【技术实现步骤摘要】
振镜标定系统及方法
[0001]本专利技术涉及光学共聚焦
，尤其涉及一种振镜标定系统及方法。
技术介绍
[0002]现有振镜的光学系统为空间布局，偏转镜的装配方案为激光光源至顶，在水平放置一标准中心环，通过调整偏转镜姿态使得激光光束经过偏转镜后反射至中心环十字中心。该技术需要专业的治具进行空间布局进行标定测量，不适合进行民用市场移植使用，同时精度不高，且操作较危险。缺点具体如下：
[0003]a、光学系统为空间布局。光学系统在传输过程中为空间分布，在机械臂、水平光路等使用中，标定复杂且困难，尤其在民用市场，目前单轴采购量增加，购置后原始的装配难度很大。
[0004]b、Y轴偏转镜较大。目前针对微细加工领域或生物成像领域，原有的振镜Y轴方向较大，限制了系统的整体扫描速度，且长时间使用易出现发热情况。
[0005]c、实际调试危险。在生物成像领域，会用到振镜扫描模块，在调试过程中会出现漏光现象，X偏转镜反射光竖直出射，会出现局部光束发射至天花板的情况，在调试过程中有安全隐患。
[0006]d...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种振镜标定系统，其特征在于，所述振镜标定系统包括：第一振镜结构、第二振镜结构、第一通光孔、第二通光孔、工艺孔、经纬仪1、经纬仪2、光学平晶；所述第一通光孔和所述第二通光孔分别作为所述经纬仪1和所述经纬仪2的入光口和出光口；所述光学平晶紧贴所述第一振镜结构、所述第二振镜结构或所述工艺孔；所述光学平晶，用于将所述经纬仪1和所述经纬仪2出射的激光光束反射至出射点，以对所述经纬仪1和所述经纬仪2进行标定；所述经纬仪1和所述经纬仪2，用于对所述第一振镜结构和所述第二振镜结构进行标定。2.如权利要求1所述的振镜标定系统，其特征在于，所述第一振镜结构包括第一电机轴、偏转镜1和第一驱动板，所述偏转镜1与所述第一电机轴通过结构件相连接；所述第一驱动板通电带动所述第一电机轴旋转或回零，所述第一电机轴带动所述偏转镜1进行偏转；所述第二振镜包括第二电机轴、偏转镜2和第二驱动板，所述偏转镜2与所述第二电机轴通过结构件相连接；所述第二驱动板通电带动所述第二电机轴旋转或回零，所述第二电机轴带动所述偏转镜2进行偏转。3.一种振镜标定方法，其特征在于，采用如权利要求2所述的振镜标定系统，所述振镜标定方法包括以下步骤：对经纬仪1进行标定；对经纬仪2进行粗瞄和位置粗调；将已标定的经纬仪1和粗调后的经纬仪2进行粗调、粗瞄和精瞄；对精瞄后的经纬仪1和经纬仪2进行置零操作，开启置零后的经纬仪1和置零后的经纬仪2的准直激光，对所述偏转镜1转轴进行粗调、微调，直至经纬仪1和经纬仪2视野中的十字叉丝像均与对应的视野中心重合，偏转镜1标定完成；将经纬仪2移至预设位置，通过经纬仪1和处于所述预设位置的经纬仪2互瞄，以对经纬仪2进行标定；对偏转镜2转轴进行粗调、微调，直至经纬仪1和经纬仪2视野中的十字叉丝像均与对应的视野中心重合，偏转镜2标定完成。4.如权利要求3所述的振镜标定方法，其特征在于，所述对经纬仪1进行标定，包括：调整所述经纬仪1的姿态为第一预设姿态；对调整姿态后的经纬仪1进行粗瞄和准直，以对经纬仪1进行标定。5.如权利要求4所述的振镜标定方法，其特征在于，所述调整所述经纬仪1的姿态为第一预设姿态，包括：所述经纬仪1放置在光学调整架上；调整所述经纬仪1的姿态，使得所述经纬仪1的粗调和精调的水平仪为中心位置；调整所述光学调整架，使得所述经纬仪1出射激光光束沿着第一通光孔中心穿过。6.如权利要求4所述的振镜标定方法，其特征在于，所述对调整姿态后的经纬仪1进行粗瞄和准直，以对经纬仪1进行标定，包括：
将所述光学平晶紧贴所述第一振镜结构的基准面放置；开启调整姿态后的经纬仪1的粗瞄，经纬仪1的出射光入射至所述光学平晶表面，经所述光学平晶表面反射至经纬仪1的粗瞄出射点，完成粗瞄；开启所述经纬仪1的准直激光器，所述经纬仪1的准直激光器发射激光，根据返回十字叉丝像的位置，通过所述经纬仪1上的粗调和精调按钮进行准直，直至返回十字叉丝像与所述经纬仪1的中心位置完全重合；检查所述经纬仪1是否满足粗调和精调的水平仪为中心位置，且出射激光光束沿着第一通光孔中心穿过，若满足，则所述经纬仪1标定完成。7.如权利要求3所述的振镜标定方法，其特征在于，所述光学平晶紧...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘国强，陈力强，李晓康，
申请(专利权)人：熵智科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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