用于离子源灯丝的安装工具制造技术

本申请实施例提供一种用于离子源灯丝的安装工具，包括：固定杆，具有第一端面，用于与灯丝夹端面抵接；调节组件，滑动设置于固定杆，可相对于固定杆移动；调节组件设有朝向第一端面且与第一端面平行的第一抵接面和第二抵接面，沿固定杆长度方向的第一抵接面到第一端面的距离与第二抵接面到第一端面的距离的差值为目标距离，目标距离为离子源的灯丝与阴极之间的距离。本申请实施例提供的安装工具能够准确掌控灯丝与阴极的间隔距离，不仅保证了工艺的稳定性，而且还延长了灯丝的使用寿命，减少了更换离子源灯丝的次数，减少了人力成本和维护时间。护时间。护时间。

【技术实现步骤摘要】
用于离子源灯丝的安装工具


[0001]本申请涉及半导体制备
，例如涉及一种用于离子源灯丝的安装工具。

技术介绍

[0002]目前，在半导体制造过程中，离子注入是半导体生产过程中的一项重要工艺，可以通过离子注入机进行离子注入。现有的离子注入机包括离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔。其中，离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。
[0003]离子源的灯丝在弧室中产生的热电子，热电子在电场的作用下轰击引入杂质源的气体分子，气相的杂质源在电场中被电离后变成为离子(即带电的原子或分子)。由于灯丝是直接与杂质源在电场中进行电离，导致灯丝使用寿命较短，需要定期的更换灯丝。这样，不仅提高了人工维护成本，也最终影响产线的生产效率。
[0004]相关技术中，在弧室中设置有阴极，灯丝夹固定灯丝，使灯丝临近阴极，通过灯丝对阴极的加热，使阴极产生热电子与杂质源在电场中进行电离。经研究发现，灯丝与阴极的间隔距离也是影响热电子产生速度的重要因素之一。
[0005]上述相关技术中至少存在如下问题：在离子源上安装灯丝时，不易掌控灯丝与阴极的间隔距离，而灯丝与阴极之间的距离较近或较远时，都会影响灯丝的使用寿命以及阴极产生热电子的速度。

