一种伯努利吸盘及硅片移送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及吸盘技术领域，提供了一种伯努利吸盘及硅片移送装置。一种伯努利吸盘，其包括第一吸盘主体，所述第一吸盘主体包括第一壳体和设置于所述第一壳体内的第一吸盘芯体；其中，所述第一壳体呈方形，所述第一壳体的底面包括中间区域和边缘区域，所述中间区域和所述边缘区域均分布有多个垫片；所述第一壳体的底部四个拐角处均形成有气流通道，相邻两个拐角之间也形成有至少一个气流通道。本申请能够提高工件与吸盘之间的摩擦力，提高吸附效果，减少或避免工件在搬运过程中的破损。减少或避免工件在搬运过程中的破损。减少或避免工件在搬运过程中的破损。

【技术实现步骤摘要】
一种伯努利吸盘及硅片移送装置


[0001]本技术涉及吸盘
，尤其涉及一种伯努利吸盘及硅片移送装置。

技术介绍

[0002]目前，随着经济的发展，社会的进步，光伏产业在国内如火如荼。因而生产硅片的设备需求量也在增加，同时对设备的日产能也提出更高的要求。近年来生产硅片设备相关企业越来越朝向节省成本、使用方便、提高产能等特点的方向发展。在硅片的制绒、刻蚀、PECVD和印刷等工艺环节中，对于硅片的吸附搬运是众多工序的基本需求。
[0003]伯努利吸盘是一种适用于搬运厚度薄且及其精密和脆弱工件(如硅片)的吸盘。通常的，伯努利吸盘是在吸盘上设置进气口，接入高压缩空气，向吸盘下表面吹气，吸盘工作面产生均匀且薄的强气流，此时工件如硅片上表面的气体流速大于其下部的气体流速，利用流体速度越快压强越小的原理，硅片的上下两侧会产生压力差，从而在硅片的底部能够形成向上的托举力，进而使得硅片吸附在吸盘本体的底部，也即利用大气压力差将硅片吸附起来。
[0004]现有的伯努利吸盘虽然可以快速吸起硅片，但吸起硅片后，硅片受到的摩擦力相对较小，在搬运过程中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种伯努利吸盘，其特征在于，包括第一吸盘主体，所述第一吸盘主体包括第一壳体和设置于所述第一壳体内的第一吸盘芯体；其中，所述第一壳体呈方形，所述第一壳体的底面包括中间区域和边缘区域，所述中间区域和所述边缘区域均分布有多个垫片；所述第一壳体的底部四个拐角处均形成有气流通道，相邻两个拐角之间也形成有至少一个气流通道。2.根据权利要求1所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述方形为长方形，沿着所述第一壳体的长度方向设有至少两个所述气流通道，沿着所述第一壳体的宽度方向设有至少一个所述气流通道。3.根据权利要求2所述的伯努利吸盘，其特征在于，还包括第二吸盘主体，所述第一吸盘主体与所述第二吸盘主体并排使用；所述第二吸盘主体包括第二壳体和设置于所述第二壳体内的第二吸盘芯体；所述第二壳体呈长方形，所述第二壳体的底部四个拐角处均形成有气流通道，沿着所述第二壳体的长度方向设有至少两个所述气流通道，沿着所述第二壳体的宽度方向设有至少一个气流通道，且所述第二壳体的长度方向上的气流通道与所述第一壳体的长度方向上的气流通道交错布置。4.根据权利要求1所述的伯努利吸盘，其特征在于，多个所述垫片在所述中间区域间隔的分布，且多个所述垫片在所述边缘区域间隔的分布，所述中间区域与所述边缘区域之间设有凹槽；所述垫片呈多边形；和/或所述垫片均由海绵制成。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚志清，查俊，刘刚，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：