一种石英坩埚自动清洗线制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英坩埚自动清洗线，包括预清洗单元、酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元，所述预清洗单元包括预清洗壳体，预清洗壳体内部开设有通道，通道为长方体结构，通道用于传送石英坩埚，预清洗壳体一侧依次连通至酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元。本实用新型专利技术所述的一种石英坩埚自动清洗线，设计合理，设有多个清洗单元，其预清洗单元满足坩埚传输清洗，坩埚进入预清洗单元，上下喷嘴可以同时对坩埚内外表面进行清洗，主要目的除去内外表面浮砂，保证清洗无死角；而且预清洗单元设有滚筒传输机构，传输平稳位置精度高。传输平稳位置精度高。传输平稳位置精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚自动清洗线


[0001]本技术属于坩埚
，尤其是涉及一种石英坩埚自动清洗线。

技术介绍

[0002]目前，石英坩埚是用高纯石英砂经过高温融化形成的一种玻璃态器皿，经过切磨、检验、浸泡、清洗、烘干等工艺直接投入生产是国内外坩埚生产厂家的普遍做法。这种做法制成的坩埚在熔制成型后，在切磨和检验过程中表面容易粘有油或手印，虽然要通过手工浸泡、清洗，但难以清洗干净，在投入生产时会影响拉单晶硅的质量和合格率，而且手工清洗劳动强度大，工作效率低。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种石英坩埚自动清洗线，以解决现有技术中难以清洗干净、手工清洗劳动强度大，工作效率低以及产品合格率低的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种石英坩埚自动清洗线，包括预清洗单元、酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元，所述预清洗单元包括预清洗壳体，预清洗壳体内部开设有通道，通道为长方体结构，通道用于传送石英坩埚，预清洗壳体一侧依次连通至酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元，所述预清洗单元、酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元均信号连接至控制器。
[0006]进一步的，所述预清洗单元还包括升降气缸、对射传感器、光纤传感器、上密封板、升降门、水槽底板、一号喷水组件、二号喷水组件、减速机、链条、主动齿轮、若干从动齿轮和若干滚筒，所述预清洗壳体一侧中部开设有观察窗，一侧两边分别开设有放置槽，每个放置槽内分别固定安装一个升降气缸，升降气缸用于驱动升降门升降运动，预清洗壳体另一侧设有内侧门，预清洗壳体顶端两侧分别开设一个升降槽，升降槽用于放置升降门，且每个升降槽均与通道顶部两端相连通，通道顶部内壁固定安装二号喷水组件，预清洗壳体顶端中部固定安装上密封板，底端设有水槽底板，水槽底板为长方形凹槽结构，水槽底板顶部与通道相连通，水槽底板一侧两端分别固定安装一对对射传感器，水槽底板一侧中部固定安装光纤传感器，水槽底板内部均匀排布若干滚筒，每个的滚筒一端均转动套接至水槽底板一侧，每个的滚筒另一端均穿过水槽底板的另一侧，且每个的滚筒另一端分别固定套接一个从动齿轮，每个从动齿轮均与链条啮合传动，链条为环形结构，链条的一端与主动齿轮啮合传动，主动齿轮的中间轴固定连接至减速机的输出轴，减速机固定至预清洗壳体底部一侧，滚筒下方设有一号喷水组件，一号喷水组件固定至水槽底板内壁，所述升降气缸的电磁阀、对射传感器、光纤传感器、一号喷水组件、二号喷水组件、减速机的驱动器均信号连接至控制器。
[0007]进一步的，所述升降门的数量为2个。
[0008]进一步的，所述一号喷水组件包括一号喷水管路、若干一号喷头和一号水泵，所述
一号喷水管路固定至水槽底板内壁，一号喷水管路的进口端固定连通至一号水泵，一号喷水管路的出口端开设有若干个，每个出口端分别固定连通至一号喷头，所述一号喷水组件和二号喷水组件结构相同，所述一号水泵信号连接至控制器。
[0009]进一步的，所述一号水泵进水口设有一号过滤网。
[0010]进一步的，所述水槽底板内部设有一层二号过滤网。
[0011]进一步的，所述预清洗壳体的材质为不锈钢。
[0012]进一步的，所述预清洗壳体外表面设有一层PP板。
[0013]相对于现有技术，本技术所述的一种石英坩埚自动清洗线具有以下优势：
