本实用新型专利技术提供了一种用于石英坩埚的酸洗装置，包括不锈钢框架、外壳、内箱体、一号喷酸组件、二号喷酸组件、过滤组件、传送组件、酸槽组件、升降气缸和升降门，所述不锈钢框架外部安装有外壳，内部安装有内箱体，内箱体内部从上至下依次设有一号喷酸组件、传送组件、二号喷酸组件、过滤组件，酸槽组件固定至不锈钢框架底部一侧，内箱体两端分别设有一个升降门。本实用新型专利技术所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置设计合理，合理布局酸槽，并循环利用酸液，滚筒传输机构，传输平稳位置精度高，通过一号喷酸组件、二号喷酸组件上下喷嘴同时喷酸在酸洗室对产品内外表面进行清洗，喷嘴压力可调节，上下喷嘴安装合理，对所有型号产品酸洗无死角。死角。死角。
【技术实现步骤摘要】
一种用于石英坩埚的酸洗装置
[0001]本技术属于坩埚
，尤其是涉及一种用于石英坩埚的酸洗装置。
技术介绍
[0002]目前，石英坩埚是用高纯石英砂经过高温融化形成的一种玻璃态器皿，经过切磨、检验、浸泡、清洗、烘干等工艺直接投入生产是国内外坩埚生产厂家的普遍做法。这种做法制成的坩埚在熔制成型后，在切磨和检验过程中表面容易粘有油或手印，虽然要通过手工浸泡、清洗，但难以清洗干净，在投入生产时会影响拉单晶硅的质量和合格率，而且手工清洗劳动强度大，工作效率低。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种用于石英坩埚的酸洗装置，以解决现有技术中难以清洗干净、手工清洗劳动强度大，工作效率低以及产品合格率低的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种用于石英坩埚的酸洗装置，包括不锈钢框架、外壳、内箱体、一号喷酸组件、二号喷酸组件、过滤组件、传送组件、酸槽组件、升降气缸和升降门，所述不锈钢框架外部安装有外壳，内部安装有内箱体，内箱体内部从上至下依次设有一号喷酸组件、传送组件、二号喷酸组件、过滤组件，一号喷酸组件、二号喷酸组件、过滤组件分别管路连通至酸槽组件，酸槽组件固定至不锈钢框架底部一侧，传送组件用于传送石英坩埚，内箱体两端分别设有一个升降门，2个升降门分别位于外壳的两端的升降槽内，外壳的一侧开设2个放置槽，每个放置槽内分别安装一个升降气缸，升降气缸用于驱动升降门升降运动，所述一号喷酸组件、二号喷酸组件、传送组件、酸槽组件、升降气缸均信号连接至控制器。
[0006]进一步的，所述内箱体内壁还设有光纤传感器和若干对射传感器，对射传感器设置在内箱体内壁两端，光纤传感器安装于内箱体内壁一侧，光纤传感器和若干对射传感器均信号连接至控制器。
[0007]进一步的，所述内箱体两侧分别开设有若干内观察槽，每个内观察槽内分别安装一个内侧窗，所述外壳两侧还分别开设有若干外观察槽，每个外观察槽内分别安装一个外侧窗。
[0008]进一步的，所述传送组件包括减速机、链条、主动齿轮、若干从动齿轮和若干滚筒，内箱体内部均匀排布若干滚筒、每个的滚筒一端均转动套接至内箱体内壁一侧，每个的滚筒另一端均穿过内箱体内壁的另一侧，且每个的滚筒另一端分别固定套接一个从动齿轮，每个从动齿轮均与链条啮合传动，链条为环形结构，链条的一端与主动齿轮啮合传动，主动齿轮的中间轴固定连接至减速机的输出轴，减速机固定至不锈钢框架底部一侧，滚筒下方设有二号喷酸组件，所述减速机通过驱动器信号连接至控制器。
[0009]进一步的，所述一号喷酸组件包括一号喷酸管路、若干一号喷头、一号 PP固定板和一号供酸泵，所述一号PP固定板固定至内箱体顶部内壁，一号 PP固定板底部固定安装一
号喷酸管路，一号喷酸管路的出口端开设有若干个，每个出口端分别固定连通至一号喷头，一号喷酸管路的进口端固定连通至一号供酸泵的出口端，一号供酸泵的进口端管路连通至酸槽组件，所述一号喷酸组件和二号喷酸组件结构相同，所述一号供酸泵信号连接至控制器。
[0010]进一步的，所述一号喷头为万向喷头。
[0011]进一步的，所述一号喷头的压力范围为0.3Mpa
‑
0.5Mpa。
[0012]进一步的，所述酸槽组件包括储酸壳、储酸槽和储酸管路，储酸壳固定至不锈钢框架底部，储酸壳内部设有储酸槽，储酸槽内部安装有加热器，储酸槽与储酸管路相连通，储酸管路分别与一号供酸泵的进口端、二号喷酸组件、过滤组件相连通，加热器信号连接至控制器。
[0013]相对于现有技术，本技术所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置具有以下优势：
