激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法制造方法及图纸

一种激光照射设备，其包括：激光光源，其构造成发射线性偏振的脉冲激光；第一半波片，其可旋转地设于所述脉冲激光的光路中；第一偏振分束器，其构造成使来自第一半波片的所述脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光；第二偏振分束器，其构造成将第一脉冲光与第二脉冲光进行组合，第二脉冲光通过利用第一脉冲光与第二脉冲光之间的光路长度差而相对于第一脉冲光延迟；以及第一波片，其可旋转地设于组合脉冲激光的光路中，所述组合脉冲激光通过在第二偏振分束器处将第一脉冲光与第二脉冲光进行组合而产生。合而产生。合而产生。

【技术实现步骤摘要】
激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法


[0001]本公开内容涉及一种激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法。

技术介绍

[0002]日本专利No.6706155公开了一种用于形成多晶硅薄膜的激光退火设备。在日本专利No.6706155中，一种固态激光设备发射线性偏振激光。该线性偏振激光束通过半波片入射到偏振分束器上。该偏振分束器将激光分成两个光束。由偏振分束器分成的两个光束在第二偏振分束器处彼此组合。

技术实现思路

[0003]在这种激光照射设备中，期望对对象照射具有适当的偏振状态的激光。
[0004]其他问题和新颖特征将从本说明书的描述和附图中得到阐明。
[0005]根据一种实施方式，激光照射设备包括：激光光源，其构造成发射线性偏振的脉冲激光；第一半波片，其可旋转地设于所述脉冲激光的光路中；第一偏振分束器，其构造成使来自所述第一半波片的所述脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光；第二偏振分束器，其构造成将所述第一脉冲光与所述第二脉冲光进行组合，所述第二脉冲光通过利用所述第一脉冲光与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光照射设备，所述激光照射设备包括：激光光源，其构造成发射线性偏振的脉冲激光；第一半波片，其可旋转地设于所述脉冲激光的光路中；第一偏振分束器，其构造成使来自所述第一半波片的所述脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光；第二偏振分束器，其构造成将所述第一脉冲光与所述第二脉冲光进行组合，所述第二脉冲光通过利用所述第一脉冲光与所述第二脉冲光之间的光路长度差而相对于所述第一脉冲光延迟；以及第一波片，其可旋转地设于组合脉冲激光的光路中，所述组合脉冲激光通过在所述第二偏振分束器处将所述第一脉冲光与所述第二脉冲光进行组合而产生。2.根据权利要求1所述的激光照射设备，其中，所述第一波片是第二半波片。3.根据权利要求2所述的激光照射设备，所述激光照射设备还包括：部分透射镜，其构造成提取所述组合脉冲光的、透射穿过所述第二半波片的一部分；和光检测器，其构造成检测来自所述部分透射镜的所述组合脉冲光。4.根据权利要求1所述的激光照射设备，所述激光照射设备还包括：第二波片，其可旋转地设于组合脉冲光的从所述第一偏振分束器到所述第二偏振分束器的光路中。5.根据权利要求4所述的激光照射设备，其特征在于，所述第二波片是第三半波片。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的激光照射设备，其中，所述组合脉冲光沿着第一方向在对象上形成线性照射区域。7.根据权利要求6所述的激光照射设备，其中，在所述对象上形成非晶膜；并且通过所述组合脉冲光使得所述膜晶体化。8.一种激光照射方法，所述激光照射方法包括以下步骤：(a)发射线性偏振的脉冲激光；(b)使所述脉冲激光入射到可旋转地放置的第一半波片上；(c)将来自所述第一半波片的脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光；(d)将所述第一脉冲光与所述第二脉冲光进行组合，所述第二脉冲光通过利用所述第一脉冲光与所述第二脉冲光之间的光路长度差而相对于所述第一脉冲光延迟；以及(e)使组合脉冲激光入射到可旋转地设于所述组合脉冲激光的光路中的第一波片上，所述组合脉冲激光通过在所述第二偏振分束器处将所述第一脉冲光与所述第二脉冲光进行组合而产生。9.根据权利要求8所述的激光照射方法，其中，所述第一波片是第二半波片。10.根据权利要求9所述的激光照射方法，所述激光照射方法还包括以下步骤：通过使来自所述第二半波片的所述组合脉冲光入射到部分透射镜上，来提取所述组合脉冲光的...

【专利技术属性】
技术研发人员：今村博亮，
申请(专利权)人：株式会社日本制钢所，
类型：发明
国别省市：