射频开关电路的测试电路制造技术

本发明专利技术提供了一种射频开关电路的测试电路，包括：晶体滤波器，用于将所述方波信号转换成第一正弦波信号，并将所述第一正弦波信号提供给射频开关电路，所述射频开关电路根据所述第一正弦波信号输出第二正弦波信号；所述数字板卡还用于接收所述第二正弦波信号，并根据所述第一正弦波信号和所述第二正弦波信号获得所述射频开关电路的损耗。本发明专利技术采用的数字板卡便宜，晶体滤波器也比射频板卡便宜，可以节省成本的同时，工厂有能力拥有多个数字板卡和晶体滤波器，使得可以同时测试多个射频开关电路，提高产能。提高产能。提高产能。

【技术实现步骤摘要】
射频开关电路的测试电路


[0001]本专利技术涉及射频开关电路测试领域，尤其是涉及一种射频开关电路的测试电路。

技术介绍

[0002]在集成电路晶圆测试中，有些需要对一款射频开关电路进行测试，最重要的测试参数为插入损耗(射频开关电路的输入功率减去射频开关电路的输出功率)，一般要求输入频率为10MHz，功率为0dbm的正弦信号，需要测试输出频率是否为10MHz，同时输出功率是否落在
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1dbm到0dbm之间，即插入损耗是否在1db以内。
[0003]针对射频开关电路测试，一般使用2种方案：第一种方案是使用射频类板卡进行测试，板卡性能溢出严重，测试费用较高；应用射频板卡进行测试，满足要求，测试内容简单、测试时间很快，但是测试费用较高，其中包括射频板卡本身使用费用较高、还需要使用普通的数字板卡进行配置操作、定制的射频输入输出同轴线缆用于电连接射频板卡及定制的专用针卡等。
[0004]第二种方案是使用信号发生器、频谱仪及示波器等分立仪器进行测试，受限于分立仪器的数量，无法同时进行多个测试任务，往往都需要进行排队安排。使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频开关电路的测试电路，用以测试射频开关电路的损耗，其特征在于，包括：数字板卡，用于提供方波信号；晶体滤波器，用于将所述方波信号转换成第一正弦波信号，并将所述第一正弦波信号提供给射频开关电路，所述射频开关电路根据所述第一正弦波信号输出第二正弦波信号；以及所述数字板卡还用于接收所述第二正弦波信号，并根据所述第一正弦波信号和所述第二正弦波信号获得所述射频开关电路的损耗。2.如权利要求1所述的射频开关电路的测试电路，其特征在于，所述射频开关电路还包括：开关，位于射频开关电路的输入端和射频开关电路的输出端之间，所述开关闭合时，所述射频开关电路的输入端和所述射频开关电路的输出端电连接。3.如权利要求2所述的射频开关电路的测试电路，其特征在于，所述射频开关电路还包括RC滤波装置，所述开关断开时，所述RC滤波装置和所述射频开关电路的输出端电连接。4.如权利要求3所述的射频开关电路的测试电路，其特征在于，所述RC滤波装置包括一个电阻和一个电容，所述电阻和电容串联后接地。5.如权利要求3所述的射频开关电路的测试电路，其特征在于，所述射频开关电路的输入端为一个，所述开关为多个，所述射频开关电路的输出端为多个，一个所述开关对应一个所述射频开关电路的输出端，其中一个所述开关闭合时，其余所述开关开启。6.如权利要求5所述的射频开关电路的测试电路，其特征在于，所述开关和所述射频开关电路的输出端的数量均为4个，分别是第一开关、第二开关、第三开关和第四开关；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛来熙，祁建华，李吉宝，王华，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：