技术实现思路

[0006]为了解决上述技术缺陷，本申请实施例中提供了一种用于离子源灯丝的安装工具，包括：
[0007]固定杆，具有第一端面，用于与灯丝夹端面抵接；
[0008]调节组件，滑动设置于固定杆，能够相对于固定杆移动；<br/>[0009]调节组件设有朝向第一端面且与第一端面平行的第一抵接面和第二抵接面；沿固定杆的长度方向，第一抵接面到第一端面的距离与第二抵接面到第一端面的距离的差值为目标距离，目标距离为离子源的灯丝与阴极之间的距离。
[0010]如上的安装工具，调节组件包括：
[0011]滑动件，滑动设置于固定杆；
[0012]第一挡片，设置于滑动件上，第一挡片朝向第一端面的表面作为第一抵接面；
[0013]第二挡片，设置于滑动件上，第二挡片朝向第一端面的表面作为第二抵接面。
[0014]如上的安装工具，滑动件设有供固定杆穿过的中心孔；第一挡片和第二挡片分别设置于滑动件的周面。
[0015]如上的安装工具，滑动件具有相对设置且平行的两个第一周面和相对设置且平行的两个第二周面，第二周面衔接在两个第一周面之间，第一周面与第二周面垂直；
[0016]第一挡片设置于第一周面，第二挡片设置于第二周面。
[0017]如上的安装工具，滑动件还具有倒角面，设置于第一周面与第二周面之间；
[0018]倒角面设有供紧固件穿过的定位孔，定位孔沿垂直于倒角面的方向贯穿倒角面所在的部位。
[0019]如上的安装工具，第一挡片中背离第一抵接面的表面为第三抵接面，第二挡片中背离第二抵接面的表面为第四抵接面；第三抵接面与第四抵接面平齐。
[0020]如上的安装工具，第一挡片中背离第一抵接面的表面为第三抵接面，第二挡片中背离第二抵接面的表面为第四抵接面；第三抵接面到滑动件的第一侧面的距离与第四抵接面到滑动件的第一侧面的距离的差值为目标距离；第一侧面为滑动件中远离第一端面的表面。
[0021]如上的安装工具，固定杆具有对应并平行于第一周面、第二周面的侧面，以及相接在相邻两个侧面之间并与倒角面平行的表面。
[0022]如上的安装工具，目标距离的范围是[0.4mm，0.6mm]。
[0023]如上的安装工具，固定杆上设置有沿长度方向延伸的刻度。
[0024]采用本申请实施例中提供的安装工具，根据离子源上灯丝的安装要求，通过固定杆和调节组件的配合使用，依次用两个抵接面对灯丝进行推进，准确的掌控灯丝与阴极的间隔距离，不仅保证了工艺的稳定性，而且延长了灯丝的使用寿命，减少了更换离子源灯丝的次数，减少了人力成本和维护时间。此外掌控灯丝与阴极的间隔距离，也可以改善离子源产生的束流质量，明显增加阴极产生的热电子数量，同时缩短束流产生的时间，具有高效、节能、省时的特点，提高了设备的生产效率。
附图说明
[0025]图1是现有技术中离子源的结构示意图；
[0026]图2是本公开实施例提供的一个安装工具的结构示意图；
[0027]图3是本公开实施例提供的调节组件的结构示意图；
[0028]图4是图3的侧视图；
[0029]图5是本公开实施例提供的安装工具在离子源上使用的局部放大图一；
[0030]图6是本公开实施例提供的安装工具在离子源上使用的局部放大图二。
[0031]附图标记：
[0032]10：固定杆；11：第一端面；20：调节组件；21：滑动件；22：第一挡片；23：第二挡片；221：第一抵接面；231：第二抵接面；24：定位孔；
[0033]100：弧室；101：灯丝；102：灯丝夹；103：阴极；104：阴极板；105：阴极连接片；106：反射极；107：绝缘子；108：气孔。
具体实施方式
[0034]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是所有实施例的穷举。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0035]离子源(Ion source)是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。除
了应用于离子注入机以外，离子源还是离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子束刻蚀装置、离子推进器等设备中必不可少的部件。相关技术中，离子源的结构如图1所示，包括弧室100，还包括有灯丝101、灯丝夹102、阴极103、阴极板104、阴极连接片105、反射极106、绝缘子107和气孔108。
[0036]其中，灯丝101固定于灯丝夹102上，阴极103设置于弧室100内部，阴极103还连接有阴极板104和阴极连接片105，阴极板104与弧室100之间还设置有绝缘子107；在弧室100中还设置有反射极106和气孔108，反射极106用于提高弧室100内束流的质量，气孔108用于输送与热电子反应的杂质源。
[0037]在实际工作中，灯丝101与阴极103临近的位置为灯丝发热部，用于对阴极103进行加热，即形成“热阴极离子源”。灯丝101在电压的作用下发射热电子，热电子在偏压作用下加速运动，最终撞击到阴极103上，此时动能转化为阴极103的热能。当阴极103的温度足够高时，在一定电压作用下，阴极103也开始发射电子，这些电子碰撞杂质源并使之电离，最终产生掺杂离子。
[0038]然而，在离子注入过程中，为了使离子源的阴极103能够快速、高效地产生热电子，除了增大灯丝101的电流以使阴极103快速增温外，灯丝101与阴极103之间的距离也影响着电子产生的速度。如果灯丝101与阴极103之间的距离较近，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于离子源灯丝的安装工具，其特征在于，包括：固定杆，具有第一端面，用于与灯丝夹端面抵接；调节组件，滑动设置于所述固定杆，能够相对于所述固定杆移动；所述调节组件设有朝向所述第一端面且与所述第一端面平行的第一抵接面和第二抵接面；沿所述固定杆的长度方向，所述第一抵接面到所述第一端面的距离与所述第二抵接面到所述第一端面的距离的差值为目标距离，所述目标距离为离子源的灯丝与阴极之间的距离。2.根据权利要求1所述的安装工具，其特征在于，所述调节组件包括：滑动件，滑动设置于所述固定杆；第一挡片，设置于所述滑动件上，所述第一挡片朝向所述第一端面的表面作为所述第一抵接面；第二挡片，设置于所述滑动件上，所述第二挡片朝向所述第一端面的表面作为所述第二抵接面。3.根据权利要求2所述的安装工具，其特征在于，所述滑动件设有供所述固定杆穿过的中心孔；所述第一挡片和所述第二挡片分别设置于所述滑动件的周面。4.根据权利要求3所述的安装工具，其特征在于，所述滑动件具有相对设置且平行的两个第一周面和相对设置且平行的两个第二周面，所述第二周面衔接在两个所述第一周面之间，所述第一周面与所述第二周面垂直；所述第一挡片设置于所述第一周面，所述第二挡片设置于所述第二周面。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯浩，刘志强，喻阳，王雪超，霍达，
申请(专利权)人：北京燕东微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：