本发明专利技术公开了一种硅环台阶检测装置，包括斜置的检测台以及转台组件和检测组件，所述转台组件包括与检测台平行设置且可被驱动转动的转台以及对中件和定位件，所述转台以在垂直于检测台方向上升降的方式设置于检测台上方，所述对中件设置于转台底部用于调节使得硅环对中，所述检测台侧部设置有缺口，所述检测组件设置于检测台缺口处并正对硅环台阶面检测，所述定位件设置于转台上，所述定位件用于对对中后的硅环夹持定位，且定位件随着转台转动并驱动硅环贴合于检测台表面转动。本发明专利技术中通过对中件使得硅环与转台保持同轴，在硅环随转台转动过程中，检测组件可快速对经过缺口上方的硅环台阶结构进行检测，整个检测过程较快，利于提高检测精度和检测效率。于提高检测精度和检测效率。于提高检测精度和检测效率。
【技术实现步骤摘要】
硅环台阶检测装置
[0001]本专利技术涉及机械制造
，特别涉及一种硅环台阶检测装置。
技术介绍
[0002]刻蚀设备是半导体芯片生产环节必不可少的设备，而硅环是刻蚀设备中必不可少的零部件，硅环生产制造过程中需要对台阶检测以确定是否满足加工精度，现有的硅环台阶检测装置是通过使用三坐标测量仪手动检测，该检测方法对检测人员的要求非常高，而且检测误差拨动范围较大、检测效率较低。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本专利技术提供一种硅环台阶检测装置，该装置可对硅环精确定位并利于硅环的自动检测，对检测人员的操作要求不高，且检测精度和检测效率有效提高。
[0004]本专利技术的硅环台阶检测装置，包括斜置的检测台以及转台组件和检测组件，所述转台组件包括与检测台平行设置且可被驱动转动的转台以及对中件和定位件，所述转台以在垂直于检测台方向上升降的方式设置于检测台上方，所述对中件设置于转台底部用于调节放置于检测台上的硅环以使得硅环中轴线与转台中轴线共线，所述检测台侧部设置有缺口，所述硅环对中后位于缺口上方，所述检测组件设置于检测台缺口处并正对硅环台阶面检测，所述定位件设置于转台上，所述定位件用于对对中后的硅环夹持定位，且定位件随着转台转动并驱动硅环贴合于检测台表面转动。
[0005]进一步，所述对中件包括对中块以及对中圆杆，所述对中圆杆垂直于检测台，且以可沿检测台倾斜方向滑动的方式安装于转台上，所述对中圆杆滑动路径经过转台中轴线，所述对中块固定于转台上，所述对中块朝向对中圆杆的侧壁上开设有对中半圆槽，所述对中半圆槽中轴线与转台中轴线共线，所述对中半圆槽内径与对中圆杆外径相同，所述对中圆杆滑动至对中半圆槽内时对中圆杆的外圆与对中半圆槽的内圆适形贴合，且对中圆杆的中轴线与对中半圆槽中轴线共线。
[0006]进一步，所述定位件包括上定位杆组和下定位杆组，所述上定位杆组包括两根定位圆杆，两根定位圆杆以对中圆杆滑动路径所在平面为中心平面对称设置，所述上定位杆组和下定位杆组沿检测台倾斜方向对称设置，所述上定位杆组和下定位杆组以可沿检测台倾斜方向滑动的方式安装于转台上。
[0007]进一步，所述检测组件包括千分表和电感测微仪，所述千分表以可升降的方式设置于检测台缺口上方并朝下正对缺口用于检测硅环上表面，所述电感测微仪以可升降的方式设置于检测台缺口内并朝上正对缺口用于检测硅环下表面。
[0008]进一步，所述检测台为圆形台，所述检测台中轴线与转台中轴线共线。
[0009]进一步，还包括一对垂直固定于检测台上表面的支撑圆柱，所述支撑圆柱位于检测台倾斜方向的中部偏下位置，两所述支撑圆柱以对中圆杆滑动路径所在平面为中心平面对称设置，硅环放置于检测台上时，所述硅环沿检测台上表面自然下滑并且硅环外圆支撑
于支撑柱上。
[0010]进一步，还包括基台和安装台，所述基台上具有安装斜面，所述安装台斜置安装于安装斜面上，所述检测台适形斜置安装于安装台上，所述安装台上对应于检测台缺口的位置设有避让槽，所述避让槽用于对电感测微仪下滑时形成避让。
[0011]进一步，还包括升降柱和顶升架，所述转台转动配合安装于顶升架上并可被驱动转动，所述升降柱连接于顶升架和安装斜面之间并可驱动顶升架在垂直于安装斜面的方向升降。
[0012]本专利技术的有益效果：
[0013]本专利技术中通过对中件使得硅环与转台保持同轴，在硅环随转台转动过程中，检测组件可快速对经过缺口上方的硅环台阶结构进行检测，整个检测过程较快，且利于围绕硅环检测多组数据，检测位置位于硅环的同一半径处，利于提高检测精度和检测效率。
附图说明
[0014]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步描述。
[0015]图1为本专利技术结构示意图；
[0016]图2为检测台俯视结构示意图；
[0017]图3为转台仰视结构示意图；
[0018]图4为对中块安装结构示意图；
具体实施方式
