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硅环台阶检测装置制造方法及图纸
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文档序号:33393442
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本发明公开了一种硅环台阶检测装置,包括斜置的检测台以及转台组件和检测组件,所述转台组件包括与检测台平行设置且可被驱动转动的转台以及对中件和定位件,所述转台以在垂直于检测台方向上升降的方式设置于检测台上方,所述对中件设置于转台底部用于调节使得...
该专利属于重庆臻宝实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆臻宝实业有限公司授权不得商用。
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