[0014](1)本技术所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置设计合理，合理布局酸槽，并循环利用酸液，滚筒传输机构，传输平稳位置精度高，通过一号喷酸组件、二号喷酸组件上下喷嘴同时喷酸在酸洗室对产品内外表面进行清洗，喷嘴压力可调节，上下喷嘴安装合理，对所有型号产品酸洗无死角，酸槽外置组件，便于清理。
[0015](2)本技术所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置，其传送组件采用耐酸传送滚筒传输，传输平稳，误差小，有效的减少了坩埚因传输造成的崩边及磨损，更有利于后续工序的定位及实施。
附图说明
[0016]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0017]图1为本技术实施例所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置整体结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置除去顶部外壳的局部结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置其生产线示意图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1、不锈钢框架；2、外壳；21、放置槽；22、外侧窗；3、内箱体；31、内侧窗；4、一号喷酸组件；41、一号喷酸管路；42、一号喷头；43、一号 PP固定板；5、二号喷酸组件；6、传送组件；61、滚筒；7、升降门；8、预清洗单元；9、高压清洗单元；10、静置单元；11、烘烤单元；12、冷却单元。
具体实施方式
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为
基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0026]如图1至图3所示，一种用于石英坩埚的酸洗装置，包括不锈钢框架1、外壳2、内箱体3、一号喷酸组件4、二号喷酸组件5、过滤组件、传送组件 6、酸槽组件、升降气缸和升降门7，所述不锈钢框架1外部安装有外壳2，内部安装有内箱体3，内本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于石英坩埚的酸洗装置，其特征在于：包括不锈钢框架(1)、外壳(2)、内箱体(3)、一号喷酸组件(4)、二号喷酸组件(5)、过滤组件、传送组件(6)、酸槽组件、升降气缸和升降门(7)，所述不锈钢框架(1)外部安装有外壳(2)，内部安装有内箱体(3)，内箱体(3)内部从上至下依次设有一号喷酸组件(4)、传送组件(6)、二号喷酸组件(5)、过滤组件，一号喷酸组件(4)、二号喷酸组件(5)、过滤组件分别管路连通至酸槽组件，酸槽组件固定至不锈钢框架(1)底部一侧，传送组件(6)用于传送石英坩埚，内箱体(3)两端分别设有一个升降门(7)，2个升降门(7)分别位于外壳(2)的两端的升降槽内，外壳(2)的一侧开设2个放置槽(21)，每个放置槽(21)内分别安装一个升降气缸，升降气缸用于驱动升降门(7)升降运动，所述一号喷酸组件(4)、二号喷酸组件(5)、传送组件(6)、酸槽组件、升降气缸均信号连接至控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置，其特征在于：所述内箱体(3)内壁还设有光纤传感器和若干对射传感器，对射传感器设置在内箱体(3)内壁两端，光纤传感器安装于内箱体(3)内壁一侧，光纤传感器和若干对射传感器均信号连接至控制器。3.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置，其特征在于：所述内箱体(3)两侧分别开设有若干内观察槽，每个内观察槽内分别安装一个内侧窗(31)，所述外壳(2)两侧还分别开设有若干外观察槽，每个外观察槽内分别安装一个外侧窗(22)。4.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的酸洗装置，其特征在于：所述传送组件(6)包括减速机、链条、主动齿轮、若干从动齿轮和若干滚筒(61)，内箱体(3)内部均匀排布若干滚筒(61)、每个的滚筒(61)...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈桂东，刘贵枝，孙双猛，
申请(专利权)人：天津必利优科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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