一种CVD加热器用支撑组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种CVD加热器用支撑组件，包括工作台、固定架和安装盘，固定架固定连接在工作台顶部的两侧，安装盘设置在固定架内侧的顶部，工作台顶部的两侧均固定连接有位于固定架正面两侧的固定块，固定块的内侧设置有蜗杆，工作台顶部的两侧均活动连接有位于蜗杆后侧的蜗轮，蜗轮与蜗杆啮合连接，蜗轮的顶部固定连接有螺杆，安装盘的底部固定连接有固定板。本实用新型专利技术通过设置蜗轮和蜗杆配合固定板进行工作调节工作，解决了现有的CVD加热器支撑架高度大多是固定的，在使用过程中不能根据石英管的大小尺寸对其进行高低调节，降低了CVD加热器支撑架的使用灵活性和支撑效果的问题，具备了高度灵活调节的优点。具备了高度灵活调节的优点。具备了高度灵活调节的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD加热器用支撑组件


[0001]本技术涉及CVD加热器
，具体为一种CVD加热器用支撑组件。

技术介绍

[0002]CVD加热器又称CVD管式炉，CVD加热器设备由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产，CVD系统除了主要应用在碳纳米材料制备行业外，现在正在使用在许多行业，包括纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域，但现有的CVD加热器支撑架高度大多是固定的，在使用过程中不能根据石英管的大小尺寸对其进行高低调节，降低了CVD加热器支撑架的使用灵活性和支撑效果。

