一种异型玻璃表面匀胶治具制造技术

本实用新型专利技术涉及玻璃涂胶领域，特别涉及一种异型玻璃表面匀胶治具。该治具包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台，治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽，匀胶凸台连接在治具第二面板上，治具第二面板上设有用于排走剩胶的液体流道，液体流道设置于匀胶凸台的边沿，治具第一面板和治具第二面板连接，匀胶凸台位于匀胶槽内，匀胶凸台的上平面高度低于治具第一面板的上平面高度。本治具中剩胶由内部液体流道流入外接的清洗盆，玻璃边缘不易堆集剩胶，易于清洗，提高了产品质量；增加了手动取放的孔位，避免使用夹子损坏产品，提高产品合格率。品合格率。品合格率。

【技术实现步骤摘要】
一种异型玻璃表面匀胶治具


[0001]本技术涉及玻璃涂胶领域，特别涉及一种异型玻璃表面匀胶治具。

技术介绍

[0002]对玻璃进行匀胶是一种普遍的玻璃处理方式，特别是针对半导体硅片，在硅片表面均匀的涂上一层光刻胶，再进行曝光、显影，将光罩上的图形转移的光刻胶上，为后续的刻蚀、注入工艺服务。匀胶保证硅片表面光刻胶的平整度，以免影响到光刻的精度和质量。但是目前的匀胶器具主要是针对圆形的玻璃硅片设计的，针对异型玻璃硅片匀胶机构存在以下问题：
[0003]（1）无剩胶清洗剂流道，匀胶后多余的胶水没有流道可以排走，使剩胶容易堆集在玻璃边缘，不易清理，严重影响匀胶效果；
[0004]（2）无玻璃手动取放孔，用夹子取放玻璃，容易对产品造成损伤。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种异型玻璃表面匀胶治具，旨在解决现有匀胶机构剩胶堆集，取放容易对产品造成损伤的问题。
[0006]本技术提供一种异型玻璃表面匀胶治具，包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台，所述治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽，所述匀胶凸台连接在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，包括治具第一面板、治具第二面板、匀胶凸台，所述治具第一面板上设有与异型玻璃形状匹配的匀胶槽，所述匀胶凸台连接在治具第二面板上，所述治具第二面板上设有用于排走剩胶的液体流道，所述液体流道设置于匀胶凸台的边沿，所述治具第一面板和治具第二面板连接，所述匀胶凸台位于匀胶槽内，所述匀胶凸台的上平面高度低于治具第一面板的上平面高度。2.根据权利要求1所述的异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，所述治具第一面板包括排液通孔，所述排液通孔与匀胶槽连通，所述排液通孔位于液体流道上方并连通液体流道。3.根据权利要求1所述的异型玻璃表面匀胶治具，其特征在于，所述治具第一面...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄海荣，谢柏弘，何若飞，
申请(专利权)人：深圳远荣半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：