一种晶圆机械往复式清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及圆工艺制造领域，特别涉及一种晶圆机械往复式清洗装置。其包括支撑机构、角度调节机构、往复调节模组、用于对晶圆进行清洗的清洗头，支撑机构包括纵向支撑杆、横向支撑杆，纵向支撑杆一端固定连接、其另一端连接横向支撑杆，角度调节机构连接在横向支撑杆上，角度调节机构包括调节固定板，往复调节模组连接在调节固定板上，往复调节模组的末端连接清洗头，往复调节模组带动清洗头在对晶圆清洗过程中进行往复运动。本装置通过往复调节模组的机械往复运动，带动清洗头来回动作增加势能，能更好的清洗晶圆保证清洗的洁净度。并且可以根据晶圆所在的位置任意调节清洗头与晶圆之间的角度位置，达到最佳的清洗效果。达到最佳的清洗效果。达到最佳的清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆机械往复式清洗装置


[0001]本技术涉及晶圆工艺制造领域，特别涉及一种晶圆机械往复式清洗装置。

技术介绍

[0002]在晶圆加工过程中，为了保证晶圆生产出来的洁净，会对晶圆的表面进行清洗的过程，目前对晶圆的清洗过程采用的是清洗喷嘴对着晶圆表面进行冲刷，清洗方式较为单一，对于晶圆表面粘合比较紧实的污染物，无法得到很好的去除，清洗的洁净效果有待提高。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种晶圆机械往复式清洗装置，旨在解决目前晶圆清洗方式较为单一，清洗洁净效果有待提高的问题。
[0004]本技术提供一种晶圆机械往复式清洗装置，包括支撑机构、角度调节机构、往复调节模组、用于对晶圆进行清洗的清洗头，所述支撑机构包括纵向支撑杆、横向支撑杆，所述纵向支撑杆一端固定连接、其另一端连接横向支撑杆，所述角度调节机构连接在横向支撑杆上，所述角度调节机构包括调节固定板，所述往复调节模组连接在调节固定板上，所述往复调节模组的末端连接清洗头，所述往复调节模组带动清洗头在对晶圆清洗过程中进行往复运动。
[0005]作为本技术的进一步改本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆机械往复式清洗装置，其特征在于，包括支撑机构、角度调节机构、往复调节模组、用于对晶圆进行清洗的清洗头，所述支撑机构包括纵向支撑杆、横向支撑杆，所述纵向支撑杆一端固定连接、其另一端连接横向支撑杆，所述角度调节机构连接在横向支撑杆上，所述角度调节机构包括调节固定板，所述往复调节模组连接在调节固定板上，所述往复调节模组的末端连接清洗头，所述往复调节模组带动清洗头在对晶圆清洗过程中进行往复运动。2.根据权利要求1所述的晶圆机械往复式清洗装置，其特征在于，所述往复调节模组包括音圈电机、往复固定板，所述音圈电机一端固定在调节固定板上、其另一端连接往复固定板。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄海荣，谢柏弘，何若飞，
申请(专利权)人：深圳远荣半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：