技术实现思路

[0003]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术的目的在于提供一种CVD加热器用支撑组件，具备了高度灵活调节的优点，解决了现有的CVD加热器支撑架高度大多是固定的，在使用过程中不能根据石英管的大小尺寸对其进行高低调节，降低了CVD加热器支撑架的使用灵活性和支撑效果的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种CVD加热器用支撑组件，包括工作台、固定架和安装盘，所述固定架固定连接在工作台顶部的两侧，所述安装盘设置在固定架内侧的顶部，所述工作台顶部的两侧均固定连接有位于固定架正面两侧的固定块，所述固定块的内侧设置有蜗杆，所述工作台顶部的两侧均活动连接有位于蜗杆后侧的蜗轮，所述蜗轮与蜗杆啮合连接，所述蜗轮的顶部固定连接有螺杆，所述安装盘的底部固定连接有固定板，所述螺杆与固定板配合安装盘使用。
[0005]作为本技术优选的，所述固定架的正面与背面均开设有活动槽，所述活动槽的内部活动连接有活动块，所述活动块通过活动槽贯穿固定架与螺杆螺纹连接，所述活动块的内侧与固定板的外侧固定连接。
[0006]作为本技术优选的，所述固定块的内侧开设有转动孔，所述转动孔的内部活动连接位于位于蜗杆外侧的转动环，所述转动环的内侧与蜗杆的表面固定连接。
[0007]作为本技术优选的，所述固定块的外侧设置有手摇柄，所述蜗杆的外侧贯穿固定块与手摇柄的内侧固定连接，所述手摇柄配合蜗杆使用。
[0008]作为本技术优选的，所述工作台顶部的两侧均固定连接有位于蜗轮底部的定位盘，所述定位盘的顶部活动连接有定位柱，所述定位柱的顶部与蜗轮的底部固定连接。
[0009]作为本技术优选的，所述定位柱的底部开设有位于定位槽，所述定位盘T型设置，所述定位槽的内部活动连接有定位块，所述定位块的底部与定位盘的顶部固定连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]1、本技术通过设置蜗轮和蜗杆配合固定板进行工作调节工作，解决了现有的CVD加热器支撑架高度大多是固定的，在使用过程中不能根据石英管的大小尺寸对其进行高低调节，降低了CVD加热器支撑架的使用灵活性和支撑效果的问题，具备了高度灵活调节
的优点。
[0012]2、本技术通过设置活动槽和活动块，活动槽为活动块提供活动空间，活动块配合活动槽与螺杆连接带动固定板升降进行调节工作，提高了固定板与螺杆的连接效果。
[0013]3、本技术通过设置转动孔和转动环，转动孔对转动环进行活动限位工作，转动环配合转动孔对蜗杆进行定点限位工作，避免蜗杆工作过程出现位置偏移的情况，提高蜗杆的定位效果。
附图说明
[0014]图1为本技术立体结构示意图；
[0015]图2为本技术主视结构示意图；
[0016]图3为本技术图2中A处放大结构示意图。
[0017]图中：1、工作台；2、固定架；3、安装盘；4、固定块；5、蜗杆；6、蜗轮；7、螺杆；8、固定板；9、活动槽；10、活动块；11、转动孔；12、转动环；13、手摇柄；14、定位盘；15、定位柱；16、定位槽；17、定位块。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1至图3所示，本技术提供的一种CVD加热器用支撑组件，包括工作台1、固定架2和安装盘3，固定架2固定连接在工作台1顶部的两侧，安装盘3设置在固定架2内侧的顶部，工作台1顶部的两侧均固定连接有位于固定架2正面两侧的固定块4，固定块4的内侧设置有蜗杆5，工作台1顶部的两侧均活动连接有位于蜗杆5后侧的蜗轮6，蜗轮6与蜗杆5啮合连接，蜗轮6的顶部固定连接有螺杆7，安装盘3的底部固定连接有固定板8，螺杆7与固定板8配合安装盘3使用。
[0020]参考图2，固定架2的正面与背面均开设有活动槽9，活动槽9的内部活动连接有活动块10，活动块10通过活动槽9贯穿固定架2与螺杆7螺纹连接，活动块10的内侧与固定板8的外侧固定连接。
[0021]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置活动槽9和活动块10，活动槽9为活动块10提供活动空间，活动块10配合活动槽9与螺杆7连接带动固定板8升降进行调节工作，提高了固定板8与螺杆7的连接效果。
[0022]参考图2，固定块4的内侧开设有转动孔11，转动孔11的内部活动连接位于位于蜗杆5外侧的转动环12，转动环12的内侧与蜗杆5的表面固定连接。
[0023]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置转动孔11和转动环12，转动孔11对转动环12进行活动限位工作，转动环12配合转动孔11对蜗杆5进行定点限位工作，避免蜗杆5工作过程出现位置偏移的情况，提高蜗杆5的定位效果。
[0024]参考图2，固定块4的外侧设置有手摇柄13，蜗杆5的外侧贯穿固定块4与手摇柄13的内侧固定连接，手摇柄13配合蜗杆5使用。
[0025]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置手摇柄13，能够有效的在使用者对固定板8调节过程中便于使用者快速转动蜗杆5进行调节工作，避免蜗杆5转动费事费力的情况，提高了蜗杆5的使用便捷性。
[0026]参考图2，工作台1顶部的两侧均固定连接有位于蜗轮6底部的定位盘14，定位盘14的顶部活动连接有定位柱15，定位柱15的顶部与蜗轮6的底部固定连接。
[0027]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置定位盘14和定位柱15，定位盘14为定位柱15提供定位点，定位柱15配合定位盘14对蜗轮6进行定点限位限位工作，避免蜗轮6工作过程中出现与蜗杆5分离的情况，提高了蜗轮6的工作稳定性。
[0028]参考图2，定位柱15的底部开设有位于定位槽16，定位盘14T型设置，定位槽16的内部活动连接有定位块17，定位块17的底部与定位盘14的顶部固定连接。
[0029]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置定位槽16和定位块17，定位槽16对定位块17进行活动限位工作，定位块17配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD加热器用支撑组件，包括工作台(1)、固定架(2)和安装盘(3)，其特征在于：所述固定架(2)固定连接在工作台(1)顶部的两侧，所述安装盘(3)设置在固定架(2)内侧的顶部，所述工作台(1)顶部的两侧均固定连接有位于固定架(2)正面两侧的固定块(4)，所述固定块(4)的内侧设置有蜗杆(5)，所述工作台(1)顶部的两侧均活动连接有位于蜗杆(5)后侧的蜗轮(6)，所述蜗轮(6)与蜗杆(5)啮合连接，所述蜗轮(6)的顶部固定连接有螺杆(7)，所述安装盘(3)的底部固定连接有固定板(8)，所述螺杆(7)与固定板(8)配合安装盘(3)使用。2.根据权利要求1所述的一种CVD加热器用支撑组件，其特征在于：所述固定架(2)的正面与背面均开设有活动槽(9)，所述活动槽(9)的内部活动连接有活动块(10)，所述活动块(10)通过活动槽(9)贯穿固定架(2)与螺杆(7)螺纹连接，所述活动块(10)的内侧与固定板(8)的外侧固定连接。3.根据权利要求1所述的一种CVD加热器用支撑组件，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：施广博，
申请(专利权)人：上海利睿特实业有限公司，
类型：新型
国别省市：