一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉技术方案

本发明专利技术公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座。所述底座包括旋转固定座及覆盖于旋转固定座上的旋转支座；所述感应线圈安装在旋转支座上，旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转；通过调控感应线圈的旋转周期和旋转角度来控制感应线圈的磁场分布，从而调整温度场的分布。整温度场的分布。整温度场的分布。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉


[0001]本专利技术属于硅长晶炉


技术介绍

[0002]碳化硅晶体生长炉为高温炉，主要采用中频感应加热的方式，最高设计温度可达2400℃，由于中频感应加热主要为电磁感应原理，通过中频交流电在感应线圈中产生高密度的磁力线，并切割感应线圈中的晶体材料，产生很大的涡流并产生热量。其加热方式升温速度快，生产效率高。
[0003]如公开号为113136618A的中国专利技术专利申请中，即公开一种单晶炉。该单晶炉中以感应线圈作为加热器件，该感应线圈以螺旋形围绕保温组件。感应线圈用于产生交变磁场，使坩埚件产生涡流，以使坩埚件产生热量。但在包括该113136618A号专利申请内的现有技术中，主要是通过感应线圈的升降和坩埚的旋转来调节炉体中的温度场。然而现有技术中的碳化硅感应加热炉主要是通过感应线圈的升降和坩埚的旋转来调节炉体中的温度场，感应线圈无法旋转运动。同时因为感应线圈结构和安装的偏差会对感应线圈磁场的分布产生影响。同时在长晶过程中因为坩埚旋转存在无规律的震动，该震动会对晶体的生长带来直接的影响本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统，包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座；其特征在于，所述底座包括固定座及围绕固定座的旋转支座；所述感应线圈安装在旋转支座上，旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转；所述旋转固定座包括进水冷导电环内环及固定于进水冷导电环内环上的出水冷导电环内环；旋转支座包括进水冷导电环外环及固定于进水冷导电环外环上的出水冷导电环外环；所述进水冷导电环内环与进水冷导电环外环的连接处设有进水冷却水路；出水冷导电内环与出水冷导电环外环的连接处设有出水冷却水路；进水冷导电内环下方设有第一下进水冷电缆接头、出水冷导电内环下方设有第二下进水冷电缆接头；出水冷导电环外环侧面设有第一上进水冷电缆接头；进水冷导电环外环侧面设有第二上进水冷电缆接头；进水冷却水路、出水冷却水路通过第一下进水冷电缆接头、第二下进水冷电缆接头、第一上进水冷电缆接头、第二上进水冷电缆接头连接形成冷却水通路；还包括驱动旋转支座转动的驱动装置；所述驱动装置包括电机及安装在电机输出轴上的齿轮，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李辉，毛瑞川，毛洪英，丁柏松，苏闻峰，
申请(专利权)人：南京晶升装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：