[0014](1)本技术所述的一种石英坩埚自动清洗线，设计合理，设有多个清洗单元，其预清洗单元满足坩埚传输清洗，坩埚进入预清洗单元，上下喷嘴可以同时对坩埚内外表面进行清洗，主要目的除去内外表面浮砂，保证清洗无死角；而且预清洗单元设有滚筒传输机构，传输平稳位置精度高，一号水泵进水口做二次过滤，保护酸泵及喷淋系统不受堵塞。
[0015](2)本技术所述的一种石英坩埚自动清洗线，其水槽底板内部设有一层过滤网，可以将回流到水槽底板的水进行过滤，这样机构设计方便定时清理，方便拆卸及日常维护。
附图说明
[0016]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0017]图1为本技术实施例所述的一种石英坩埚自动清洗线整体结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例所述的一种石英坩埚自动清洗线预清洗单元结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例所述的一种石英坩埚自动清洗线预清洗单元后视图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1、预清洗单元；11、预清洗壳体；111、通道；112、观察窗；113、放置槽；114、内侧门；12、滚筒；13、对射传感器；14、光纤传感器；15、上密封板；16、升降门；17、水槽底板；18、一号喷水组件；181、一号喷水管路；182、一号喷头；2、酸洗单元；3、高压清洗单元；4、静置单元；5、烘烤单元；6、冷却单元。
具体实施方式
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等
的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0026]如图1至图3所示，一种石英坩埚自动清洗线，包括预清洗单元1、酸洗单元2、高压清洗单元3、静置单元4、烘烤单元5和冷却单元6，所述预清洗单元1包括预清洗壳体11，预清洗壳体11内部开设有通道111，通道111为长方体结构，通道111用于传送石英坩埚，预清洗壳体11一侧依次连通至酸洗单元2、高压清洗单元3、静置单元4、烘烤单元5和冷却单元6，所述预清洗单元1、酸洗单元2、高压清洗单元3、静置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚自动清洗线，其特征在于：包括预清洗单元(1)、酸洗单元(2)、高压清洗单元(3)、静置单元(4)、烘烤单元(5)和冷却单元(6)，所述预清洗单元(1)包括预清洗壳体(11)，预清洗壳体(11)内部开设有通道(111)，通道(111)为长方体结构，通道(111)用于传送石英坩埚，预清洗壳体(11)一侧依次连通至酸洗单元(2)、高压清洗单元(3)、静置单元(4)、烘烤单元(5)和冷却单元(6)，所述预清洗单元(1)、酸洗单元(2)、高压清洗单元(3)、静置单元(4)、烘烤单元(5)和冷却单元(6)均信号连接至控制器。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚自动清洗线，其特征在于：所述预清洗单元(1)还包括升降气缸、对射传感器(13)、光纤传感器(14)、上密封板(15)、升降门(16)、水槽底板(17)、一号喷水组件(18)、二号喷水组件、减速机、链条、主动齿轮、若干从动齿轮和若干滚筒(12)，所述预清洗壳体(11)一侧中部开设有观察窗(112)，一侧两边分别开设有放置槽(113)，每个放置槽(113)内分别固定安装一个升降气缸，升降气缸用于驱动升降门(16)升降运动，预清洗壳体(11)另一侧设有内侧门(114)，预清洗壳体(11)顶端两侧分别开设一个升降槽，升降槽用于放置升降门(16)，且每个升降槽均与通道(111)顶部两端相连通，通道(111)顶部内壁固定安装二号喷水组件，预清洗壳体(11)顶端中部固定安装上密封板(15)，底端设有水槽底板(17)，水槽底板(17)为长方形凹槽结构，水槽底板(17)顶部与通道(111)相连通，水槽底板(17)一侧两端分别固定安装一对对射传感器(13)，水槽底板(17)一侧中部固定安装光纤传感器(14)，水槽底板(17)内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈桂东，刘贵枝，孙双猛，
申请(专利权)人：天津必利优科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：