[0019]如图所示，本实施例提供了一种硅环台阶检测装置，包括斜置的检测台1以及转台组件和检测组件，所述转台组件包括与检测台1平行设置且可被驱动转动的转台2以及对中件和定位件，所述转台2以在垂直于检测台1方向上升降的方式设置于检测台1上方，所述对中件设置于转台2底部用于调节放置于检测台1上的硅环25以使得硅环25中轴线与转台2中轴线共线，所述检测台1侧部设置有缺口1a，所述硅环25对中后位于缺口上方，所述检测组件设置于检测台1缺口处并正对硅环25台阶面检测，所述定位件设置于转台2上，所述定位件用于对对中后的硅环25夹持定位，且定位件随着转台2转动并驱动硅环25贴合于检测台1表面转动。
[0020]检测台1与现有的检测台结构相同，检测台的结构此处不在赘述；结合图1所示，检测台1上表面用于放置硅环25，由于检测台1斜置的设置方式，使得硅环25放置于检测台1表面时可沿着检测台1的斜面向下滑动；要保证硅环25向下滑动，则需要控制检测台1的倾斜角度以及检测台1上表面的光滑度；放置硅环25过程中，首先升高转台2，同时对中件与定位件同步上移，使得检测台1上方避让出足够的空间用于放置硅环25，硅环25放置完成后下降转台2，使得对中间和定位件位于硅环25的内部，通过对中件调整硅环25的位置，使得硅环25与转台2同轴，通过定位件对对中后的硅环25夹持定位，检测组件用于检测位于缺口1a处硅环25的台阶面，硅环25随着转台2转动时，检测组件可依次检测经过缺口1a上方处硅环25的台阶面的精度；
[0021]该结构通过对中件使得硅环25与转台2保持同轴，在硅环25随转台2转动过程中，检测组件可快速对经过缺口1a上方的硅环25台阶结构进行检测，整个检测过程较快，且利
于围绕硅环25检测多组数据，检测位置位于硅环25的同一半径处，利于提高检测精度和检测效率。
[0022]本实施例中，所述对中件包括对中块3以及对中圆杆4，所述对中圆杆垂直于检测台1，且以可沿检测台1倾斜方向滑动的方式安装于转台2上，所述对中圆杆滑动路径经过转台2中轴线，所述对中块固定于转台2上，所述对中块朝向对中圆杆的侧壁上开设有对中半圆槽3a，所述对中半圆槽中轴线与转台2中轴线共线，所述对中半圆槽内径与对中圆杆外径相同，所述对中圆杆4滑动至对中半圆槽内时对中圆杆的外圆与对中半圆槽的内圆适形贴合，且对中圆杆4的中轴线与对中半圆槽中轴线共线。
[0023]对中圆杆滑动路径是指对中圆杆中轴线滑动的路径，该滑动路径实质为一个平面，转台2中轴线位于路径所在的平面内，该滑动路径为如图2所示的路径A，路径A也为转台2的某一直径方向；
[0024]如图2所示，对中圆杆的初始位置为滑动至对中半圆槽内，需要对中时，对中圆杆被驱动沿路径A向上滑动，滑动的距离为硅环25的半径减对中圆杆的半径；硅环25放置在检测台1上时，由于重力自然下滑，若无支撑圆杆支撑，则硅环25的内壁抵在对中块上，对中圆杆沿斜面向上滑动过程中，对中圆杆自然驱动硅环25沿检测台1斜面上滑，应保证检测台1表面的光本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅环台阶检测装置，其特征在于：包括斜置的检测台以及转台组件和检测组件，所述转台组件包括与检测台平行设置且可被驱动转动的转台以及对中件和定位件，所述转台以在垂直于检测台方向上升降的方式设置于检测台上方，所述对中件设置于转台底部用于调节放置于检测台上的硅环以使得硅环中轴线与转台中轴线共线，所述检测台侧部设置有缺口，所述硅环对中后位于缺口上方，所述检测组件设置于检测台缺口处并正对硅环台阶面检测，所述定位件设置于转台上，所述定位件用于对对中后的硅环夹持定位，且定位件随着转台转动并驱动硅环贴合于检测台表面转动。2.根据权利要求1所述的硅环台阶检测装置，其特征在于：所述对中件包括对中块以及对中圆杆，所述对中圆杆垂直于检测台，且以可沿检测台倾斜方向滑动的方式安装于转台上，所述对中圆杆滑动路径经过转台中轴线，所述对中块固定于转台上，所述对中块朝向对中圆杆的侧壁上开设有对中半圆槽，所述对中半圆槽中轴线与转台中轴线共线，所述对中半圆槽内径与对中圆杆外径相同，所述对中圆杆滑动至对中半圆槽内时对中圆杆的外圆与对中半圆槽的内圆适形贴合，且对中圆杆的中轴线与对中半圆槽中轴线共线。3.根据权利要求2所述的硅环台阶检测装置，其特征在于：所述定位件包括上定位杆组和下定位杆组，所述上定位杆组包括两根定位圆杆，两根定位圆杆以对中圆杆滑动路径所在平面为中心平面对称设置，所述上定位杆组和下定位杆组沿检测台倾...
【专利技术属性】
技术研发人员：李善维，杨佐东，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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