温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种基于多层台阶悬空结构的微盘谐振器，包括：微盘，包括硅衬底、二氧化硅衬底以及连接在二氧化硅衬底上表面的上微盘，所述硅衬底、二氧化硅衬底与上微盘呈中心对称；环形台阶，连接在上微盘的外圆周，所述环形台阶的平面中心与微盘的中心重合；...
该专利属于中国地质大学（武汉）所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学（武汉）授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。