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激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:33139567
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一种激光照射设备,其包括:激光光源,其构造成发射线性偏振的脉冲激光;第一半波片,其可旋转地设于所述脉冲激光的光路中;第一偏振分束器,其构造成使来自第一半波片的所述脉冲激光分支为第一脉冲光和第二脉冲光;第二偏振分束器,其构造成将第一脉冲光与第...
该专利属于株式会社日本制钢所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日本制钢所授权不得商用。
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