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本发明提供一种流量检测装置及气体质量流量控制器，该装置包括主通道、旁通通道和MEMS流量传感器，其中，主通道用于传输被测气体，且在主通道中设置有分流器；旁通通道的两端分别在分流器的进气端和出气端两侧与主通道连通，且旁通通道包括沿气体传输方向...
该专利属于北京七星华创流量计有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创流量计有限公司授权不得商用。

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