一种基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器制造技术

本发明专利技术提供了一种基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器，包括：微盘，包括硅衬底、二氧化硅衬底以及连接在二氧化硅衬底上表面的上微盘，所述硅衬底、二氧化硅衬底与上微盘呈中心对称；环形台阶，连接在上微盘的外圆周，所述环形台阶的平面中心与微盘的中心重合；入射光经所述环形台阶和所述微盘的表面时，使光的全反射相对远离所述微盘的侧壁，以提高所述微盘的Q值性能。本发明专利技术通过在微盘边缘增加环绕微盘的台阶结构，使谐振电场远离微盘下半部分的粗糙侧面，减少了谐振光与侧面的相互作用，降低了微盘的侧面散射损失。通过上述方式降低微盘的能量损耗速率，不会明显增加微盘的尺寸，最终实现小尺寸下的高Q硅基微盘谐振器。终实现小尺寸下的高Q硅基微盘谐振器。终实现小尺寸下的高Q硅基微盘谐振器。

【技术实现步骤摘要】
一种基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器


[0001]本专利技术涉及光通信、信号处理
，尤其涉及一种基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器。

技术介绍

[0002]光学器件是光学信息处理的核心，用于实现各种不同的信息采集、处理的功能。其中，光学谐振器能够对特定波长的光进行选择，并使它长期滞留在谐振器中产生稳定的谐振，极大地增强了光与物质的相互作用。因此，光学谐振器可以用于信息的采集与处理，是光学系统的重要组成部分。
[0003]微盘谐振器是一种典型的WGM光学谐振器，具有尺寸小、Q值高等优点，被广泛应用于激光器、传感器等领域。其中Q值是衡量微盘性能的重要指标，通过提高Q值，能增强光与物质的相互作用。
[0004]然而，传统的硅基微盘谐振器，在半径为20μm的情况下，理论仿真本征Q值约为1
×
107。对于微盘来说，增加器件的尺寸，可以增大Q值，然而尺寸的增大，却不利于器件的集成，严重制约器件的功能化应用。因此，在较小尺寸下实现更高的Q值，是微盘谐振器的重要研究方向。

技术实现思路

[0005]本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器，其特征在于，包括：微盘，包括硅衬底、连接在所述硅衬底上表面的二氧化硅衬底以及连接在所述二氧化硅衬底上表面的上微盘，所述硅衬底、所述二氧化硅衬底与所述上微盘呈中心对称；环形台阶，连接在所述上微盘的外圆周，所述环形台阶的平面中心与所述微盘的中心重合；入射光经所述环形台阶和所述微盘的表面时，使光的全反射相对远离所述微盘的侧壁，以提高所述微盘的Q值性能。2.根据权利要求1所述的基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器，其特征在于，所述二氧化硅衬底的下表面外轮廓被腐蚀，腐蚀宽度d＞2um。3.根据权利要求1所述的基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器，其特征在于，所述微盘谐振器采用SOI平台加工制作完成。4.根据权利要求1所述的基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器，其特征在于，所述上微盘的半径为20.1...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘力，李健，
申请(专利权)人：中国地质大学武汉，
类型：发明
国别省市：