方向设置；所述支撑板靠近所述滑槽底面的位置开设有用于供光束穿过的透光孔；所述侧块上对应所述透光孔的位置开设有吹气孔，所述吹气孔与所述滑槽相连通。
[0010]通过采用支撑板，能够支撑器件沿支撑板的长度方向滑动；在器件沿支撑板的长度方向滑动时，若器件的长度方向与支撑板的长度方向一致，则器件的基板宽度方向的两端能够进入到滑槽中，将透光孔遮住，从而触发检测信号；若器件的长度方向与支撑板的长度方向垂直，则器件的透光体的顶部的端面抵持在挡台上，阻碍基板进入滑槽，使得器件经过透光孔时，光束穿过透光体的端部进入到滑槽，然后穿过透光孔，此时，基板无法将光束遮断，从而无法触发检测信号。在器件触发检测信号时，可通过吹气孔向器件吹气，将器件从支撑板上吹落剔除，这样就能够控制经过分选座的器件输出时，器件的行进方向与器件的宽度方向一致，控制输出的各器件保持方向一致，以便于器件的上料。
[0011]在一个实施例中，所述挡台的高度与所述滑槽的宽度的比值范围为0.36
‑
2.75。
[0012]通过采用上述技术手段，能够为光束穿过透光孔预留足够的区间。
[0013]在一个实施例中，所述侧块靠近所述支撑板的一侧开设有与所述滑槽底部连通的条形槽，所述条形槽沿所述支撑板的宽度方向设置，所述支撑板与所述侧块于所述条形槽
对应的位置围成所述吹气孔；
[0014]所述侧块中开设有与所述条形槽远离所述滑槽一端连通的进气孔。
[0015]通过采用上述技术手段，便于控制吹气气流方向，且便于加工。
[0016]在一个实施例中，所述侧块上安装有与所述吹气孔的进气端相连通的调节阀。
[0017]通过采用上述技术手段，便于控制气流大小。
[0018]本申请实施例还提供一种振动盘，包括振动盘本体，还包括上述任一实施例中的分选座和用于检测所述透光孔是否透光的光纤传感器，所述分选座和所述光纤传感器分别安装于所述振动盘本体上。
[0019]通过采用上述技术手段，能够控制振动盘输出的器件方向保持一致。
[0020]在一个实施例中，所述振动盘本体包括盘体、围绕所述盘体的边缘设置的环形壁、设于所述环形壁靠近所述盘体之轴线的一侧的输送导轨，所述输送导轨呈螺旋状；所述支撑板和所述侧块分别嵌入所述环形壁，所述支撑板延伸至所述侧块靠近所述盘体之轴线的一侧，且所述支撑板与所述输送导轨相连。
[0021]通过采用上述技术手段，能够将器件逐个输送经过分选座。
[0022]在一个实施例中，所述支撑板的顶面由所述环形壁远离所述盘体之轴线的一侧至所述环形壁靠近所述盘体之轴线的一侧呈朝向远离所述盘体的方向倾斜设置。
[0023]通过采用上述技术手段，有利于基板宽度方向的两端进入到滑槽内。
[0024]在一个实施例中，所述支撑板的顶面与所述盘体的径向的夹角的范围为15
°‑
45
°
。
[0025]通过采用上述技术手段，便于基板滑入滑槽内，且能够防止基板翻转。
[0026]在一个实施例中，所述环形壁上安装有支架，所述支架的两端分别位于所述透光孔的两侧，所述光纤传感器包括安装于所述支架一端的发射端和安装于所述支架另一端的接收端，所述发射端与所述接收端相对设置，且所述发射端与所述接收端的连线经过所述透光孔。
[0027]通过采用上述技术手段，能够对经过透光孔的器件进行检测。
[0028]在一个实施例中，所述光纤传感器的光轴由所述滑槽的底部至所述滑槽的开口的方向呈朝向靠近所述挡台的方向倾斜设置，且所述光纤传感器的光轴与所述支撑板的夹角的范围为20
°‑
70
°
。
[0029]通过采用上述技术手段，能够控制光束射向器件的透光体的角度。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本申请实施例提供的振动盘的立体结构示意图；
[0032]图2为图1中A处的放大图；
[0033]图3为图1中分选座和光纤传感器的立体结构示意图；
[0034]图4为图3中B处的放大图；
[0035]图5为图3分选座的剖面图；
[0036]图6为图5中C处的放大图。
[0037]其中，图中各附图标记：
[0038]10
‑
分选座；101
‑
滑槽；102
‑
吹气孔；11
‑
支撑板；110
‑
透光孔；12
‑
侧块；121
‑
条形槽；122
‑
进气孔；13
‑
挡台；14
‑
调节阀；
[0039]20
‑
光纤传感器；21
‑
支架；22
‑
发射端；23
‑
接收端；
[0040]30
‑
振动盘本体；31
‑
盘体；32
‑
环形壁；33
‑
输送导轨；
[0041]40
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分选座，其特征在于，包括：支撑板，用于滑动支撑器件沿所述支撑板的长度方向传输；侧块，安装于所述支撑板的一侧；以及，挡台，用于止挡所述器件之透光体的顶部，所述挡台设于所述侧块上；所述支撑板、所述侧块和所述挡台之间形成用于供所述器件之基板滑动置入的滑槽，所述滑槽沿所述支撑板的长度方向设置；所述支撑板靠近所述滑槽底面的位置开设有用于供光束穿过的透光孔；所述侧块上对应所述透光孔的位置开设有吹气孔，所述吹气孔与所述滑槽相连通。2.如权利要求1所述的分选座，其特征在于：所述挡台的高度与所述滑槽的宽度的比值范围为0.36
‑
2.75。3.如权利要求1所述的分选座，其特征在于：所述侧块靠近所述支撑板的一侧开设有与所述滑槽底部连通的条形槽，所述条形槽沿所述支撑板的宽度方向设置，所述支撑板与所述侧块于所述条形槽对应的位置围成所述吹气孔；所述侧块中开设有与所述条形槽远离所述滑槽一端连通的进气孔。4.如权利要求1至3任一项所述的分选座，其特征在于：所述侧块上安装有与所述吹气孔的进气端相连通的调节阀。5.一种振动盘，包括振动盘本体，其特征在于：还包括如权利要求1至4任一项所述的分选座和用于检测所述透光孔是否透光的光纤传感器，所述分选座和所述光纤传感器分别安装于所述振动盘本体上。6.如权利要求5所述的振动...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨奥博，段雄斌，何选民，
申请(专利权)人：标谱半导体科技东莞市有限公司，
类型：新型
国别省市：