【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚自动清洗线
[0001]本技术属于坩埚
,尤其是涉及一种石英坩埚自动清洗线。
技术介绍
[0002]目前,石英坩埚是用高纯石英砂经过高温融化形成的一种玻璃态器皿,经过切磨、检验、浸泡、清洗、烘干等工艺直接投入生产是国内外坩埚生产厂家的普遍做法。这种做法制成的坩埚在熔制成型后,在切磨和检验过程中表面容易粘有油或手印,虽然要通过手工浸泡、清洗,但难以清洗干净,在投入生产时会影响拉单晶硅的质量和合格率,而且手工清洗劳动强度大,工作效率低。
技术实现思路
[0003]有鉴于此,本技术旨在提出一种石英坩埚自动清洗线,以解决现有技术中难以清洗干净、手工清洗劳动强度大,工作效率低以及产品合格率低的问题。
[0004]为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:
[0005]一种石英坩埚自动清洗线,包括预清洗单元、酸洗单元、高压清洗单元、静置单元、烘烤单元和冷却单元,所述预清洗单元包括预清洗壳体,预清洗壳体内部开设有通道,通道为长方体结构,通道用于传送石英坩埚,预清洗壳体一侧依次连通至酸洗单元 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚自动清洗线,其特征在于:包括预清洗单元(1)、酸洗单元(2)、高压清洗单元(3)、静置单元(4)、烘烤单元(5)和冷却单元(6),所述预清洗单元(1)包括预清洗壳体(11),预清洗壳体(11)内部开设有通道(111),通道(111)为长方体结构,通道(111)用于传送石英坩埚,预清洗壳体(11)一侧依次连通至酸洗单元(2)、高压清洗单元(3)、静置单元(4)、烘烤单元(5)和冷却单元(6),所述预清洗单元(1)、酸洗单元(2)、高压清洗单元(3)、静置单元(4)、烘烤单元(5)和冷却单元(6)均信号连接至控制器。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚自动清洗线,其特征在于:所述预清洗单元(1)还包括升降气缸、对射传感器(13)、光纤传感器(14)、上密封板(15)、升降门(16)、水槽底板(17)、一号喷水组件(18)、二号喷水组件、减速机、链条、主动齿轮、若干从动齿轮和若干滚筒(12),所述预清洗壳体(11)一侧中部开设有观察窗(112),一侧两边分别开设有放置槽(113),每个放置槽(113)内分别固定安装一个升降气缸,升降气缸用于驱动升降门(16)升降运动,预清洗壳体(11)另一侧设有内侧门(114),预清洗壳体(11)顶端两侧分别开设一个升降槽,升降槽用于放置升降门(16),且每个升降槽均与通道(111)顶部两端相连通,通道(111)顶部内壁固定安装二号喷水组件,预清洗壳体(11)顶端中部固定安装上密封板(15),底端设有水槽底板(17),水槽底板(17)为长方形凹槽结构,水槽底板(17)顶部与通道(111)相连通,水槽底板(17)一侧两端分别固定安装一对对射传感器(13),水槽底板(17)一侧中部固定安装光纤传感器(14),水槽底板(17)内部...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈桂东,刘贵枝,孙双猛,
申请(专利权)人:天津必利优科技发展有限公司,
类型:新型
国别省市:
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