流量检测装置及气体质量流量控制器制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流量检测装置及气体质量流量控制器，该装置包括主通道、旁通通道和MEMS流量传感器，其中，主通道用于传输被测气体，且在主通道中设置有分流器；旁通通道的两端分别在分流器的进气端和出气端两侧与主通道连通，且旁通通道包括沿气体传输方向依次设置的渐缩段、直管段和渐扩段，其中，直管段的水力直径满足使通过直管段的气体流动状态为层流；MEMS流量传感器设置于直管段的通道壁上，且MEMS流量传感器的检测面暴露于直管段中，用于检测直管段中的气体流量。于检测直管段中的气体流量。于检测直管段中的气体流量。

【技术实现步骤摘要】
流量检测装置及气体质量流量控制器


[0001]本专利技术涉及流量检测
，具体地，涉及一种流量检测装置及气体质量流量控制器。

技术介绍

[0002]质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)按其传感器信号检测原理大致可分为热式和压力式的。热式的MFC通过检测流体流动时引起的热量变化信号来实现流量控制。传统的热式的质量流量控制器响应较慢，响应时间相对较长，无法适用于对流量响应时间要求较高的工艺，例如，在半导体的某些刻蚀制程中，需要交替使用多种不同的气体，要求各种气体之间切换速度非常快，同时要求流量快速响应。
[0003]随着MEMS(Microelectro Mechanical Systems，微机电系统)芯片的发展，一种热式的MEMS流量传感器被用来检测气体流量，这种MEMS流量传感器可以直接与被测气体相接触，响应时间短，可以满足对流量响应时间要求较高的要求。
[0004]现有的MEMS流量传感器一般安装在与主通道相连通的旁通通道上，主通道中的一部分气体会通过节流孔被引入旁通通道中，MEMS流量传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流量检测装置，其特征在于，包括主通道、旁通通道和MEMS流量传感器，其中，所述主通道用于传输被测气体，且在所述主通道中设置有分流器；所述旁通通道的两端分别在所述分流器的进气端和出气端两侧与所述主通道连通，且所述旁通通道包括沿气体传输方向依次设置的渐缩段、直管段和渐扩段，其中，所述直管段的水力直径满足使通过所述直管段的气体流动状态为层流；所述MEMS流量传感器设置于所述直管段的通道壁上，且所述MEMS流量传感器的检测面暴露于所述直管段中，用于检测所述直管段中的气体流量。2.根据权利要求1所述的流量检测装置，其特征在于，所述MEMS流量传感器包括基板和固定在所述基板上的MEMS芯片，其中，所述基板设置于所述直管段的通道壁的外表面上；所述MEMS芯片具有所述检测面，且所述MEMS芯片具有所述检测面的一端贯穿所述直管段的通道壁，并相对于所述直管段的通道壁的内表面朝内凸出。3.根据权利要求2所述的流量检测装置，其特征在于，所述检测面相对于所述直管段的通道壁的内表面朝内凸出的部分，在垂直于所述直管段的轴向的方向上的厚度大于等于0.1mm，且小于等于0.2mm。4.根据权利要求2所述的流量检测装置，其特征在于，所述流量检测装置还包括压板，所述压板自所述直管段的通道壁外部压住所述基板，且至少覆盖整个所述基板，用于提高所述基板的耐压强度。5.根据权利要求2所述的流量检测装置，其特征在于，所述MEMS芯片包括沿所述气体传输方向依次设置的上游冷堆、加热电阻和下游冷堆，其中，所述上游冷堆和所述下游冷堆均用于与先后流经二者的被测气体进行对流换热；所述加热电阻用于通过被加载电压产生热量以加热所述被测气体。6.根据权利要求1
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5任意一项所述的流量检测装置，其特征在于，所述直管段的水力直径满足：雷诺数小于2000，且努赛尔数大于预设数值，以能够提高所述ME...

【专利技术属性】
技术研发人员：何漫丽，牟昌华，苏乾益，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：发明
国别省市：